[實用新型]傳熱輥

有效

• 申請號: 201820843443.0
• 申請日: 2018-06-01
• 公開（公告）號: CN208485946U
• 公開（公告）日: 2019-02-12
• 發明（設計）人: 劉鵬
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 郭棟梁

本申請公開了一種傳熱輥，包括圓柱形的外層，所述外層內套設有內層，所述外層和內層之間設有固體導熱層，所述固體導熱層貼住所述外層內壁設置根據本申請實施例提供的技術方案，通過在傳熱輥的內層和外層之間增設石墨層，通過石墨層進行的熱傳遞效果更好，并且熱量均勻擴散，能夠使得傳熱輥表面溫度均勻。

技術領域

本公開一般涉及真空裝備領域，尤其涉及傳熱輥。

背景技術

磁控濺射鍍膜時基材所需的溫度必須由傳熱輥提供。現有技術傳熱輥內部夾層中通入熱媒，由隔擋物進行導流，由于隔擋物的存在及流動過程中熱量損失導致傳熱輥表面溫度不均勻，進而導致基材溫度不均勻，最終使成膜后膜層各區域質量存在差異。

實用新型內容

鑒于現有技術中的上述缺陷或不足，期望提供一種傳熱輥。

一方面，提供一種傳熱輥，包括圓柱形的外層，所述外層內套設有內層，其特征在于，所述外層和內層之間設有固體導熱層，所述固體導熱層貼住所述外層內壁設置。

優選的，所述固體導熱層為石墨層。

優選的，所述石墨層包括多塊相互拼接的石墨板。

優選的，所述石墨層的拼接方式為卡接或者螺栓連接或者鍵連接。

優選的，所述石墨層為一體成型的圓管狀結構。

優選的，所述外層一端設有熱媒入口，另一端設有熱媒出口，所述熱媒入口與所述熱媒出口設置在所述傳熱輥軸線上；所述內層為圓柱形，且兩端封閉設置。

優選的，所述固體導熱層與所述內層之間設有第一導流道，所述第一導流道為螺旋狀，且環繞所述內層設置。

優選的，所述固體導熱層與所述內層之間均勻設有螺旋狀排列的第一隔檔板，所述第一隔檔板一端與所述固體導熱層接觸，所述第一隔檔板另一端與所述內層接觸，螺旋狀排列的所述第一隔檔板之間形成第一流道。

優選的，所述第一隔檔板寬度為0.5cm。

優選的，所述外層端部與所述內層端部之間設有螺旋狀的第二導流道，所述第二導流道一端與所述熱媒入口連通，另一端與所述第一導流道連通。

優選的，所述外層外表面拋光粗糙度<0.8μm。

根據本申請實施例提供的技術方案，通過在傳熱輥的內層和外層之間增設石墨層，通過石墨層進行的熱傳遞效果更好，并且熱量均勻擴散，能夠使得傳熱輥表面溫度均勻。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖所作的對非限制性實施例所作的詳細描述，本申請的其它特征、目的和優點將會變得更明顯：

圖1為本實施例中傳熱輥結構示意圖；

圖2為圖1的左視圖；

圖3為本實施例中傳熱輥設置第一流道局部剖視圖；

圖4為本實施例中傳熱輥設置第二流道結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本申請作進一步的詳細說明。可以理解的是，此處所描述的具體實施例僅僅用于解釋相關實用新型，而非對該實用新型的限定。另外還需要說明的是，為了便于描述，附圖中僅示出了與實用新型相關的部分。

需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結合實施例來詳細說明本申請。

請參考圖1和圖2，本實施例提供一種傳熱輥，包括圓柱形的外層1，所述外層1內套設有內層2，所述外層1和內層2之間設有固體導熱層，所述固體導熱層貼住所述外層1內壁設置。