[實用新型]激光損傷閾值測試裝置

有效

• 申請號: 201820898714.2
• 申請日: 2018-06-11
• 公開（公告）號: CN208350331U
• 公開（公告）日: 2019-01-08
• 發明（設計）人: 張岳;陳曉東
• 申請（專利權）人: 長春瑞實光電科技有限責任公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 長春眾邦菁華知識產權代理有限公司 22214
• 代理人: 朱紅玲

激光損傷閾值測試裝置，涉及激光測試技術領域。本實用新型為了解決現有技術中激光損傷閾值自動測試平臺實驗器件冗余、實驗占用空間過大、測試方式單一、自動化程度低的技術問題，包括一體柜、水冷系統、控制系統、調Q激光器、激光調整架、集成腔、自動位移測試平臺和樣品放置平臺。一體柜的上表面安裝激光調整架，激光調整架上設置有托板，調Q激光器固定在托板上，一體柜的內部安裝有可移動擋板，可移動擋板上放置脈沖激光電源、水冷系統和控制系統，水冷系統，通過上行和下行兩個水管與調Q激光器連接；集成腔與調Q激光器一體連接，自動位移測試平臺與樣品放置臺連接，本新型縮減了實驗器件冗余、減少了實驗占用空間。

技術領域

本發明涉及一種激光光路中所用鏡片的激光損傷閾值的測試技術，具體涉及一種激光損傷閾值測試裝置。

背景技術

隨著科學技術的發展，大功率高能量激光系統的應用范圍不斷擴大，激光系統中存在大量的薄膜元件，這些原件的抗激光損傷性能與激光系統的有效高速運行密不可分。因此，薄膜抗激光損傷性能(即激光損傷閾值)已成為衡量光學薄膜元件的重要性能指標之一。

而現有的激光損傷閾值測試的平臺，需要的實驗器件冗余，實驗占用空間過大，且只能進行單一的單點的“1-on-1”或“S-on-1”測試。

在此背景下，我們提出的激光損傷閾值測試裝置及測試方法，可實現單點或多點的“1-on-1”及“S-on-1”測試方式。在此裝置中，我們提供了鏡片初始測試點校準方式，簡化了測試平臺，加深了測試的自動化程度，并提高了測試效率。

實用新型內容

本實用新型為了解決現有技術中激光損傷閾值自動測試平臺實驗器件冗余、實驗占用空間過大、測試方式單一、自動化程度低的技術問題，提供一種激光損傷閾值測試裝置。

激光損傷閾值測試裝置，包括一體柜、脈沖激光電源、水冷系統、控制系統、激光調整架、調Q激光器、集成腔、樣品放置平臺和自動位移測試平臺；所述一體柜的上表面安裝激光調整架，所述激光調整架上設置有托板，所述調Q 激光器固定在托板上，通過激光調整架上方搖臂控制托板在z軸方向上的位置；所述一體柜的內部安裝有可移動擋板，所述可移動擋板上放置脈沖激光電源、水冷系統和控制系統，所述水冷系統，通過上行和下行兩個水管與調Q激光器連接；

所述集成腔位于調Q激光器前端，與調Q激光器一體連接，所述集成腔內設置衰減器、激光擴束鏡、檢偏片、激光聚焦鏡、第一全反鏡、激光準直器、第二全反鏡和第三全反鏡；所述集成腔的外側固定有激光能量計；所述調Q激光器發出的激光經衰減器、激光擴束鏡后入射至檢偏片，經所述檢偏片產生的反射光入射至激光能量計，產生的偏振光經過激光聚焦鏡后入射至第一全反鏡；所述激光準直器出射的激光經第二全反鏡反射后入射至第三全反鏡，經所述第三全反鏡反射后經檢偏片反射至激光聚焦鏡，經激光聚焦鏡聚焦后入射至第一全反鏡；

所述樣品放置平臺固定懸掛于一體柜左側外部，并通過搖臂調整樣品放置平臺的頂面平臺在z軸方向的相對高度；所述自動位移測試平臺通過與樣品放置平臺固定連接，自動位移測試平臺包括自定心光學夾持器和兩個步進電機，所述步進電機控制自定心光學夾持器在x軸及y軸進行水平移動。

本實用新型的有益效果：

一、本實用新型的激光損傷閾值測試裝置通過集成腔，縮減了實驗器件冗余、減少了實驗占用空間；

二、本實用新型的激光損傷閾值測試裝置通過集成腔內650nm激光準直器及其光路，提高了薄膜測試點的校準精度；

三、本實用新型的激光損傷閾值測試裝置通過控制系統，優化了測試方式，可提供單點或多點的“1-on-1”及“S-on-1”測試方式；

四、本實用新型的激光損傷閾值測試裝置通過自動唯一平臺，加深了測試裝置的自動化程度。

附圖說明