[實用新型]一種硅片緩存裝置有效
| 申請號: | 201820866937.0 | 申請日: | 2018-06-05 |
| 公開(公告)號: | CN208433391U | 公開(公告)日: | 2019-01-25 |
| 發明(設計)人: | 李思泉;陳海國;肖俊琳;鐘雄雄;尹小玲;李偉強;鄭楷熠 | 申請(專利權)人: | 深圳市旭控科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L31/18;H01L21/683 |
| 代理公司: | 深圳市智勝聯合知識產權代理有限公司 44368 | 代理人: | 李永華;張廣興 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市龍華*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 存儲架 硅片 底板 緩存裝置 安裝板 本實用新型 上凹槽 下凹槽 支撐臺 自動化設計 緩存 垂直固定 工作效率 人工成本 雙向緩存 同一直線 一體成型 儲存架 貫穿 平行 垂直 | ||
本實用新型提出一種硅片緩存裝置,所述硅片緩存裝置包括:支撐臺、第一存儲架及第二存儲架;所述支撐臺包括:底板及安裝板;所述安裝板與所述底板相互垂直,所述底板和所述安裝板一體成型,所述第一存儲架和所述第二存儲架均垂直固定安裝在所述安裝板上,所述第一存儲架、所述第二存儲架和所述底板相互平行,所述第一存儲架上設有貫穿所述第一儲存架的上凹槽,所述第二存儲架上設有貫穿所述第二存儲架的下凹槽,所述上凹槽與所述下凹槽位于同一直線上;本實用新型提出的一種硅片緩存裝置,具有自動雙向緩存硅片和自動雙向去緩存的功能,采用自動化設計,降低了人工成本,提高了工作效率。
技術領域
本實用新型涉及自動化領域,尤其涉及一種硅片緩存裝置。
背景技術
在晶體硅太陽能電池生產過程中,多道工序都需要將硅片裝入花籃中,現在這個工序通常采用硅片裝片機完成,通過硅片裝片機將硅片裝入花籃時,為防止裝片過程中出現的裝片故障,會在上硅片和裝硅片之間的通道上設置一個硅片緩存裝置,當裝片故障時可以啟動硅片緩存裝置,調整硅片走向用于硅片的緩存,同時及時維修恢復裝片步驟,當裝片故障消除后,調整硅片走向進行裝硅片步驟,但現有的硅片緩存裝置通常為人工手動控制,當緩存滿之后需要手動更換空的硅片緩存裝置,自動程度不高,且提高人力成本。
實用新型內容
為了解決上述問題,本實用新型提出一種硅片緩存裝置,具有雙向緩存、雙向去緩存功能。
本實用新型通過以下技術方案實現的:
本實用新型提出一種硅片緩存裝置,所述硅片緩存裝置包括:支撐臺、第一存儲架及第二存儲架;所述支撐臺包括:底板及安裝板;所述安裝板與所述底板相互垂直,所述底板和所述安裝板一體成型,所述第一存儲架和所述第二存儲架均垂直固定安裝在所述安裝板上,所述第一存儲架、所述第二存儲架和所述底板相互平行,所述第一存儲架上設有貫穿所述第一儲存架的上凹槽,所述第二存儲架上設有貫穿所述第二存儲架的下凹槽,所述上凹槽與所述下凹槽位于同一直線上構成緩存硅片的插槽。
進一步的,所述硅片緩存裝置還包括:底座、滑軌及運動模塊;所述底座上設有容納槽,所述滑軌與所述底座互相平行,所述運動模塊套設在所述滑軌上并且所述運動模塊與所述底座卡合連接,所述運動模塊部分收容于所述容納槽內,所述運動模塊能夠在所述滑軌上滑動,所述運動模塊遠離所述底座的一端與所述底板固定連接。
進一步的,所述支撐臺還包括:加強板;所述加強板垂直固定安裝在所述底板遠離所述運動模塊的一端上并且與所述安裝板固定連接。
進一步的,所述硅片緩存裝置還包括:驅動電機;所述驅動電機固定安裝在所述底座的尾端,當所述驅動電機工作時,所述驅動電機帶動所述運動模塊在所述滑軌上滑動。
進一步的,所述底座上還設有用于檢測硅片的傳感器,所述傳感器與所述驅動電機電連接。
進一步的,所述硅片緩存裝置還包括:對外安裝板;所述底座固定安裝在所述對外安裝板上,所述對外安裝板上還設有用于將所述硅片緩存裝置對外安裝的安裝孔。
本實用新型的有益效果:
本實用新型提出的一種硅片緩存裝置,具有自動雙向緩存硅片和自動雙向去緩存的功能,采用自動化設計,降低了人工成本,提高了工作效率。
附圖說明
圖1為本實用新型的硅片緩存裝置的立體圖;
圖2為本實用新型的硅片緩存裝置的主視圖。
具體實施方式
為了更加清楚、完整的說明本實用新型的技術方案,下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
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