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[實用新型]一種光學對比檢測裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201820924228.3 申請日: 2018-06-14
公開(公告)號: CN208476774U 公開(公告)日: 2019-02-05
發(fā)明(設(shè)計)人: 井愛壹 申請(專利權(quán))人: 井愛壹
主分類號: G01N21/31 分類號: G01N21/31;G01N21/27
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 063000 河北省唐*** 國省代碼: 河北;13
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 標準樣品 待測樣品 分光儀 檢測儀 光學對比 檢測裝置 反射鏡 濾光片 整形 鏡片 本實用新型 光學檢測 厚度位置 檢測誤差 微位移臺 控制器 分光鏡 臺階形 位置處 吸光度 標定 路光 光源 穿過 計算機 檢測
【權(quán)利要求書】:

1.一種光學對比檢測裝置,其特征在于包括計算機(1)、分光儀控制器(2)和檢測儀(3);檢測儀(3)包括檢測儀外殼(301)、光源(302)、三角分光鏡(303)、第一反射鏡(304)、第一整形鏡片(305)、標準樣品(306)、第一濾光片(307)、第一分光儀(308)、第二反射鏡(309)、第二整形鏡片(310)、待測樣品(311)、第二濾光片(312)、第二分光儀(313);檢測儀外殼(301)為長方體形狀并設(shè)置有容納光源(302)、第一整形鏡片(305)、標準樣品(306)、第一濾光片(307)、第一分光儀(308)、第二整形鏡片(310)、待測樣品(311)、第二濾光片(312)、第二分光儀(313)的凹槽;其中光源(302)為激光光源(302),發(fā)射出正方形光斑;安裝光源(302)的凹槽單獨設(shè)置在一個表面,安裝第一分光儀(308)的凹槽、安裝第二分光儀(313)的凹槽均設(shè)置在與光源(302)相對的表面上;檢測儀外殼(301)內(nèi)設(shè)置有從光源(302)光出口到第一分光儀(308)、第二分光儀(313)光入口的光路通道;光路通道在光源(302)一側(cè)被三角分光鏡(303)分叉為第一光通道和第二光通道;安裝第一整形鏡片(305)的凹槽、安裝標準樣品(306)的凹槽、安裝第一濾光片(307)的凹槽均設(shè)置在與安裝光源(302)的凹槽相鄰的一個表面上,第一光路穿透安裝第一整形鏡片(305)的凹槽、安裝標準樣品(306)的凹槽、安裝第一濾光片(307)的凹槽;安裝第二整形鏡片(310)的凹槽、安裝待測樣品(311)的凹槽、安裝第二濾光片(312)的凹槽均設(shè)置在與設(shè)置安裝第一反射鏡(304)的凹槽的表面相對的表面上,第二光路穿透安裝第二整形鏡片(310)的凹槽、安裝待測樣品(311)的凹槽、安裝第二濾光片(312)的凹槽;

第一反射鏡(304)設(shè)置在第一光通道內(nèi),用于將光源(302)發(fā)出的光反射到第一整形鏡片(305),第二反射鏡(309)設(shè)置在第二光通道內(nèi),用于將光源(302)發(fā)出的光反射到第二整形鏡片(310);

計算機(1)連接光源(302)和分光儀控制器(2);分光儀控制器(2)連接第一分光儀(308)和第二分光儀(313);

光源(302)發(fā)射的光經(jīng)三角分光鏡(303)分成第一路光和第二路光;第一路光進入第一光通道,經(jīng)第一反射鏡(304)反射后依次穿過第一整形鏡片(305)、標準樣品(306)、第一濾光片(307)進入第一分光儀(308);第二路光進入第二光通道,經(jīng)第二反射鏡(309)反射后依次穿過第二整形鏡片(310)、待測樣品(311)、第二濾光片(312)進入第二分光儀(313);

三角分光鏡(303)底部設(shè)置有第一微位移臺(314)、標準樣品(306)底部設(shè)置有第二微位移臺(315)、待測樣品(311)底部設(shè)置有第三微位移臺(316),微位移臺調(diào)節(jié)三角分光鏡(303)、標準樣品(306)、待測樣品(311)的高度;標準樣品(306)為臺階形,調(diào)節(jié)第二微位移臺的高度從而使第一路光穿過不同厚度位置的標準樣品(306)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學對比檢測裝置,其特征在于第一整形鏡片(305)和第二整形鏡片(310)為復眼鏡片,使穿過的光能量均勻化。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學對比檢測裝置,其特征在于第一整形鏡片(305)和第二整形鏡片(310)完全相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學對比檢測裝置,其特征在于第一濾光片(307)和第二濾光片(312)完全相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學對比檢測裝置,其特征在于第一分光儀(308)和第二分光儀(313)完全相同。

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