[實(shí)用新型]一種樣品傳遞裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820959487.X
• 申請(qǐng)日: 2018-06-21
• 公開（公告）號(hào): CN208580112U
• 公開（公告）日: 2019-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱煜;宋賀倫;茹占強(qiáng);宋盛星;殷志珍;張耀輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
• 主分類號(hào): G01N35/10
• 分類號(hào): G01N35/10
• 代理公司: 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

本實(shí)用新型公開了一種樣品傳遞裝置，包括樣品托架、設(shè)置于所述樣品托架頂部的樣品托盤、固定在所述樣品托盤上的樣品固定環(huán)以及部分嵌入樣品托盤內(nèi)部的鎖頭，所述鎖頭與真空鎖快速進(jìn)樣室內(nèi)的伸縮進(jìn)樣桿連接，當(dāng)所述樣品托盤與所述樣品托架分離時(shí)，所述伸縮進(jìn)樣桿通過所述鎖頭可選擇性的將所述樣品托盤送進(jìn)或取出。本實(shí)用新型的樣品固定環(huán)可以將樣品片壓緊固定在樣品托盤上，樣品托架可以將樣品托盤固定在實(shí)驗(yàn)用的樣品臺(tái)上，鎖頭在伸縮進(jìn)樣桿的帶動(dòng)下可以控制樣品的送進(jìn)與取出，該過程無需中斷設(shè)備系統(tǒng)的高真空或超高真空狀態(tài)，方便高真空或超高真空薄膜沉積實(shí)驗(yàn)高效的進(jìn)行。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種高真空或超高真空薄膜沉積技術(shù)領(lǐng)域，更具體的說，涉及一種樣品傳遞裝置。

背景技術(shù)

掠角沉積是利用動(dòng)態(tài)自影蔽生長在傾斜沉積角度的同時(shí)，配合樣品臺(tái)自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行納米結(jié)構(gòu)和薄膜生長制備的物理沉積技術(shù)，被用于生長柱狀、之字形、螺旋形、S形等納米結(jié)構(gòu)陣列薄膜。樣品被固定在樣品托盤上，隨著樣品臺(tái)一起進(jìn)行傾斜和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，樣品托盤位置的穩(wěn)固性顯著影響沉積過程中納米結(jié)構(gòu)的形貌和尺寸。

在高真空或超高真空薄膜沉積設(shè)備系統(tǒng)傳遞樣品的過程中，需要在不破壞高真空或超高真空條件下，在大氣氛圍和真空氛圍之間對(duì)樣品進(jìn)行傳遞，同時(shí)維持沉積腔室的高真空或超高真空工作條件,以實(shí)現(xiàn)快速進(jìn)樣,保護(hù)設(shè)備和提高效率的目的。

尤其在掠角沉積設(shè)備中，由于掠角沉積過程中樣品臺(tái)傾斜角度較大，該角度通常≥70°，并且樣品臺(tái)可能在傾斜的同時(shí)伴隨著自轉(zhuǎn)，在這個(gè)工藝過程中，樣品托盤可能會(huì)隨著樣品臺(tái)的傾斜、原位旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)而發(fā)生位移或脫落。傳統(tǒng)的樣品托盤結(jié)構(gòu)簡單，不僅無法穩(wěn)定的固定在樣品臺(tái)上，而且樣品托盤的裝載與卸載無法通過真空鎖進(jìn)樣室完成，需要在工藝過程中先中斷設(shè)備系統(tǒng)的高真空或超高真空狀態(tài)，再進(jìn)行樣品托盤的裝載和卸載，使得工藝過程繁瑣，效率不高。其次，對(duì)于需要進(jìn)行加熱退火(≥150℃)的工藝過程，必須使用夾具固定樣品，在樣品臺(tái)傾斜時(shí)，夾具的固著方式和夾片厚度會(huì)顯著遮擋沉積區(qū)域，而不能形成所需的樣品薄膜。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型專利所要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種可在穩(wěn)定固定樣品并可在真空快速進(jìn)樣室傳遞樣品的樣品傳遞裝置。

在一個(gè)總體方面，提供一種樣品傳遞裝置，其特征在于，包括樣品托盤、用于承載所述樣品托盤的樣品托架、固定在所述樣品托盤上用于壓緊樣品的樣品固定環(huán)和一端與所述樣品托盤配合用于傳遞所述樣品托盤的鎖頭。

優(yōu)選的，所述樣品托盤還包括鎖頭固定部分，所述鎖頭固定部分包括鎖頭插孔、鎖定桿和C形環(huán)，所述鎖頭包括插頭、鎖扣和連接頭，所述連接頭用于與真空快速進(jìn)樣室內(nèi)的伸縮進(jìn)樣桿連接，所述插頭和所述鎖扣可穿過C形環(huán)的開口，所述插頭可選擇性的進(jìn)出所述鎖頭插孔，所述鎖定桿數(shù)目為兩個(gè)，設(shè)置于所述C形環(huán)的內(nèi)部，所述鎖扣為雙槳型，兩個(gè)槳分別與所述兩個(gè)鎖定桿搭扣固定。

優(yōu)選的，所述樣品托盤包括樣片固定部分，所述樣片固定部分包括樣片沉槽、分布在所述樣片沉槽四周的螺紋孔，所述樣品固定環(huán)包括壓緊環(huán)片和沉槽螺釘，所述壓緊環(huán)片部分遮蓋住所述樣片沉槽，所述沉槽螺釘穿過所述壓緊環(huán)片與所述螺紋孔配合固定。

優(yōu)選的，所述樣片固定部分還包括凸緣，所述樣品托架包括支桿孔和頂部凸臺(tái)，所述凸緣的內(nèi)環(huán)面抵接所述樣品托架上表面，所述頂部凸臺(tái)的內(nèi)圓周面緊貼所述凸緣的圓周面，所述支桿孔用于與樣品臺(tái)上的支架固定連接。

優(yōu)選的，所述樣品托架還包括和安裝開口，所述安裝開口兩內(nèi)側(cè)面與所述鎖頭固定部分兩外側(cè)面貼緊配合。

優(yōu)選的，所述樣片固定部分外圓周面上設(shè)置有若干向內(nèi)凹陷的卡槽，所述樣品托架內(nèi)圓周面上設(shè)置有若干向外凸起的凸塊，所述凸塊用于在所述頂部凸臺(tái)的內(nèi)圓周面緊貼所述凸緣的圓周面時(shí)嵌入相應(yīng)的所述卡槽內(nèi)。

優(yōu)選的，所述樣品托架和所述樣品托盤均為左右對(duì)稱結(jié)構(gòu)。