[實用新型]低壓擴散凝結器及真空裝置

有效

• 申請號: 201820952360.5
• 申請日: 2018-06-20
• 公開（公告）號: CN208660404U
• 公開（公告）日: 2019-03-29
• 發明（設計）人: 黎劍騎;孫涌濤
• 申請（專利權）人: 橫店集團東磁股份有限公司
• 主分類號: B01D5/00
• 分類號: B01D5/00;B01D53/00
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

本實用新型公開了一種低壓擴散凝結器及真空裝置，包括殼體、高溫氣體緩沖鏤空板、冷卻機構和收集機構，所述殼體內具有冷卻腔，殼體上設置有分別連通所述冷卻腔的高溫進氣口和高溫出氣口，所述高溫進氣口連通高溫進氣管，所述高溫出氣口連通高溫出氣管；所述高溫氣體緩沖鏤空板位于所述冷卻腔內，且將高溫進氣口與高溫出氣口隔離；所述冷卻機構位于所述殼體內，或者，所述冷卻機構位于所述殼體外層；殼體的底部設置有排液孔，所述排液孔連通所述收集機構。

技術領域

本實用新型涉及晶硅太陽電池設備技術領域，尤其涉及一種用于p-n結制造的低壓擴散凝結器。

背景技術

傳統的常壓擴散技術生產出晶硅電池均勻性差、產能低、能耗大，而采用低壓擴散技術可以提高晶硅電池的轉換效率、降低生產成本，保證硅片擴散的均勻性，提升電池片轉換效率，可以放置數量更多的硅片，可成倍提高擴散產能。但現有的低壓擴散技術如圖1所示沒有冷卻機構，只是真空泵與高溫出氣管相連，高溫出氣管與殼體相連，在低壓擴散中真空泵創造真空條件，通過高溫氣體對硅片進行擴散，在低壓擴散時為了維持管內壓力平衡，真空泵會進行工作，將管內氣體被隔膜真空泵抽出來并帶到后續的尾氣處理系統，這個過程中過多的偏磷酸等廢氣存在較強的腐蝕性，會導致真空泵腐蝕以及真空管路堵塞，從而使的真空泵經常維護，影響生產產能，從而大大的降低了設備的生產利用率。

發明內容

本實用新型的目的是為了克服現有技術中的真空泵腐蝕以及真空管路堵塞的不足，提供了一種結構簡單、成本低、可有效延長設備維護周期、降低真空泵堵塞以及真空泵管路腐蝕的低壓擴散凝結器。

為了實現上述目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種低壓擴散凝結器，包括殼體、高溫氣體緩沖鏤空板、冷卻機構和收集機構，所述殼體內具有冷卻腔，殼體上設置有分別連通所述冷卻腔的高溫進氣口和高溫出氣口，所述高溫進氣口連通高溫進氣管，所述高溫出氣口連通高溫出氣管；所述高溫氣體緩沖鏤空板位于所述冷卻腔內，且將高溫進氣口與高溫出氣口隔離；所述冷卻機構位于所述殼體內，或者，所述冷卻機構位于所述殼體外層；殼體的底部設置有排液孔，所述排液孔連通所述收集機構。本實用新型通過冷卻機構對高溫氣體進行冷凝操作，冷凝后的廢液通過收集機構進行收集，可以降低高溫氣體對真空泵的堵塞以及對真空泵管路的腐蝕，能夠有效延長設備的維護周期，只需在原有結構上加裝冷卻機構和收集機構即可，結構簡單，成本較低，易于操作。

作為上述方案的一種優選方案，所述冷卻機構包括相連接的進液管和出液管，所述進液管和所述出液管設置在殼體的內部或外部，進液管和出液管與所述殼體相貼緊。

作為上述方案的一種優選方案，所述冷卻機構位于所述殼體內，所述進液管和所述出液管設置在所述殼體上下部分，或者進液管和出液管設置在殼體的前后部分，或者進液管和出液管環繞殼體設置。

作為上述方案的一種優選方案，所述冷卻機構位于所述殼體外層，所述進液管和所述出液管設置在所述殼體上下部分，或者進液管和出液管設置在殼體的前后部分，或者進液管和出液管環繞殼體設置。本方案進水管與出水管相連，進水管流入溫度較低的冷卻液，吸收冷卻腔中的熱量，通過出液管排出溫度較高的冷卻液，結構簡單，容易操作，冷卻液可以循環使用。

作為上述方案的一種優選方案，所述進液管和所述出液管之間設置有隔熱板，本方案隔熱板的設置可以減小出液管中冷卻液對進液管中冷卻液的影響，增強冷卻效果。

所述收集機構包括收集管和收集容器，所述收集管與所述收集容器相連接。本方案可以對廢液進行收集處理再利用，減少了環境污染。

作為上述方案的一種優選方案，所述的收集管上安裝有手動閥。本方案可以通過手動閥調節收集管的開閉，處理廢液時不需要停機，可以有效的提高生產產能。