[實用新型]一種勢壘高度可調的肖特基二極管有效
| 申請號: | 201820838309.1 | 申請日: | 2018-05-30 |
| 公開(公告)號: | CN208336238U | 公開(公告)日: | 2019-01-04 |
| 發明(設計)人: | 姚偉明;金銀萍;陸陽 | 申請(專利權)人: | 揚州國宇電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L29/872 | 分類號: | H01L29/872;H01L29/06 |
| 代理公司: | 北京輕創知識產權代理有限公司 11212 | 代理人: | 談杰 |
| 地址: | 225000 *** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 勢壘 勢壘金屬硅化物 肖特基二極管 本實用新型 高度可調 摻雜層 外延層 主表面 背面金屬層 二極管芯片 肖特基勢壘 正面金屬層 襯底正面 高度調節 勢壘金屬 市場需求 肖特基 襯底 結溫 背面 芯片 生長 生產 | ||
1.一種勢壘高度可調的肖特基二極管,其特征在于,包括N型重摻雜襯底,所述N型重摻雜襯底正面生長有N型輕摻雜外延層,背面設有背面金屬層,所述N型輕摻雜外延層的主表面設有變摻雜層,所述變摻雜層的主表面設有勢壘金屬硅化物層,且勢壘金屬硅化物層構成肖特基勢壘,所述勢壘金屬硅化物層正面設有正面金屬層。
2.根據權利要求1所述的一種勢壘高度可調的肖特基二極管,其特征在于,所述N型輕摻雜外延層正面還設有一圈P重摻雜保護環,且所述變摻雜層設置在所述P重摻雜保護環的環內以及P重摻雜保護環表面的部分區域。
3.根據權利要求2所述的一種勢壘高度可調的肖特基二極管,其特征在于,所述P重摻雜保護環的表面的另一部分區域設有薄氧層。
4.根據權利要求3所述的一種勢壘高度可調的肖特基二極管,其特征在于,所述N型輕摻雜外延層表面還設有場氧層,且場氧層位于所述P重摻雜保護環外側。
5.根據權利要求4所述的一種勢壘高度可調的肖特基二極管,其特征在于,所述正面金屬層設置在所述薄氧層、場氧層和勢壘金屬硅化物層表面。
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