[實用新型]一種用于氣相沉積爐尾氣處理的自清洗式除焦裝置

有效

• 申請號: 201820837701.4
• 申請日: 2018-05-31
• 公開（公告）號: CN208545491U
• 公開（公告）日: 2019-02-26
• 發明（設計）人: 董家海;侯臨澤
• 申請（專利權）人: 浙江諾華陶瓷有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;B01D47/06
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251
• 代理人: 劉計成

一種用于氣相沉積爐尾氣處理的自清洗式除焦裝置，裝置本體上端設置有尾氣入口，尾氣入口一側設置有尾氣出口，裝置本體下端設置有排出口，排出口上方設置有開合式擋板，擋板一側設置有閥門，裝置本體內從左至右依次豎直設置有第一水管、第二水管和第三水管，第一水管、第二水管和第三水管上端均貫穿裝置本體的上端與外界連通設置，第一水管、第二水管和第三水管的側壁上均布設置有若干水平噴水口，第一水管、第二水管和第三水管的下端均設置有豎直噴水口。本實用新型采用裝置內噴水降溫，使尾氣降溫后產生的焦油能留在裝置內，再通過焦油水洗法將裝置內的焦油清洗干凈，避免了焦油堵塞管道以及管道拆卸的麻煩，實用性強，適合推廣。

技術領域

本實用新型涉及一種除焦裝置，具體涉及一種用于氣相沉積爐尾氣處理的自清洗式除焦裝置。

背景技術

化學氣相沉積爐是利用化學氣相沉積的原理，將參與化學反應的物質，加熱到一定工藝溫度，在真空泵抽氣系統產生的引力作用下，引至沉積室進行反應、沉積，生成新的固態物質。氣相沉積爐主要由爐本體（含爐底、下爐體、上爐體及隔熱屏）、加熱器、過濾系統、真空系統等組成。

氣相沉積爐排氣系統隨著尾氣在排氣系統中流動，其溫度逐漸降低；隨著尾氣的溫度降低，除了尾氣中難以液化的分子量很小的部分烴類以氣體形式排出外，其余分子量較大的烴類尾氣部分形成奶油狀的焦油，容易附著在排氣系統的管道內壁上，這樣就會影響設備的正常使用，特別是用于收集焦油的裝置，內壁附著的焦油量大，裝置拆卸不方便，難以清洗；日積月累，管路孔徑會越來越小從而影響抽排效果，一旦堵塞管路則會發生爆炸危險，拆卸管道清理又費時費力，增加了維護成本。

因此，有必要設計一種用于氣相沉積爐尾氣處理的自清洗式除焦裝置來解決上述問題。

發明內容

為克服上述現有技術中的不足，本實用新型目的在于提供一種用于氣相沉積爐尾氣處理的自清洗式除焦裝置。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供的技術方案是：一種用于氣相沉積爐尾氣處理的自清洗式除焦裝置，包括裝置本體，所述裝置本體上端設置有尾氣入口，所述尾氣入口一側設置有尾氣出口，所述裝置本體為倒置的水瓶狀，所述裝置本體的內壁圓滑，所述裝置本體下端設置有排出口，所述排出口上方設置有開合式擋板，所述擋板一側設置有閥門，所述裝置本體內從左至右依次豎直設置有第一水管、第二水管和第三水管，所述第一水管、第二水管和第三水管上端均貫穿所述裝置本體的上端與外界連通設置，所述第一水管、第二水管和第三水管的側壁上均布設置有若干水平噴水口，所述第一水管、第二水管和第三水管的下端均設置有豎直噴水口。

優選的技術方案為：所述第二水管低于所述第一水管、第三水管設置，所述第二水管的水平噴水口與所述第一水管、第三水管的水平噴水口不設置在同一水平線上。

優選的技術方案為：所述裝置本體內壁設置有涂層，所述涂層材料為聚四氟乙烯。

由于上述技術方案運用，本實用新型與現有技術相比具有的優點是：

本實用新型采用裝置內噴水降溫，使得氣相沉積爐的尾氣降溫后產生的焦油能留在裝置內，再通過焦油水洗法將裝置內的焦油清洗干凈，尾氣除焦以及除焦裝置清洗一步到位，避免了焦油堵塞管道以及管道拆卸的麻煩，焦油過濾后裝置自清洗，操作方便，實用性強，適合推廣。

附圖說明

圖1為本實用新型整體示意圖。

以上附圖中，裝置本體1，尾氣入口2，尾氣出口3，排出口4，擋板5，閥門6，第一水管7，第二水管8，第三水管9，水平噴水口10，豎直噴水口11。

具體實施方式

以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本實用新型的其他優點及功效。