[實用新型]一種單晶爐分體式油過濾除塵器

有效

• 申請號: 201820983984.3
• 申請日: 2018-06-25
• 公開（公告）號: CN208959548U
• 公開（公告）日: 2019-06-11
• 發明（設計）人: 時剛;武海軍;張靈鴿
• 申請（專利權）人: 西安創聯新能源設備有限公司
• 主分類號: B01D50/00
• 分類號: B01D50/00;C30B35/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供了一種單晶爐分體式油過濾除塵器，包括上腔體、下腔體以及封蓋，所述上腔體設有第二注油口、第二放油口和第二觀察口，所述下腔體設有第一注油口、第一放油口、第一觀察口以及進氣口和可移動的支腿，所述封蓋上設有出氣口和提拉臂，所述上腔體與下腔體采用鎖緊裝置鎖緊，上腔體與封蓋采用鎖緊裝置鎖緊。本實用新型提供了三層過濾結構的除塵器，擁有過濾效果好，使用周期長，維護簡單的特點，更好的達到了清潔廢氣，保護真空泵長期有效運行的目的。

技術領域

本實用新型涉及多晶硅鑄錠生產除塵技術領域，具體涉及一種單晶爐分體式油過濾除塵器。

背景技術

提拉法單晶硅生長的原理，在真空的爐室內，使用惰性氣體(氬氣)保護，采用石墨電阻加熱器將多晶硅材料熔化，在特定溫區內，通過傳動機構帶動籽晶旋轉提拉運動和硅熔液的逆旋轉及上升運動，以實現晶體的生長。在晶體生長的過程中，需要使用真空泵對爐室持續不斷的抽空，將爐室內石英及石墨熱場件在高溫狀態時所釋放的二氧化硅、氧化硅等雜質及爐室各密封部位微量泄漏的空氣及時抽出，已保持爐室內的真空度。當這些雜質及廢氣不斷被抽入真空泵，使得真空泵油更換頻繁，成本昂貴，同時真空泵的效率和使用壽命會逐漸降低。

目前大多數單晶生長爐，是在單晶爐抽氣管道中，真空泵的入口前端，增加除塵過濾裝置，均是在一個密閉的罐體內，設置單層或者多層濾網，這種濾網式除塵器，只能過濾顆粒較大的雜質，對細小的雜質顆粒無法過濾，且濾網必須定期及時的清理，同時清理費時費力。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的主要目的是提供一種單晶爐分體式油過濾除塵器。

本實用新型采用的技術方案是：

一種單晶爐分體式油過濾除塵器，包括上腔體、下腔體以及封蓋，所述上腔體設有第二注油口、第二放油口和第二觀察口，所述下腔體設有第一注油口、第一放油口、第一觀察口以及進氣口和可移動的支腿，所述封蓋上設有出氣口和提拉臂，所述上腔體與下腔體采用鎖緊裝置鎖緊，上腔體與封蓋采用鎖緊裝置鎖緊。

進一步地，所述下腔體內部還設有第一導氣孔、第一導氣罩、第一標尺及第一固定桿，所述上腔體內部還設有第二導氣孔、第二導氣罩、第二標尺、第二固定桿以及濾網，其中第一導氣孔與進氣口相通，第二導氣孔與下腔體相通。

進一步地，所述第二注油口設置在上腔體上端一側，第二放油口設置在上腔體下端另一側，所述第二觀察口設置在上腔體中部。

進一步地，所述第一注油口設置在下腔體上端一側，第一放油口設置在下腔體底部，所述第一觀察口設置在下腔體中部，所述進氣口設置在下腔體底部。

進一步地，所述第一導氣孔設置在下腔體的中部，其上端還設置有第一導氣罩，該第一導氣罩上設置中第一標尺，以及第一導氣罩的頂端設置有第一固定桿。

進一步地，所述第二導氣孔設置在上腔體中部，第二導氣罩設置在上腔體上端，第二導氣罩上設置有第二標尺，以及第二導氣罩的頂端設置有第二固定桿。

進一步地，所述出氣口處設置有濾網。

本實用新型提供了三層過濾結構的除塵器，擁有過濾效果好，使用周期長，維護簡單的特點，更好的達到了清潔廢氣，保護真空泵長期有效運行的目的。

附圖說明

以上所述僅是本實用新型專利方案概述，為了更清楚說明本實用新型的技術手段，以下結合附圖與具體實施方式對本實用新型作詳細說明。

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2是本實用新型的結構原理示意圖。

具體實施方式

下面將結合附圖以及具體實施例來詳細說明本實用新型，在此本實用新型的示意性實施例以及說明用來解釋本實用新型，但并不作為對本實用新型的限定。