[實(shí)用新型]一種用于等離子生成裝置的陽極以及等離子生成裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820954704.6 | 申請日: | 2018-06-20 |
| 公開(公告)號: | CN208434158U | 公開(公告)日: | 2019-01-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉蘭超 | 申請(專利權(quán))人: | 新奧科技發(fā)展有限公司 |
| 主分類號: | H05H1/24 | 分類號: | H05H1/24 |
| 代理公司: | 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274 | 代理人: | 李文博 |
| 地址: | 065001 河*** | 國省代碼: | 河北;13 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 等離子生成裝置 陽極 陽極頭 陽極連接 冷卻腔 冷卻介質(zhì)流道 本實(shí)用新型 流道 冷卻介質(zhì)出口 冷卻介質(zhì)入口 等離子技術(shù) 方向設(shè)置 冷卻介質(zhì) 冷卻效果 換熱 連通 冷卻 延伸 | ||
1.一種用于等離子生成裝置的陽極,其特征在于,包括:
陽極頭,所述陽極頭內(nèi)部設(shè)有冷卻腔;
與所述陽極頭連接的陽極連接桿,所述陽極連接桿內(nèi)沿所述陽極連接桿的延伸方向設(shè)置有冷卻介質(zhì)流道,所述冷卻介質(zhì)流道包括分別與所述冷卻腔連通的冷卻介質(zhì)入口流道和冷卻介質(zhì)出口流道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于等離子生成裝置的陽極,其特征在于,
所述陽極連接桿由第一圓管和圍設(shè)在所述第一圓管周圍的第二圓管連接而成,所述第一圓管圍合成所述冷卻介質(zhì)入口流道,所述第二圓管和所述第一圓管圍合成所述冷卻介質(zhì)出口流道。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于等離子生成裝置的陽極,其特征在于,
所述第一圓管的直徑為5-10mm,所述第二圓管的直徑為15-25mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于等離子生成裝置的陽極,其特征在于,
所述陽極頭內(nèi)的冷卻腔的內(nèi)壁為圓弧形。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于等離子生成裝置的陽極,其特征在于,
所述圓弧形的半徑為10-15mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求2-5任一項(xiàng)所述的用于等離子生成裝置的陽極,其特征在于,
所述第一圓管與所述冷卻腔連通的一端伸入所述冷卻腔內(nèi),另一端為所述冷卻介質(zhì)流道的入口。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于等離子生成裝置的陽極,其特征在于,
所述第一圓管伸入所述冷卻腔內(nèi)的長度大于0mm小于等于10mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于等離子生成裝置的陽極,其特征在于,
還包括與所述陽極連接桿絕緣連接的安裝座,所述安裝座與所述陽極連接桿通過環(huán)繞在所述陽極連接桿外側(cè)的絕緣管絕緣連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于等離子生成裝置的陽極,其特征在于,
所述絕緣管通過遠(yuǎn)離所述陽極頭的一端與所述陽極連接桿連接,且所述絕緣管遠(yuǎn)離所述陽極頭的端部為波紋管段或螺紋管段。
10.一種等離子生成裝置,其特征在于,包括:
如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的用于等離子生成裝置的陽極;
真空腔體;所述用于等離子生成裝置的陽極的陽極頭伸入所述真空腔體內(nèi),通過所述陽極連接桿與所述真空腔體的腔壁連接。
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