[實用新型]一種透明介質的表面劃痕成像檢測裝置

有效

• 申請號: 201820918194.7
• 申請日: 2018-06-13
• 公開（公告）號: CN208255081U
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發明（設計）人: 黃鴻衡;羅曦;趙汝豪;周健強;韓定安;王茗祎;曾亞光
• 申請（專利權）人: 佛山科學技術學院
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 王國標

1.一種透明介質的表面劃痕成像檢測裝置，其特征在于，包括平行光源模塊(1)、第一傅里葉透鏡(2)、空間濾波模塊(3)、成像鏡頭(4)、探測器模塊(5)以及數據處理模塊(6)；所述平行光源模塊(1)輸出平行光束，平行光束先后通過被測樣品以及第一傅里葉透鏡(2)形成匯聚光束，匯聚光束先后通過空間濾波模塊(3)以及成像鏡頭(4)到達探測器模塊(5)，所述空間濾波模塊(3)置于第一傅里葉透鏡(2)的焦平面上，所述成像鏡頭(4)安裝在探測器模塊(5)上，所述探測器模塊(5)輸出端與數據處理模塊(6)輸入端通信連接。

2.根據權利要求1所述的一種透明介質的表面劃痕成像檢測裝置，其特征在于：所述平行光源模塊(1)包括輸出波長為632.8nm激光的氦氖激光器(11)以及第二傅里葉透鏡(12)，所述氦氖激光器(11)置于第二傅里葉透鏡(12)的焦點處，所述氦氖激光器(11)輸出的擴散光束經過第二傅里葉透鏡(12)后形成平行光束。

3.根據權利要求2所述的一種透明介質的表面劃痕成像檢測裝置，其特征在于：所述平行光源模塊(1)還包括用于調節平行光束功率密度的偏振片組，所述偏振片組包括兩個偏振片(13)，從第二傅里葉透鏡(12)出射的平行光束先后通過兩個偏振片(13)。

4.根據權利要求1所述的一種透明介質的表面劃痕成像檢測裝置，其特征在于：所述空間濾波模塊(3)包括內部介質均勻的透明玻璃基底(31)，所述透明玻璃基底(31)上涂有一黑色涂層(32)，所述黑色涂層(32)位于第一傅里葉透鏡(2)的焦點處，所述黑色涂層(32)的形狀尺寸與匯聚光束在焦點處形成光斑的形狀尺寸一致。

5.根據權利要求1所述的一種透明介質的表面劃痕成像檢測裝置，其特征在于：所述空間濾波模塊(3)包括反射鏡(33)，所述反射鏡(33)上設置有通孔(34)，所述通孔(34)位于第一傅里葉透鏡(2)的焦點處，所述通孔(34)的孔徑與匯聚光束在焦點處形成光斑的半徑一致。