[實用新型]一種泡生法藍寶石晶體生長籽晶保護裝置

有效

• 申請號: 201820874155.1
• 申請日: 2018-06-07
• 公開（公告）號: CN208414628U
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發明（設計）人: 張連翰;杭寅;朱影;何明珠;蔡雙;徐民;潘世烈;趙興檢;韋建
• 申請（專利權）人: 新疆紫晶光電技術有限公司
• 主分類號: C30B17/00
• 分類號: C30B17/00;C30B29/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及泡生法藍寶石晶體生長領域，旨在提供一種泡生法藍寶石晶體生長籽晶保護裝置。通過在泡生爐的波紋管和爐蓋之間固定一套插板閥裝置，使藍寶石籽晶在晶體生長之前完全隔絕在波紋管內部，避免爐膛中發熱體及保溫材料在高溫熔化時揮發對籽晶形成腐蝕污染，從而提高接種效率并顯著改善泡生法藍寶石晶體的質量及成品率。

技術領域

本實用新型涉及藍寶石晶體生長領域，特別是一種泡生法藍寶石晶體生長籽晶保護裝置與方法，屬晶體制備的技術領域。

背景技術

藍寶石晶體作為當前半導體照明行業的關鍵部件，是藍光和白光LED的重要襯底材料，其大尺寸、高質量的生長制備是行業發展的基礎。目前已有多種方法實現了藍寶石晶體的生長制備，包括泡生法、熱交換法、導模法、提拉法、坩堝下降法等。泡生法能夠生長尺寸較大的藍寶石晶體以及設備成本相對低廉，被業內認為是最適合大規模生產藍寶石晶體的方法。現有的泡生法，如公開號為CN105088333A和專利號為CN205603721U的專利文件所述裝置，籽晶通常暴露于發熱體及保溫材料的上部，在升溫化料及過熱階段，發熱體、保溫材料及熔體分解揮發物可粘附于籽晶表面，進而腐蝕污染籽晶。使用受污染的籽晶進行大尺寸晶體生長制備時，極易造成晶體質量下降，出現晶界、散射、包裹等缺陷，降低產品的成品率及利用率。

發明內容

針對藍寶石晶體生長中籽晶污染的問題，本實用新型提供一種泡生法藍寶石晶體生長籽晶保護裝置。

本實用新型的技術解決方案如下：

一種泡生法藍寶石晶體生長籽晶保護裝置，其保護裝置是一套插板閥裝置，包括插板及手動搖柄兩個主體部件，插板閥通過法蘭和螺栓固定在泡生爐波紋管和爐蓋之間。

所述的籽晶保護方法是在藍寶石晶體生長熔料過程中，將藍寶石籽晶上搖至波紋管內，搖動插板閥手動搖柄將插板插入，將波紋管和爐膛完全隔開，保護籽晶不受爐膛揮發物腐蝕污染。

本實用新型的技術效果是：通過插板閥手動搖柄將插板抽出，搖動籽晶桿將籽晶移至泡生爐波紋管內。在藍寶石晶體生長之前的升溫化料和熔體過熱階段，再通過插板閥手動搖柄將插板推入，密封籽晶升降通道，使籽晶隔絕在發熱體及保溫材料的上部，避免其在高溫下的揮發物對籽晶造成腐蝕污染。當需進行晶體生長時，通過手動搖柄抽出插板，開啟籽晶升降通道完成籽晶接種工作。該實用新型裝置和方法實現了對藍寶石籽晶防污染腐蝕的保護，確保了籽晶的高品質，可顯著提高接種效率，改善泡生法藍寶石晶體的質量、成品率及利用率，降低生產成本。

附圖說明

圖1是泡生法藍寶石晶體生長籽晶保護裝置的剖視圖。

附圖標記說明：1.籽晶桿、2.波紋管、3.插板、4.手動搖柄、5.爐蓋、6.爐膛。

具體實施方式

下面結合具體附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。

本實用新型公開了一種泡生法藍寶石晶體生長籽晶保護裝置。所述的保護裝置是一套插板閥裝置，包括插板（3）及手動搖柄（4）兩個主體部件，插板閥通過法蘭和螺栓固定在泡生爐波紋管（2）和爐蓋（5）之間；所述的保護方法是在藍寶石晶體生長熔料過程中，將藍寶石籽晶桿（1）上搖至波紋管內，搖動插板閥手動搖柄將插板插入，將波紋管和爐膛（6）完全隔開，保護籽晶不受爐膛內材料揮發物的腐蝕污染。