[實用新型]銅制程區域的人員進出管制系統

有效

• 申請號: 201820954458.4
• 申請日: 2018-06-20
• 公開（公告）號: CN208335322U
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G07C9/00
• 分類號: G07C9/00;G06K9/00
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本實用新型教示了一種銅制程區域的人員進出管制系統，包括，設置于所述銅制程區域進口的外側的第一驗證區，第一人體探測裝置，第一圖像采集裝置和第一狀態指示裝置；設置于所述銅制程區域出口的內側的第二驗證區，第二人體探測裝置，第二圖像采集裝置和第二狀態指示裝置；以及控制中心。利用本實用新型的管制系統，解決了人員進出銅制程區域時，僅靠自我監督，而無有效手段確定預進出人員穿著是否符合規定的問題，有效的降低銅污染風險，另外，還可引入身份驗證，實現對進出銅制程區域人員資格的雙重判定，更好的實現管控，同時還能對穿著不符合規定或者身份驗證不通過的預進出人員的圖像信息和身份信息進行記錄存儲，方便監督管理。

技術領域

本實用新型涉及一種制造車間的管理，特別是涉及一種銅制程區域的人員進出管制系統。

背景技術

隨著單個器件變得越來越小，集成電路的運行速度越來越高。在幾百兆赫茲的速度下，信號必須以足夠快的速度通過金屬系統才能防止程序延誤。欲改善金屬連線的延遲可以采用電阻值較低的金屬作為金屬導線或是降低金屬導線間介電層的寄生電容。銅制程是一個解決延遲效應的可行方案，銅的導電性比鋁優良，同時銅本身具有抗電迀移的能力，而且能在低溫下進行淀積。

但是，因為在高溫下銅原子容易擴散，所以容易造成雜質污染，由于銅污染造成的短路、斷路而造成的芯片報廢，造成機臺的污染等，因此必須對銅制程區域進行隔離，而人員在進出銅制程區域時，需要進行管制。

因銅制程區域屬于管制區域，所以進入銅制程區域必須與其他區域作區分：進入銅制程區域控制門前有個換套區，必須穿載指定顏色手套與鞋套才能進入銅制程區域。而當離開銅制程區域必須脫離指定顏色腳套與手套丟在區域內的垃圾桶。銅制程區域包括化學機械研磨 (Chemical Mechanical Polishing，CMP)銅制程區域與薄膜(Thin Film，TF)銅制程區域。

但因為現有的管制方法比較寬松，它是靠進出人員自我監督來進行管制，且并無有效手段來確定進出人員穿著是否符合規定，所以常常發生因為進出人員忘記更換手套、腳套而造成的銅污染事故。

因此，開發銅制程區域的人員進出管制系統成為本領域技術人員亟需解決的一個重要技術問題。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種銅制程區域的人員進出管制系統，使用視覺設備對進出人員的穿著(是否穿戴指定顏色手套、腳套)進行管控，利用射頻識別讀取器(RFID reader)對進出人員信息進行讀取并記錄，用于解決現有技術中管制人員進出銅制程區域時無有效手段確定預進/出人員穿著是否符合規定的問題，有效的降低銅污染風險。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種銅制程區域的人員進出管制系統，所述銅制程區域的人員進出管制系統包括：

第一驗證區，設置于銅制程區域進口的外側；

第二驗證區，設置于銅制程區域出口的內側；

第一人體探測裝置，設置于所述銅制程區域進口的外側，當預進入人員進入所述第一驗證區時，所述第一人體探測裝置發出第一觸發信號；

第二人體探測裝置，設置于所述銅制程區域出口的內側，當預離開人員進入所述第二驗證區時，所述第二人體探測裝置發出第二觸發信號；

第一圖像采集裝置，設置于所述銅制程區域進口的外側，且連接所述第一人體探測裝置，用以接收所述第一觸發信號后對位于所述第一驗證區中的所述預進入人員進行圖像信息采集；

第二圖像采集裝置，設置于所述銅制程區域出口的內側，且連接所述第二人體探測裝置，用以接收所述第二觸發信號后對位于所述第二驗證區中的所述預離開人員進行圖像信息采集；