[實(shí)用新型]具有緩存區(qū)的物料傳送設(shè)備及其物料傳送系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820894961.5
• 申請(qǐng)日: 2018-06-08
• 公開（公告）號(hào): CN208593787U
• 公開（公告）日: 2019-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊應(yīng)俊;李海東;劉子敏;王勝利;楊波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市矽電半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B65G47/69
• 分類號(hào): B65G47/69;B65G47/91
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 何星民

本實(shí)用新型公開了具有緩存區(qū)的物料傳送設(shè)備及其物料傳送系統(tǒng)，解決了常見對(duì)原機(jī)臺(tái)設(shè)備進(jìn)行工業(yè)4.0改造時(shí),改造成本較高的問題，其技術(shù)方案要點(diǎn)是，包括：機(jī)臺(tái)；設(shè)于所述機(jī)臺(tái)上的傳送裝置，所述機(jī)臺(tái)上設(shè)有至少兩個(gè)用于暫存產(chǎn)品的緩存區(qū)，所述緩存區(qū)設(shè)置于所述機(jī)臺(tái)的一側(cè)或兩側(cè)，所述傳送裝置可延伸出所述機(jī)臺(tái)至少一個(gè)緩存區(qū)的長度；以及，滑動(dòng)式設(shè)置于所述傳送裝置上、受所述傳送裝置驅(qū)動(dòng)以輸送產(chǎn)品的機(jī)械手裝置，達(dá)到改造成本低，組線較為靈活，較大地降低了成本的目的。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及自動(dòng)化設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及具有緩存區(qū)的物料傳送設(shè)備及其物料傳送系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體集成電路的飛速發(fā)展,在半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)進(jìn)行工業(yè)4.0改造勢(shì)在必行。進(jìn)行改造時(shí),改造點(diǎn)主要集中體現(xiàn)在上下料的位置,但由于半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的特殊性,在對(duì)原機(jī)臺(tái)設(shè)備進(jìn)行工業(yè)4.0改造時(shí),要求改造成本低,運(yùn)動(dòng)可靠,運(yùn)行高效,且組線靈活,現(xiàn)有的改造方案成本較高，因此需要提供一種解決半導(dǎo)體設(shè)備單機(jī)組線所面臨問題的優(yōu)選方案。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的一是提供一種具有緩存區(qū)的物料傳送設(shè)備，具有單個(gè)機(jī)臺(tái)的改造成本低，在對(duì)多個(gè)改造后的機(jī)臺(tái)進(jìn)行組線較為靈活的優(yōu)點(diǎn)。

本實(shí)用新型的上述技術(shù)目的是通過以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)的：一種具有緩存區(qū)的物料傳送設(shè)備，包括：機(jī)臺(tái)；設(shè)于所述機(jī)臺(tái)上的傳送裝置，所述機(jī)臺(tái)上設(shè)有至少兩個(gè)用于暫存產(chǎn)品的緩存區(qū)，所述緩存區(qū)設(shè)置于所述機(jī)臺(tái)靠近傳送裝置的一側(cè)或兩側(cè)，所述傳送裝置可延伸出所述機(jī)臺(tái)至少一個(gè)緩存區(qū)的長度；以及，滑動(dòng)式設(shè)置于所述傳送裝置上、受所述傳送裝置驅(qū)動(dòng)以輸送產(chǎn)品的機(jī)械手裝置。

通過采用上述技術(shù)方案，在進(jìn)行單個(gè)物料傳送設(shè)備的改造時(shí)，機(jī)臺(tái)上設(shè)置至少兩個(gè)用于暫存產(chǎn)品的緩存區(qū)，當(dāng)機(jī)械手裝置在傳送裝置上滑動(dòng)將產(chǎn)品輸送至緩存區(qū)時(shí)，因每個(gè)機(jī)臺(tái)的傳送裝置延伸出機(jī)臺(tái)自身至少一個(gè)緩存區(qū)的長度，所以相鄰機(jī)臺(tái)的機(jī)械手裝置可到達(dá)前一機(jī)臺(tái)的緩存區(qū)，從而實(shí)現(xiàn)將一機(jī)臺(tái)上緩存區(qū)的產(chǎn)品輸送至相鄰機(jī)臺(tái)上，在不對(duì)原有機(jī)臺(tái)進(jìn)行過大改造的情況下，實(shí)現(xiàn)多個(gè)機(jī)臺(tái)的組線，改造成本低，組線較為靈活，較大地降低了成本。

本實(shí)用新型的進(jìn)一步設(shè)置，所述傳送裝置包括：設(shè)于所述機(jī)臺(tái)上、沿所述機(jī)臺(tái)長度方向設(shè)置、供所述機(jī)械手裝置滑動(dòng)的軌道；以及，設(shè)于所述機(jī)臺(tái)上、用于驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械手裝置在所述軌道上滑動(dòng)的輸送機(jī)構(gòu)。

通過采用上述技術(shù)方案，輸送機(jī)構(gòu)可驅(qū)動(dòng)機(jī)械手裝置在軌道上移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品在機(jī)臺(tái)上的輸送及向相鄰機(jī)臺(tái)輸送的工作。

本實(shí)用新型的進(jìn)一步設(shè)置，所述輸送機(jī)構(gòu)包括：設(shè)于所述軌道上的主動(dòng)輪及從動(dòng)輪；用于驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)；以及，套設(shè)于所述主動(dòng)輪及從動(dòng)輪上與機(jī)械手裝置固定的傳送帶。

通過采用上述技術(shù)方案，電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)傳送帶移動(dòng)，帶動(dòng)機(jī)械手裝置移動(dòng)以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的輸送。

本實(shí)用新型的進(jìn)一步設(shè)置，所述機(jī)械手裝置包括：滑動(dòng)式設(shè)置于所述軌道上、與所述傳送帶固定的滑動(dòng)座；設(shè)于滑動(dòng)座靠近緩存區(qū)一端的架體；設(shè)于所述滑動(dòng)座、用于驅(qū)動(dòng)架體升降的驅(qū)動(dòng)件；以及，多個(gè)設(shè)于所述架體朝向緩存區(qū)一面的吸盤。

通過采用上述技術(shù)方案，傳送帶移動(dòng)帶動(dòng)滑動(dòng)座移動(dòng)，滑動(dòng)座在軌道上滑動(dòng)至緩存區(qū)時(shí)，驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)架體升降，使吸盤將緩存區(qū)上的產(chǎn)品吸合，從而實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的轉(zhuǎn)移。

本實(shí)用新型的進(jìn)一步設(shè)置，所述機(jī)械手裝置包括：滑動(dòng)式設(shè)置于所述軌道上、與所述傳送帶固定的副軌道；滑動(dòng)式設(shè)置于所述副軌道上的滑動(dòng)座；設(shè)于所述副軌道上、用于驅(qū)動(dòng)所述滑動(dòng)座在所述副軌道上滑動(dòng)的副輸送機(jī)構(gòu)；設(shè)于滑動(dòng)座靠近緩存區(qū)一端的架體；設(shè)于所述滑動(dòng)座、用于驅(qū)動(dòng)架體升降的驅(qū)動(dòng)件；以及，多個(gè)設(shè)于所述架體朝向緩存區(qū)一面的吸盤。