[實(shí)用新型]半導(dǎo)體單晶爐熱場吊裝機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820862400.7
• 申請日: 2018-06-05
• 公開（公告）號: CN208429760U
• 公開（公告）日: 2019-01-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 賴章田;賀賢漢;夏孝平;黃保強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 上海漢虹精密機(jī)械有限公司
• 主分類號: B66C1/22
• 分類號: B66C1/22;C30B35/00
• 代理公司: 上海順華專利代理有限責(zé)任公司 31203
• 代理人: 顧雯

1.半導(dǎo)體單晶爐熱場吊裝機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括一支架，所述支架包括一底座、一立柱，所述底座與所述立柱可拆卸連接，所述立柱的上端與一吊環(huán)螺釘螺紋連接；

還包括三爪連桿機(jī)構(gòu)，所述三爪連桿機(jī)構(gòu)包括一滑塊以及三個連桿組；

每個連桿組均包括第一連桿、第二連桿、第三連桿以及卡爪，所述第一連桿的上端與滑塊鉸接，所述第一連桿的中央與所述第二連桿的上端轉(zhuǎn)動連接，所述第二連桿的下端與底座轉(zhuǎn)動連接；

所述第一連桿的下端與所述卡爪的中央轉(zhuǎn)動連接，所述卡爪靠近所述立柱端與第三連桿的下端相連，所述第三連桿的上端與所述第二連桿的靠近第一連桿處轉(zhuǎn)動連接；

所述卡爪與所述第一連桿轉(zhuǎn)動連接處的徑向外側(cè)的上表面覆蓋有為一特氟龍制成的墊板，所述墊板的上表面為接觸并支撐熱場部件側(cè)；

還包括一用于對滑塊進(jìn)行限位的調(diào)節(jié)螺母，所述調(diào)節(jié)螺母與所述立柱螺紋連接，所述調(diào)節(jié)螺母位于所述滑塊的下方；

還包括一驅(qū)動滑塊沿著所述立柱上下運(yùn)動的牽拉機(jī)構(gòu)，所述牽拉機(jī)構(gòu)的上端部安裝在所述立柱上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體單晶爐熱場吊裝機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述滑塊包括從下至上依次設(shè)置的特氟龍墊圈、滑套、爪套、一導(dǎo)向桿座以及一螺母；

所述特氟龍墊圈通過螺釘與所述滑套可拆卸連接；

所述滑套與所述螺母螺紋連接，且所述爪套以及所述導(dǎo)向桿座夾設(shè)在所述滑套與所述螺母之間；

所述牽拉機(jī)構(gòu)的下端安裝在所述導(dǎo)向桿座上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體單晶爐熱場吊裝機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述牽拉機(jī)構(gòu)還包括一導(dǎo)向桿，所述導(dǎo)向桿的下端安裝在所述導(dǎo)向桿座上；

所述牽拉機(jī)構(gòu)包括一快速夾鉗，所述快速夾鉗安裝在所述立柱上，所述快速夾鉗包括一驅(qū)動導(dǎo)向桿豎直運(yùn)動的手柄，所述手柄與所述導(dǎo)向桿的上端傳動連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體單晶爐熱場吊裝機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述快速夾鉗包括一支架，所述手柄與所述支架鉸接連接；

所述快速夾鉗還包括一隨著手柄相對于支架的轉(zhuǎn)動上下運(yùn)動的第四連桿，所述第四連桿與所述導(dǎo)向桿的上端相連；

所述支架上設(shè)有用于引導(dǎo)第四連桿上下運(yùn)動的通道，所述第四連桿的上端與一連接件鉸接，所述連接件的另一端與所述手柄鉸接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體單晶爐熱場吊裝機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述立柱包括一固定軸、一導(dǎo)向套以及活動軸；

所述活動軸的下端與所述導(dǎo)向套螺紋連接；

所述固定軸是一上下導(dǎo)通的中空管，所述中空管的上端設(shè)有內(nèi)螺紋，所述活動軸的外壁上設(shè)有與所述內(nèi)螺紋相匹配的外螺紋；

所述中空管設(shè)有內(nèi)螺紋的下端與所述導(dǎo)向套滑動連接；

所述固定軸的下端與所述底座螺紋連接。