[實(shí)用新型]一種用于壓制鎢絲繩球形端頭的縮管機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820847769.0
• 申請日: 2018-06-04
• 公開（公告）號: CN208230703U
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 付成;胥宏俊
• 申請（專利權(quán)）人: 洛陽成久電子材料有限公司
• 主分類號: B21D41/04
• 分類號: B21D41/04
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• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體單晶硅、太陽能單晶硅生產(chǎn)過程中用鎢絲繩生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于壓制鎢絲繩球形端頭的縮管機(jī)，包括壓制模具、成型結(jié)構(gòu)和液壓控制裝置，所述壓制模具包括一組或多組壓制模塊，壓制模塊邊緣設(shè)置多個直徑不等的球形缺口，每組壓制模塊的形成帶有不同尺寸的球形結(jié)構(gòu)的鎢絲繩成型腔，壓制模塊上設(shè)置燕尾型凹槽；所述成型結(jié)構(gòu)包括模塊底座；所述液壓控制裝置連接至多個模塊底座，模塊底座上設(shè)置燕尾型連接凸塊，燕尾型連接凸塊與壓制模塊上燕尾型凹槽配合，一個模塊底座上設(shè)置一個或多個壓制模塊。本實(shí)用新型可在不用更換模具的情況下進(jìn)行不同規(guī)格球形端頭的壓制工作。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體單晶硅、太陽能單晶硅生產(chǎn)過程中用鎢絲繩生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于壓制鎢絲繩球形端頭的縮管機(jī)。

背景技術(shù)

目前，單晶硅制造行業(yè)采用的CZ直拉法技術(shù)生產(chǎn)單晶硅晶體，在拉制單晶時需要一種提拉軟軸。作為單晶爐內(nèi)提拉系統(tǒng)的一個中要組件，提拉軟軸的工作環(huán)境惡劣，不僅要承載單晶棒的重量，而且要承受單晶爐內(nèi)1500℃的高溫。因此，提拉軟軸必須需要滿足高強(qiáng)度、耐高溫、耐疲勞等技術(shù)要求。

長期以來，單晶爐提拉軟軸選用鋼絲繩，但隨著IC行業(yè)和光伏行業(yè)對原材料單晶硅純度要求的不斷提高，以及將“有磁場”植入單晶爐內(nèi)，鋼絲繩的劣勢越來越明顯。此外，鋼絲繩的Fe元素和C元素也會造成單晶硅的雜質(zhì)含量超標(biāo)，并且鋼絲繩制備的提拉軟軸承載端的承載球?yàn)槿刍K頭堆積成型，繩體與承載球連接薄弱，容易發(fā)生斷裂失效，在拉晶過程中提拉軟軸的斷裂將造成嚴(yán)重的經(jīng)濟(jì)損失。

由于鎢絲繩優(yōu)異的物理和力學(xué)性能，已經(jīng)取代鋼絲繩成為單晶爐提拉系統(tǒng)的重要組成部分。鎢絲繩由繩體、壓頭（包括承載頭和固定頭）組成，壓頭設(shè)置在繩體的兩端，在使用過程中起到固定和承載的作用。鎢絲繩壓頭的連接強(qiáng)度直接影響鎢絲繩的使用壽命，但由于鎢的熔點(diǎn)較高，鎢絲繩的壓頭無法采用融化成型的方法與繩體連接。應(yīng)用于半導(dǎo)體單晶硅、太陽能單晶硅生產(chǎn)過程中的鎢絲繩原來在使用前的成品是一端加工成為類似筆鋒狀的焊接頭，通過使用一種類似蝸牛形狀的配件安裝到單晶爐上并在生產(chǎn)中承載單晶棒的重量。隨著單晶直徑增加，鎢絲繩承重重量有很大的增加，筆鋒狀的端頭安裝方式因?yàn)橐装l(fā)生斷裂情況已更換成為在鎢絲繩端頭壓接一個圓形頭后直接卡套連接在重錘上的方式。研究一種壓具模塊用于在液壓鎖頭機(jī)上壓制鎢絲繩球形端頭，以滿足在不用更換模具的情況下進(jìn)行不同規(guī)格球形端頭的壓制工作是非常必要的。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實(shí)用新型提供一種用于壓制鎢絲繩球形端頭的縮管機(jī)，其可在不用更換模具的情況下進(jìn)行不同規(guī)格球形端頭的壓制工作。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是一種用于壓制鎢絲繩球形端頭的縮管機(jī)，包括壓制模具、成型結(jié)構(gòu)和液壓控制裝置，所述壓制模具包括一組或多組壓制模塊，壓制模塊邊緣設(shè)置多個直徑不等的球形缺口，每組壓制模塊的形成帶有不同尺寸的球形結(jié)構(gòu)的鎢絲繩成型腔，壓制模塊上設(shè)置燕尾型凹槽；所述成型結(jié)構(gòu)包括模塊底座；所述液壓控制裝置連接至多個模塊底座，模塊底座上設(shè)置燕尾型連接凸塊，燕尾型連接凸塊與壓制模塊上燕尾型凹槽配合，一個模塊底座上設(shè)置一個或多個壓制模塊。

基于上述的技術(shù)方案，壓制模塊邊緣設(shè)置多個直徑不等的球形缺口，可用來加工不同尺寸的鎢絲繩的球形端頭，加工不同尺寸的產(chǎn)品時，可以不用更換壓制模塊，只需要用不同位置的球形缺口進(jìn)行加工。

基于上述的技術(shù)方案，模塊底座及壓制模塊通過燕尾型凹凸結(jié)構(gòu)進(jìn)行連接，連接更加穩(wěn)固，且容易更換。

進(jìn)一步的，所述縮管機(jī)還包括一組或多組模塊墊塊，每組模塊墊塊形成圓柱腔體，模塊墊塊上設(shè)置燕尾型凹槽，所述燕尾型連接凸塊與模塊墊塊上設(shè)置的燕尾型凹槽相配合，模塊墊塊與壓制模塊間隔設(shè)置，一個模塊底座上設(shè)置一個或多個模塊墊塊。

基于上述的技術(shù)方案，原來的縮管機(jī)壓制模塊是一個6.5cm長的模具，現(xiàn)在的通過設(shè)置模塊墊塊，使得壓制模塊長度縮短，長度縮短后同樣壓力，壓強(qiáng)更高，壓制效果更佳。