[實用新型]光罩檢驗支架

有效

• 申請號: 201820852869.2
• 申請日: 2018-06-04
• 公開（公告）號: CN208239286U
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 趙子翔;莊奎乾;熊波;崔興永
• 申請（專利權）人: 深圳市科利德光電材料股份有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01
• 代理公司: 深圳市翼智博知識產權事務所(普通合伙) 44320
• 代理人: 黃莉

1.一種光罩檢驗支架，其特征在于，所述光罩檢驗支架包括基座和樞接于基座上的旋轉架，所述旋轉架上設置有用于固定光罩的邊緣部位的限位結構，所述基座和旋轉架之間還設置有用于將位于初始位置和旋轉到預定角度時的旋轉角度位置的旋轉架相對于基座固定的鎖定結構。

2.如權利要求1所述的光罩檢驗支架，其特征在于：所述基座和旋轉架通過滾珠軸承連接，所述基座與滾珠軸承的外圈相對固定，所述旋轉架與滾珠軸承的內圈相對固定。

3.如權利要求1所述的光罩檢驗支架，其特征在于：所述旋轉架和基座上分別設有旋轉軸和與所述旋轉軸對應樞接的軸孔，所述旋轉軸和軸孔兩者中的一個設置在旋轉架上而另一個設置在基座上。

4.如權利要求1所述的光罩檢驗支架，其特征在于：所述鎖定結構包括設在基座頂部一側的活動插銷以及設置于旋轉架底部且分別在旋轉架處于初始位置和旋轉角度位置時正對所述活動插銷的位置處供活動插銷插入的銷孔。

5.如權利要求1所述的光罩檢驗支架，其特征在于：所述旋轉架包括底部與基座樞接的底邊框以及以底端垂直連接于底邊框的末端用于固定光罩的側邊框。

6.如權利要求5所述的光罩檢驗支架，其特征在于：所述旋轉架為PVC或不銹鋼制成。

7.如權利要求5所述的光罩檢驗支架，其特征在于：所述基座為PVC或不銹鋼制成。

8.如權利要求5所述的光罩檢驗支架，其特征在于：所述限位結構為一一對應地設置在底邊框頂面和側邊框上的多條不同寬度的限位卡槽，光罩的底邊緣和側邊緣分別對應卡入底邊框和側邊框上的限位卡槽內而定位。