[實用新型]水汽捕捉裝置有效

申請號：	201820943978.5	申請日：	2018-06-19
公開（公告）號：	CN208574246U	公開（公告）日：	2019-03-05
發明（設計）人：	趙青松;寧紅鋒	申請（專利權）人：	東泰高科裝備科技（北京）有限公司
主分類號：	B01D5/00	分類號：	B01D5/00
代理公司：	北京維澳專利代理有限公司 11252	代理人：	王立民;賈博雍
地址：	102299 北京市昌平***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	水汽捕捉本實用新型冷凝腔分子篩裝置捕捉裝置冷凝冷凝棒柱狀冷凝物冰晶處理氣體電子氣體交錯設置冷凝作用氣體出口氣體入口輸出處理水汽接觸再生過程副產物固體物多層殼體融化建造引入
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【說明書】：

本實用新型公開了一種水汽捕捉裝置，包括用于捕捉水汽的冷凝腔；所述冷凝腔的殼體上設有用于輸入待處理氣體的氣體入口以及用于輸出處理后氣體的氣體出口；所述冷凝腔的內部設有柱狀冷凝棒和多組水汽捕捉片；所述水汽捕捉片安裝在所述柱狀冷凝棒上，且分多層交錯設置，且每層水汽捕捉片具有間隙。相比現有的分子篩裝置，本實用新型的冷凝捕捉結構提供了更多的水汽接觸面積，無需花費大量成本建造大容積的分子篩裝置；而且本實用新型采用冷凝原理對水汽進行捕捉，使得捕捉后的水汽經冷凝作用轉變為固體物(如冰晶)，因而再生過程僅需升溫操作即可實現對冷凝物的融化，無需耗費電子氣體，也不會引入或者二次產生有毒副產物。

技術領域

本實用新型涉及工業氣體處理工藝，尤其涉及一種水汽捕捉裝置。

背景技術

在半導體行業、太陽能行業、LED行業、平板顯示行業和光纖行業快速發展的今天，砷烷等電子氣體的使用范圍越來越廣泛，在工藝流程中，對于電子氣體的提純工藝要求較高，不僅要求快速、高效地去除雜質，而且不能引入新的雜質，并且所產生的污染物要少，提純設備還要求能在線再生等。

目前對于砷烷等電子氣體中水汽的去除一般使用分子篩裝置，但是分子篩的微孔內表面積吸附完畢水汽后即失去吸附作用，單位體積分子篩吸附水汽的能力有限，需要建造大容積的分子篩才能滿足連續生產的需要；而且分子篩的再生需要大量的干氮氣進行再生置換水汽，并且再生過程會產生較多含毒尾氣，因而還需要單獨配置尾氣處理設備；另外，再生完畢后需要用砷烷等電子氣體再次對分子篩內的氮氣進行置換，而置換過程又會產生大量的有毒尾氣，并且還會浪費部分電子氣體。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種便于再生的水汽捕捉裝置，用以替換現有的分子篩提純方案，從而解決分子篩提純過程中的諸多弊端。

本實用新型采用的技術方案如下：

一種水汽捕捉裝置，包括：

用于捕捉水汽的冷凝腔；

所述冷凝腔的殼體上設有用于輸入待處理氣體的氣體入口以及用于輸出處理后氣體的氣體出口；

所述冷凝腔的內部設有柱狀冷凝棒和多組水汽捕捉片；

所述水汽捕捉片安裝在所述柱狀冷凝棒上，且分多層交錯設置，且每層水汽捕捉片具有間隙。

可選地，不同組的所述水汽捕捉片在所述柱狀冷凝棒上具有不同的安裝位置；和/或

不同組的所述水汽捕捉片的外周長不同。

可選地，所述柱狀冷凝棒包括至少一個設置在靠近所述冷凝腔的中心位置的第一冷凝棒、多個設置在靠近所述冷凝腔的內壁的第二冷凝棒以及多個設置在所述第一冷凝棒和所述第二冷凝棒之間的第三冷凝棒；

所述第二冷凝棒和所述第三冷凝棒分別以所述第一冷凝棒為中心呈環狀分布。