[實用新型]螺旋波等離子氣相沉積裝置

有效

• 申請號: 201820884802.7
• 申請日: 2018-06-08
• 公開（公告）號: CN208472189U
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發明（設計）人: 胡穎
• 申請（專利權）人: 淮陰師范學院
• 主分類號: C23C16/505
• 分類號: C23C16/505;C23C16/27
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.螺旋波等離子氣相沉積裝置，其特征在于：它包含放電室(1)、沉積室(2)、連通管道(3)、電磁線圈(4)、天線(5)、射頻電源(6)、第一進氣管(7)、透氣孔(8)、第一支撐板(9)、第一真空泵(10)、第一抽氣管(11)、基片臺(12)、第二進氣管(13)、第二支撐板(14)、第二真空泵(15)、第二抽氣管(16)，放電室(1)通過連通管道(3)與沉積室(2)相連通，放電室(1)的兩側內壁設置有電磁線圈(4)，天線(5)的一端伸進放電室(1)內，天線(5)的另一端伸出放電室(1)外與射頻電源(6)連接，放電室(1)的頂部設置有第一進氣管(7)，第一進氣管(7)伸進放電室(1)內的部分設置有多個透氣孔(8)，放電室(1)的側壁設置有第一支撐板(9)，第一支撐板(9)上安裝有第一真空泵(10)，第一真空泵(10)通過第一抽氣管(11)與放電室(1)連接，沉積室(2)的底部設置有基片臺(12)，沉積室(2)的側邊設置有第二進氣管(13)，沉積室(2)的側壁設置有第二支撐板(14)，第二支撐板(14)上設置有第二真空泵(15)，第二真空泵(15)通過第二抽氣管(16)與沉積室(2)連接。

2.根據權利要求1所述的螺旋波等離子氣相沉積裝置，其特征在于：所述的電磁線圈(4)為餅式線圈。

3.根據權利要求1所述的螺旋波等離子氣相沉積裝置，其特征在于：所述的第一進氣管(7)上設置有第一流量計(17)，所述的第二進氣管(13)上設置有第二流量計(18)。

4.根據權利要求1所述的螺旋波等離子氣相沉積裝置，其特征在于：所述的連通管道(3)上設置有第三流量計(19)和截止閥(20)。

5.根據權利要求1所述的螺旋波等離子氣相沉積裝置，其特征在于：所述的沉積室(2)的外殼上設置有玻璃觀察窗(21)。