[實(shí)用新型]一種針卡固定圈旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820872512.0
• 申請(qǐng)日: 2018-06-06
• 公開（公告）號(hào): CN208283439U
• 公開（公告）日: 2018-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 舒貽勝;陳思鄉(xiāng);郭劍飛;姚建強(qiáng);徐健偉;虞思銘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州長(zhǎng)川科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/067
• 分類號(hào): G01R1/067
• 代理公司: 杭州杭誠(chéng)專利事務(wù)所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

本實(shí)用新型的目的是提供一種針卡固定圈旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)。一種針卡固定圈旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)，包括：旋轉(zhuǎn)升降盤，設(shè)有套在旋轉(zhuǎn)升降盤外的通孔的基座，若干個(gè)設(shè)有與通孔側(cè)圍接觸的限位輪且與旋轉(zhuǎn)升降盤下端連接的徑向定位器，設(shè)于基座和旋轉(zhuǎn)升降盤外側(cè)圍之間的斜楔形旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動(dòng)裝置；徑向定位器沿旋轉(zhuǎn)升降盤圓周分布。該旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動(dòng)裝置通過一個(gè)旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)升降盤的旋轉(zhuǎn)和升降，升降結(jié)構(gòu)緊湊占用空間較小，旋轉(zhuǎn)升降盤轉(zhuǎn)動(dòng)和升降同步進(jìn)行，更換針卡效率較高；若干個(gè)設(shè)有與通孔側(cè)圍接觸的限位輪且與旋轉(zhuǎn)升降盤下端連接的徑向定位器，使旋轉(zhuǎn)升降盤轉(zhuǎn)動(dòng)定心精度高且軸向升降平穩(wěn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及集成電路測(cè)試領(lǐng)域，尤其是一種針卡固定圈旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

集成電路行業(yè)發(fā)展迅速，對(duì)晶圓測(cè)試設(shè)備的功能也提出了更高要求；通過具有自動(dòng)取放更換安裝在針卡固定圈上的針卡的晶圓測(cè)試設(shè)備對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試能提高測(cè)試效率；更換針卡時(shí)需要通過升降裝置經(jīng)升降平臺(tái)頂升針卡固定圈，且通過轉(zhuǎn)動(dòng)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)針卡固定圈；傳統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)針卡固定圈升降的升降裝置和實(shí)現(xiàn)針卡固定圈轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)裝置分別設(shè)置，升降平臺(tái)頂升針卡固定圈和針卡固定圈轉(zhuǎn)動(dòng)分步進(jìn)行，存在結(jié)構(gòu)不夠緊湊占用空間較大，更換針卡效率較低的不足，因此，設(shè)計(jì)一種結(jié)構(gòu)緊湊占用空間較小，更換針卡效率較高的針卡固定圈旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)，成為亟待解決的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是為了克服目前的實(shí)現(xiàn)針卡固定圈升降的升降裝置和實(shí)現(xiàn)針卡固定圈轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)裝置分別設(shè)置，升降平臺(tái)頂升針卡固定圈和針卡固定圈轉(zhuǎn)動(dòng)分步進(jìn)行，存在結(jié)構(gòu)不夠緊湊占用空間較大，更換針卡效率較低的不足，提供一種結(jié)構(gòu)緊湊占用空間較小，更換針卡效率較高的針卡固定圈旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)。

本實(shí)用新型的具體技術(shù)方案是：

一種針卡固定圈旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)，包括：旋轉(zhuǎn)升降盤，設(shè)有套在旋轉(zhuǎn)升降盤外的通孔的基座，若干個(gè)設(shè)有與通孔側(cè)圍接觸的限位輪且與旋轉(zhuǎn)升降盤下端連接的徑向定位器，設(shè)于基座和旋轉(zhuǎn)升降盤外側(cè)圍之間的斜楔形旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動(dòng)裝置；徑向定位器沿旋轉(zhuǎn)升降盤圓周分布。所述的針卡固定圈旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)使用時(shí)，旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動(dòng)裝置經(jīng)斜楔形旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)升降盤轉(zhuǎn)動(dòng)，且同時(shí)實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)升降盤的升降；使與旋轉(zhuǎn)升降盤連接的針卡固定圈旋轉(zhuǎn)上升實(shí)現(xiàn)針卡更換，或使針卡固定圈旋轉(zhuǎn)下降復(fù)位。該旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動(dòng)裝置通過一個(gè)旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)升降盤的旋轉(zhuǎn)和升降，升降結(jié)構(gòu)緊湊占用空間較小，旋轉(zhuǎn)升降盤轉(zhuǎn)動(dòng)和升降同步進(jìn)行，更換針卡效率較高；若干個(gè)設(shè)有與通孔側(cè)圍接觸的限位輪且與旋轉(zhuǎn)升降盤下端連接的徑向定位器，使旋轉(zhuǎn)升降盤轉(zhuǎn)動(dòng)定心精度高且軸向升降平穩(wěn)。

作為優(yōu)選，所述的斜楔形旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)包括：設(shè)于通孔上端且與通孔同軸的環(huán)槽，若干個(gè)沿旋轉(zhuǎn)升降盤圓周分布的斜楔形旋轉(zhuǎn)升降組件；斜楔形旋轉(zhuǎn)升降組件包括：設(shè)有傾斜長(zhǎng)孔且與環(huán)槽下側(cè)邊連接的導(dǎo)向塊，升降凸輪導(dǎo)向軸承；升降凸輪導(dǎo)向軸承的連接螺桿與旋轉(zhuǎn)升降盤連接；傾斜長(zhǎng)孔的長(zhǎng)度方向?yàn)榄h(huán)槽的周向；傾斜長(zhǎng)孔一端與環(huán)槽下側(cè)邊的距離大于傾斜長(zhǎng)孔另一端與環(huán)槽下側(cè)邊的距離；升降凸輪導(dǎo)向軸承的導(dǎo)向軸承位于傾斜長(zhǎng)孔中且導(dǎo)向軸承的直徑與傾斜長(zhǎng)孔的寬度適配。斜楔形旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)通過斜楔形旋轉(zhuǎn)升降組件的導(dǎo)向塊設(shè)有的傾斜長(zhǎng)孔與升降凸輪導(dǎo)向軸承配合，實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)升降盤的旋轉(zhuǎn)和升降，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用。

作為優(yōu)選，所述的導(dǎo)向塊包括：上導(dǎo)向塊和下導(dǎo)向塊；傾斜長(zhǎng)孔由上導(dǎo)向塊和下導(dǎo)向塊合圍構(gòu)成。利于制作和安裝。