[實用新型]一種四探針電阻率測試儀校準模塊

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820853573.2
• 申請日: 2018-06-04
• 公開（公告）號: CN208297707U
• 公開（公告）日: 2018-12-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張煌輝;羅海燕;魏鵬;楊愛軍;黎健生;李杰;劉燕紅;陳彩云;何翔
• 申請（專利權(quán)）人: 福建省計量科學(xué)研究院（福建省眼鏡質(zhì)量檢驗站）
• 主分類號: G01R35/00
• 分類號: G01R35/00
• 代理公司: 福州市鼓樓區(qū)京華專利事務(wù)所(普通合伙) 35212
• 代理人: 宋連梅

本實用新型提供了一種四探針電阻率測試儀校準模塊，包括一電壓表以及一四探針電阻率測試儀、一七檔電阻模塊、一七檔旋轉(zhuǎn)開關(guān)以及一DB9接口公頭；所述電壓表和七檔旋轉(zhuǎn)開關(guān)均與所述七檔電阻模塊相連接；所述七檔旋轉(zhuǎn)開關(guān)和四探針電阻率測試儀均與所述DB9接口公頭相連接。本實用新型的優(yōu)點在于：降低了校準裝置的成本，與標準樣片相比，更易于保存、運輸，更容易溯源到上一級標準，具有較好的溯源性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種校準模塊，特別指一種四探針電阻率測試儀校準模塊。

背景技術(shù)

電阻率是半導(dǎo)體材料中一個很重要的性能指標，通過測量材料的電阻率可以得到材料的摻雜濃度等信息。硅片材料的電阻率是太陽電池光電性能的重要參考指標，是太陽電池反向擊穿電壓、反向漏流以及正向壓降、最大輸出電流等參數(shù)的重要影響因子。對于硅晶體生產(chǎn)單位和使用硅晶體制造器件的企業(yè)，電阻率是硅片檢測過程中工作量最大的檢測參數(shù)，是硅片貿(mào)易合同中必定出現(xiàn)的檢測參數(shù)。因為它將直接影響到生產(chǎn)出來的器件性能，但采用以前抽檢的方法測量電阻率已遠遠無法滿足產(chǎn)量及品質(zhì)要求。

目前，國內(nèi)外通常采用的是直流四探針測試法，雖然各家電阻率測試廠家是參照標準進行設(shè)備的設(shè)計，但是測試結(jié)果仍然有差異，為了探討電阻率測試結(jié)果存在差異的原因，急需開展對光伏用硅片電阻率量值溯源方法的研究。

經(jīng)檢索，如申請日為2012.09.28，申請?zhí)枮?01220500218.X的中國實用新型專利公開了一種檢定四探針電阻率測試儀的裝置，該裝置包括四探針電阻率測試儀和標準電阻箱，通過四探針電阻率測試儀對標準電阻箱的測試來達到檢定的目的。但是該裝置存在有如下問題：1、無法確定流過標準電阻箱的實際電流；2、由于電阻的溫漂，標準電阻箱的電阻示值和實際的阻值存在誤差。又如申請日為2015.06.16，申請?zhí)枮?01520414518.X的中國實用新型專利公開了一種混凝土電阻率測定儀校準裝置，該校準裝置記載了檔位開關(guān)的數(shù)量為8個，對應(yīng)的校準電路的組數(shù)為8組，存在電路復(fù)雜的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題，在于提供一種四探針電阻率測試儀校準模塊，用來校準四探針電阻率測試儀的電氣部分指標。

本實用新型是這樣實現(xiàn)的：一種四探針電阻率測試儀校準模塊，包括一電壓表以及一四探針電阻率測試儀，所述校準模塊還包括一七檔電阻模塊、一七檔旋轉(zhuǎn)開關(guān)以及一DB9接口公頭；所述電壓表和七檔旋轉(zhuǎn)開關(guān)均與所述七檔電阻模塊相連接；所述七檔旋轉(zhuǎn)開關(guān)和四探針電阻率測試儀均與所述DB9接口公頭相連接。

進一步地，所述七檔電阻模塊包括一第一檔電阻、一第二檔電阻、一第三檔電阻、一第四檔電阻、一第五檔電阻、一第六檔電阻以及一第七檔電阻；所述第一檔電阻、第二檔電阻、第三檔電阻、第四檔電阻、第五檔電阻、第六檔電阻以及第七檔電阻均為四端電阻，每所述四端電阻均由至少2個電阻串并聯(lián)組成；所述第一檔電阻、第二檔電阻、第三檔電阻、第四檔電阻、第五檔電阻、第六檔電阻以及第七檔電阻的第四引腳均串聯(lián)在一起。

進一步地，所述七檔旋轉(zhuǎn)開關(guān)的輸入端通過旋轉(zhuǎn)實現(xiàn)與所述第一檔電阻、第二檔電阻、第三檔電阻、第四檔電阻、第五檔電阻、第六檔電阻以及第七檔電阻中的任意一個相連接；所述七檔旋轉(zhuǎn)開關(guān)的輸出端與所述DB9接口公頭連接。

進一步地，所述電壓表為帶采樣功能的數(shù)字電壓表。

進一步地，所述四探針電阻率測試儀設(shè)置有一DB9接口母頭，所述DB9接口母頭與所述DB9接口公頭連接。

本實用新型的優(yōu)點在于：

1、由于采用了所述分流器采樣電阻模塊，使得裝置的體積減小、更易于保存和運輸，降低了成本。

2、由于采用了所述分流器采樣電阻模塊，更容易溯源到上一級標準，具有較好的溯源性；

3、可用來校準四探針電阻率測試儀的電氣部分指標，包括恒流源、電壓測量能力、電阻測量能力指標。