[實用新型]一種抗壓式氣體質量流量控制器

有效

• 申請號: 201820878086.1
• 申請日: 2018-06-07
• 公開（公告）號: CN208459869U
• 公開（公告）日: 2019-02-01
• 發明（設計）人: 楊兆寶
• 申請（專利權）人: 無錫愛拓利電子科技有限公司
• 主分類號: G05D7/00
• 分類號: G05D7/00;G05D7/03
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 黃冠華

本實用新型公開了一種抗壓式氣體質量流量控制器，包括進氣口、減壓閥、流氣管、氣阻桶和控制桿，所述進氣口的下方設置有第一過濾管，且第一過濾管的左側設置有第二過濾管，所述第二過濾管的內部設置有過濾板，且第二過濾管的底部設置有管蓋，所述減壓閥位于第一過濾管的右側，且減壓閥的下方設置有空氣流量傳感器，所述流氣管的位于空氣流量傳感器的下方，且流氣管的內部上下兩側均設置有連接塊，所述氣阻桶位于連接塊的上方，且連接塊的下方設置有出氣管，所述出氣管的內部設置有擋氣帶，且出氣管的左側設置有閥體，所述控制桿位于閥體的左側。該抗壓式氣體質量流量控制器，解決了抗壓效果差，不能夠進行氣體雜質的過濾的問題。

技術領域

本實用新型涉及氣體質量流量控制器技術領域，具體為一種抗壓式氣體質量流量控制器。

背景技術

氣體質量流量控制器是微電子領域、化工領域等常用的元件，氣體質量流量控制器主要用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制，在半導體微電子工業、特種材料研制、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用，一般的氣體流量質量控制器抗壓效果差，不能夠進行氣體雜質的過濾，因此，我們提出一種抗壓式氣體質量流量控制器，以便于解決上述中提出的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種抗壓式氣體質量流量控制器，以解決現有技術中存在的氣體質量流量控制器抗壓效果差，不能夠進行氣體雜質的過濾的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種抗壓式氣體質量流量控制器，包括進氣口、減壓閥、流氣管、氣阻桶和控制桿，所述進氣口的下方設置有第一過濾管，且第一過濾管的左側設置有第二過濾管，所述第二過濾管的內部設置有過濾板，且第二過濾管的底部設置有管蓋，所述減壓閥位于第一過濾管的右側，且減壓閥的下方設置有空氣流量傳感器，并且空氣流量傳感器的頂部設置有橡膠圈，所述流氣管的位于空氣流量傳感器的下方，且流氣管的內部上下兩側均設置有連接塊，所述氣阻桶位于連接塊的上方，且連接塊的下方設置有出氣管，所述出氣管的內部設置有擋氣帶，且出氣管的左側設置有閥體，所述控制桿位于閥體的左側。

優選的，所述第一過濾管與第二過濾管構成“Y”字形結構，且第一過濾管的內部呈螺旋狀結構。

優選的，所述第二過濾管與過濾板的連接方式為卡合連接，且過濾板呈網狀結構。

優選的，所述減壓閥設置有2組，且減壓閥與流氣管的連接方式為螺紋連接。

優選的，所述連接塊呈中空結構，且氣阻桶通過連接塊與流氣管相連接，并且氣阻桶的側邊呈折線型結構。

優選的，所述控制桿與出氣管構成左右滑動結構，且控制桿的底部豎直截面呈梯形結構。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：該抗壓式氣體質量流量控制器，具有抗壓功能，能夠進行氣體雜質的過濾；

(1)本實用新型設置有第一過濾管和第二過濾管，第一過濾管和第二過濾管構成“Y”形過濾器，能夠將氣體的雜質留在第二過濾管內，純凈的氣體流進第一過濾管，對氣體的雜質過濾，保證氣體的質量；

(2)本實用新型設置有過濾板，過濾板與第二過濾管的連接方式為卡合連接，便于將過濾板從第二過濾管中拆除，對其進行清洗更換；

(3)本實用新型設置有減壓閥，2組減壓閥更加有效的降低控制器內部的氣壓，起到抗壓功效，保護控制器內部的零件；

(4)本實用新型設置有氣阻桶，氣阻桶的側邊呈折線形結構，能夠減慢氣體的流動速度，減少氣壓的產生。

附圖說明

圖1為本實用新型的局部剖視圖；

圖2為本實用新型中的第一過濾管和第二過濾管結構示意圖；

圖3為本實用新型中的流氣管內部結構示意圖；