[實(shí)用新型]一種低溫泵冷凝吸附裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820919994.0 | 申請日： | 2018-06-14 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN208380782U | 公開（公告）日： | 2019-01-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 毛文瑞;王為民;杜建偉;徐海波;林紅斌 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海優(yōu)拓低溫技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | F04B37/08 | 分類號(hào)： | F04B37/08;F04B39/00 |
| 代理公司： | 上海愉騰專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31306 | 代理人： | 唐海波 |
| 地址： | 201109 上海市閔行區(qū)園區(qū)*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 傘片 冷凝吸附裝置 導(dǎo)熱件 低溫泵 螺旋狀 本實(shí)用新型 長條弧形 多個(gè)零件 沖壓 薄銅板 螺旋形 線切割 卷制 旋壓 制作 模具 裝配 切割 組裝 | ||
本實(shí)用新型公開了一種低溫泵冷凝吸附裝置，包括中心導(dǎo)熱件和與中心導(dǎo)熱件相連的螺旋狀冷傘片；僅需要制作一個(gè)螺旋狀的冷傘片，該冷傘片可以先以線切割等方式，切割出一塊長條弧形的薄銅板，然后卷制整形成螺旋形；僅需以一個(gè)零件，代替多個(gè)零件，節(jié)省了旋壓或沖壓的模具，制作方法簡單，也減少了零件數(shù)量，組裝裝配更加方便。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及低溫泵技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種低溫泵冷凝吸附裝置。
背景技術(shù)
低溫泵是利用低溫表面冷凝或吸附氣體的一種真空泵。低溫泵可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路、真空鍍膜、離子注入機(jī)和空間模擬等行業(yè)。
如圖1所示，是一個(gè)典型的低溫泵結(jié)構(gòu)，包括法蘭1、一級(jí)擋板2、防輻射屏3、冷傘4、冷頭5和制冷機(jī)6。該低溫泵在運(yùn)行時(shí)，制冷機(jī)6持續(xù)產(chǎn)生冷量，使防輻射屏3、一級(jí)擋板2和冷傘4保持在低溫狀態(tài)。制冷機(jī)6分為一級(jí)冷頭和二級(jí)冷頭。制冷機(jī)6一級(jí)冷頭與防輻射屏3和一級(jí)擋板2連接，通常溫度為60～100K，可以使空間內(nèi)的水蒸氣、二氧化碳等氣體在其表面冷凝。制冷機(jī)6二級(jí)冷頭與冷傘4連接，通常溫度為10～20K，可以使空間內(nèi)的氮?dú)狻⒀鯕狻鍤獾葰怏w在其表面冷凝，另有氫氣、氦氣等非凝性氣體被冷傘內(nèi)表面粘接的活性炭低溫吸附。通過低溫冷凝和低溫吸附等手段，低溫泵將空間內(nèi)的幾乎所有氣體都抽除，獲得高真空。
如圖2所示，是一個(gè)典型的冷傘4結(jié)構(gòu)，該冷傘由多個(gè)冷傘片401組合而成，冷傘片401可能是全圓型或半圓形，多個(gè)冷傘片401之間由安裝架或支架(圖中未顯示)相互串聯(lián)，從上往下累積多層，冷傘片401與安裝架或支架支架通過鉚釘、螺釘或焊接等形式連接。
對(duì)于原冷傘4，需要事先制造多個(gè)冷傘片401，該冷傘片401通常以旋壓、或者沖壓等方案制成，制造過程比較復(fù)雜。
實(shí)用新型內(nèi)容
鑒于目前存在的上述不足，本實(shí)用新型提供一種低溫泵冷凝吸附裝置，節(jié)省了旋壓或沖壓的模具，制作方法簡單，也減少了零件數(shù)量，組裝裝配更加方便。
為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案：
一種低溫泵冷凝吸附裝置，所述冷凝吸附裝置包括中心導(dǎo)熱件和與中心導(dǎo)熱件相連的螺旋狀冷傘片。
依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述螺旋狀冷傘由長條弧形的導(dǎo)熱板卷制而成。
依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述中心導(dǎo)熱件為柱形，所述螺旋狀冷傘為卷繞在柱形中心導(dǎo)熱件上的螺旋柱形結(jié)構(gòu)。
依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述中心導(dǎo)熱件為錐形，所述螺旋狀冷傘為卷繞在柱形中心導(dǎo)熱件上的螺旋錐形結(jié)構(gòu)。
依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述螺旋狀冷傘片的材質(zhì)為銅。
依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述螺旋狀冷傘片與所述中心導(dǎo)熱件之間通過緊固件的方式連接或通過焊接的方式連接。
本實(shí)用新型實(shí)施的優(yōu)點(diǎn)：本實(shí)用新型所述的冷凝吸附裝置，包括中心導(dǎo)熱件和與中心導(dǎo)熱件相連的螺旋狀冷傘片；僅需要制作一個(gè)螺旋狀的冷傘片，該冷傘片可以先以線切割等方式，切割出一塊長條弧形的薄銅板，然后卷制整形成螺旋形；僅需以一個(gè)零件，代替多個(gè)零件(冷傘片401)，節(jié)省了旋壓或沖壓的模具，制作方法簡單，也減少了零件數(shù)量，組裝裝配更加方便。
附圖說明
為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為本實(shí)用新型背景技術(shù)所述的低溫泵結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本實(shí)用新型背景技術(shù)所述的傳統(tǒng)冷傘結(jié)構(gòu)示意圖；
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于上海優(yōu)拓低溫技術(shù)有限公司，未經(jīng)上海優(yōu)拓低溫技術(shù)有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201820919994.0/2.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
