[實用新型]一種高精度質譜檢出限的檢測裝置

有效

• 申請號: 201820946643.9
• 申請日: 2018-06-19
• 公開（公告）號: CN208208713U
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發明（設計）人: 羅艷;吳曉斌;王魁波;謝婉露;張羅莎;張立佳
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: H01J49/02
• 分類號: H01J49/02;H01J49/42
• 代理公司: 北京辰權知識產權代理有限公司 11619
• 代理人: 劉廣達

1.一種高精度質譜檢出限的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置包括：待測高精度質譜儀、真空腔室、分子泵、干泵、隔膜泵、微調閥、金屬細管、金屬毛細管和大氣采樣閥，其中，所述真空腔室第一端口依次與所述分子泵、所述干泵連接，所述真空腔室第二端口連接有真空計，待測高精度質譜儀與所述真空腔室第三端口密封連接，且待測高精度質譜儀的檢測端伸入真空腔室內，所述真空腔室第四端口與大氣采樣閥的第一端密封連接，所述金屬細管位于真空腔室內，其一端與所述真空腔室內的檢測端連通，其另一端與所述大氣采樣閥的第一端內連通，所述大氣采樣閥的第二端與所述金屬毛細管連通，所述大氣采樣閥的第三端與所述微調閥的進氣口連通，所述微調閥的出氣口與所述隔膜泵連通。

2.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述真空腔室四個端口與所述分子泵、所述大氣采樣閥、所述真空計以及所述高精度質譜儀的連接均采用無氧銅全金屬密封。

3.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述高精度質譜儀的檢測端包括：離子源、質量分析器和檢測器，其中，所述離子源為封閉式離子源，所述封閉式離子源與所述金屬細管連通；所述檢測器底部為開放式結構，用于與所述真空腔室連通。

4.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述金屬細管為內徑為1毫米、長度為100毫米的金屬細管，用于將采樣氣體引入高精度質譜儀的檢測端。

5.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述金屬細管與所述大氣采樣閥的第一端通過孔徑為10μm的限流小孔連通，所述限流小孔用于檢測氣體的限流，降低金屬細管內的氣體壓力。

6.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述金屬毛細管為內徑為150微米，長度為1米的金屬毛細管，用于對檢測空氣進行采集。

7.根據權利要求4或5或6所述的檢測裝置，其特征在于，所述金屬細管和金屬毛細管材質為316L不銹鋼。

8.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述金屬毛細管以及所述大氣采樣閥外表面具有加熱結構，其中，所述加熱結構包括：加熱器、加熱器套以及加熱傳感器，所述金屬毛細管的進氣口處具有空氣過濾器。

9.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述真空腔室的腔室材料為316L不銹鋼，其外表面包裹有加熱帶。

10.根據權利要求9所述的檢測裝置，其特征在于，所述真空腔室還留有透視窗口。