[實(shí)用新型]石墨烯薄膜刻蝕裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820931036.5
• 申請(qǐng)日: 2018-06-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208948857U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王岷顏
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇韻凱新能源科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C01B32/194
• 分類(lèi)號(hào): C01B32/194
• 代理公司: 常州市夏成專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 32233
• 代理人: 沈毅

本實(shí)用新型涉及石墨烯制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種石墨烯薄膜刻蝕裝置，包括刻蝕槽和用于裝夾薄膜的夾具，夾具架設(shè)在刻蝕槽上方，夾具由外框、條形滑槽和用于裝夾薄膜的夾子構(gòu)成，條形滑槽平行焊接固定在外框內(nèi)，夾子嵌設(shè)在條形滑槽內(nèi)，每個(gè)條形滑槽被其底部的隔板分隔成若干獨(dú)立的夾持區(qū)域，隔板與條形滑槽垂直設(shè)置，夾子由上端的T型塊和下端的夾持塊構(gòu)成，T型塊和夾持塊通過(guò)側(cè)面的連桿固定連接，通過(guò)將夾持有薄膜的夾具架設(shè)在刻蝕槽體上方的方式取代傳統(tǒng)的直接將夾具放置在槽體內(nèi)，更加方便夾具的取放和轉(zhuǎn)移，夾子和滑槽的配合對(duì)薄膜進(jìn)行調(diào)節(jié)，隔板對(duì)薄膜進(jìn)行分區(qū)隔離，使得薄膜刻蝕更完全，提高后期使用效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及石墨烯制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種石墨烯薄膜刻蝕裝置。

背景技術(shù)

石墨烯是一種由碳原子以sp2雜化軌道組成六角型呈蜂巢晶格的二維碳納米材料，石墨烯具有優(yōu)異的光學(xué)、電學(xué)、力學(xué)特性，在材料學(xué)、微納加工、能源、生物醫(yī)學(xué)和藥物傳遞等方面具有重要的應(yīng)用前景，被認(rèn)為是一種未來(lái)革命性的材料，英國(guó)曼徹斯特大學(xué)物理學(xué)家安德烈·蓋姆和康斯坦丁·諾沃肖洛夫，用微機(jī)械剝離法成功從石墨中分離出石墨烯，因此共同獲得2010年諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)，石墨烯常見(jiàn)的粉體生產(chǎn)的方法為機(jī)械剝離法、氧化還原法、SiC外延生長(zhǎng)法，薄膜生產(chǎn)方法為化學(xué)氣相沉積法（CVD）。

目前實(shí)驗(yàn)室主要采用化學(xué)氣相沉積方法在催化基底上制備石墨烯薄膜，將薄膜放入刻蝕液中進(jìn)行反應(yīng)的過(guò)程中需要輔助夾具對(duì)薄膜進(jìn)行固定，否則薄膜容易觸碰到刻蝕槽內(nèi)壁或是發(fā)生變形，影響刻蝕效果，例如申請(qǐng)?zhí)枮镃N201420776038.3，申請(qǐng)日為2014年12月11日，專(zhuān)利名稱(chēng)為“一種用于轉(zhuǎn)移石墨烯薄膜的工裝裝置”的專(zhuān)利，該工裝裝置通過(guò)在底板的固定柱上套設(shè)墊片的方式對(duì)薄膜進(jìn)行支撐，比較麻煩，且底板放置在刻蝕槽底部，反應(yīng)完成后要取出也比較麻煩，滿(mǎn)足不了日益增長(zhǎng)的使用需求。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有的工裝難從刻蝕槽內(nèi)取出的不足，本實(shí)用新型提供了一種石墨烯薄膜刻蝕裝置，通過(guò)將裝夾薄膜的夾具架設(shè)在刻蝕槽上方來(lái)解決問(wèn)題。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：一種石墨烯薄膜刻蝕裝置，包括刻蝕槽和用于裝夾薄膜的夾具，夾具架設(shè)在刻蝕槽上方，夾具由外框、條形滑槽和用于裝夾薄膜的夾子構(gòu)成，條形滑槽平行焊接固定在外框內(nèi)，夾子嵌設(shè)在條形滑槽內(nèi)，通過(guò)架設(shè)在刻蝕槽上方的夾具進(jìn)行薄膜刻蝕和轉(zhuǎn)移。

進(jìn)一步的，包括每個(gè)條形滑槽被其底部的隔板分隔成若干獨(dú)立的夾持區(qū)域，避免石墨烯薄膜粘結(jié)或是偏向一邊放置。

進(jìn)一步的，包括隔板與條形滑槽垂直設(shè)置，且隔板與條形滑槽焊接固定，對(duì)薄膜進(jìn)行分區(qū)隔離。

進(jìn)一步的，包括夾子由上端的T型塊和下端的夾持塊構(gòu)成，T型塊和夾持塊通過(guò)側(cè)面的連桿固定連接。

進(jìn)一步的，包括外框?yàn)榉叫?，且外框四周設(shè)置有與其垂直的折邊，防止夾具從刻蝕槽上滑下。

本實(shí)用新型的有益效果是，通過(guò)將夾持有薄膜的夾具架設(shè)在刻蝕槽體上方的方式取代傳統(tǒng)的直接將夾具放置在槽體內(nèi)，更加方便夾具的取放和轉(zhuǎn)移，夾子和滑槽的配合對(duì)薄膜進(jìn)行調(diào)節(jié)，隔板對(duì)薄膜進(jìn)行分區(qū)隔離，使得薄膜刻蝕更完全，提高后期使用效率。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。

圖1是本實(shí)用新型的主視圖；

圖2是本實(shí)用新型的側(cè)視圖；

圖3是本實(shí)用新型的俯視圖。

圖中1.刻蝕槽，2.夾具，21.外框，22.條形滑槽，23.夾子，231.T型塊，232.夾持塊，233.連桿，3.隔板，4.折邊。

具體實(shí)施方式