[實用新型]一種背照式圖像傳感器

有效

• 申請號: 201820917098.0
• 申請日: 2018-06-13
• 公開（公告）號: CN208225881U
• 公開（公告）日: 2018-12-11
• 發明（設計）人: 羅新東
• 申請（專利權）人: 深圳卓領科技股份有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 楊倫

1.一種背照式圖像傳感器，其特征在于，包括第一導電類型隔離層(3)、具有第一導電類型的基板(1)以及具有第二導電類型的光電二極管(2)；

所述光電二極管(2)設置于所述基板(1)內，所述第一導電類型隔離層(3)設置在所述光電二極管(2)與所述基板(1)的前表面之間；

所述基板(1)內還設置有具有第二導電類型重摻雜的高濃度雜質區(4)，所述高濃度雜質區(4)與所述光電二極管(2)間隔設置；

所述高濃度雜質區(4)與所述光電二極管(2)之間的基板(1)前表面上設置有柵電極(5)，所述柵電極(5)延伸至對應第一導電類型隔離層(3)的基板(1)前表面上，柵電極(5)對應覆蓋光電二極管(2)，所述柵電極(5)包括柵氧化層(51)、柵極層(52)和柵極側墻(53)；

所述基板(1)的前表面還設置有介電層(6)和導線層(7)，所述介電層(6)內設置有吸光層(8)；

所述基板(1)的背表面設置有絕緣層(9)和固定電荷層(10)。

2.根據權利要求1所述的一種背照式圖像傳感器，其特征在于，還包括具有第一導電類型的背釘扎層(11)，所述背釘扎層(11)設置在所述光電二極管(2)與所述基板(1)的背表面之間。

3.根據權利要求1所述的一種背照式圖像傳感器，其特征在于，所述固定電荷層(10)上設置有第二絕緣層(12)，所述第二絕緣層(12)上設置有鈍化層(13)，所述鈍化層(13)上依次設置有濾光膜層(14)和微透鏡層(15)。

4.根據權利要求1所述的一種背照式圖像傳感器，其特征在于，所述基板(1)上還設置有裝置隔離區(16)且環繞于所述光電二極管(2)的外圍。

5.根據權利要求1所述的一種背照式圖像傳感器，其特征在于，所述第一導電類型為P型，第二導電類型為N型；第一導電類型為N型時，第二導電類型為P型。

6.根據權利要求1所述的一種背照式圖像傳感器，其特征在于，所述介電層(6)和吸光層(8)為一體結構。

7.根據權利要求1所述的一種背照式圖像傳感器，其特征在于，所述吸光層(8)的材質為碳或者三氧化鉻。

8.根據權利要求7所述的一種背照式圖像傳感器，其特征在于，所述吸光層(8)的材質為石墨。