[實用新型]一種自標定薄膜熱電偶

有效

• 申請號: 201820884600.2
• 申請日: 2018-06-08
• 公開（公告）號: CN208206329U
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發明（設計）人: 丁炯;楊遂軍;葉樹亮
• 申請（專利權）人: 中國計量大學
• 主分類號: G01K7/02
• 分類號: G01K7/02
• 代理公司: 杭州奧創知識產權代理有限公司 33272
• 代理人: 王佳健

本實用新型公開了一種自標定薄膜熱電偶。本實用新型在絕緣底層上一次鍍制有金極與鉑極，兩電極相接觸的結點即為熱電偶熱結點；所述的金極、鉑極和熱電偶熱結點稱為熱電偶；所述熱電偶在鉑極上串接有兩個不同半徑的半圓弧形薄膜鉑電阻，所述的半圓弧形薄膜鉑電阻的圓心位于熱電偶熱結點的中心位置。本實用新型的自標定薄膜熱電偶集成了一個金鉑薄膜熱電偶和兩個薄膜鉑電阻，在標定薄膜熱電偶時根據薄膜鉑電阻的溫度結合溫度推算模型可實現薄膜熱電偶熱結點溫度推算。

技術領域

本實用新型屬于表面溫度測量領域，涉及一種自標定薄膜熱電偶。

背景技術

在快速表面測溫領域，薄膜熱電偶由于熱容小、響應速度快，可被用于高精度瞬態表面溫度測量。準確標定薄膜熱電偶靜態特性，是使用薄膜熱電偶實現高精度瞬態表面測溫的前提。當前對薄膜熱電偶的靜態標定方法普遍采用傳統鎧裝熱電偶的標準標定方法，但將該方法應用于薄膜熱電偶時存在一定問題，在一定程度上影響了薄膜熱電偶表面溫度的測量。

發明內容

本實用新型針對現有技術的不足，提供了一種自標定薄膜熱電偶。

本實用新型采用的技術方案是：

本實用新型在絕緣底層上一次鍍制有金極與鉑極，兩電極相接觸的結點即為熱電偶熱結點；所述的金極、鉑極和熱電偶熱結點稱為熱電偶。

所述熱電偶在鉑極上串接有兩個不同半徑的半圓弧形薄膜鉑電阻，所述的半圓弧形薄膜鉑電阻的圓心位于熱電偶熱結點的中心位置。

所述熱電偶中的金極和鉑極通過引線與信號處理電路相連接，實現薄膜熱電偶熱電勢測量。

所述熱電偶中的兩個薄膜鉑電阻通過引線與信號處理電路相連接，實現薄膜鉑電阻四線制測量。

進一步說，所述熱電偶中的金極、鉑極和薄膜鉑電阻的引線材料的純度為99.99%。

進一步說，所述的絕緣底層采用氧化鋁。

本實用新型具有的有益效果是：本實用新型的自標定薄膜熱電偶集成了一個金鉑薄膜熱電偶和兩個薄膜鉑電阻，在標定薄膜熱電偶時根據薄膜鉑電阻的溫度結合溫度推算模型可實現薄膜熱電偶熱結點溫度推算。

附圖說明

圖1為自標定薄膜熱電偶的整體結構俯視圖。

圖2為薄膜鉑電阻PRT1的溫度阻值曲線圖。

圖3為薄膜鉑電阻PRT2的溫度阻值曲線圖。

圖4為薄膜熱電偶的熱電特性曲線圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型做進一步詳述：

本實用新型在絕緣底層上一次鍍制金極與鉑極，兩電極相接觸的結點即為熱電偶熱結點。其中金極、鉑極和熱電偶熱結點稱為熱電偶，所述熱電偶通過電子印刷工藝印刷在絕緣陶瓷基底上。所述熱電偶在鉑極上設計了兩個不同半徑的半圓弧形薄膜鉑電阻。所述熱電偶的金極和鉑極通過引線與信號處理電路相連接，實現薄膜熱電偶熱電勢測量。所述熱電偶中的兩個薄膜鉑電阻通過引線與信號處理電路相連接，實現薄膜鉑電阻四線制測量。所述熱電偶中的金極、鉑極和薄膜鉑電阻的引線均采用純度為99.99%的金、鉑引線，通過焊接工藝與引腳相連接。所述的熱電偶中的兩個薄膜鉑電阻在對薄膜熱電偶進行靜態標定時用于測量兩個不同半徑處的溫度，實現薄膜熱電偶熱結點溫度的推算。

實施例：