[實用新型]一種連續(xù)生產(chǎn)的區(qū)熔爐有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820831947.0 | 申請日： | 2018-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN208440720U | 公開（公告）日： | 2019-01-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李小剛 | 申請（專利權(quán)）人： | 峨眉山市元素新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B13/00 | 分類號： | C30B13/00 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51230 | 代理人： | 白小明 |
| 地址： | 614100 四川省樂山*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 保溫室 本實用新型 爐室 上軸 側(cè)面設(shè)置 產(chǎn)品存儲 懸浮區(qū)熔 原料切換 單晶爐 區(qū)熔爐 轉(zhuǎn)盤 夾具 單晶生長工藝 原料切換裝置 一次抽真空 安裝裝置 產(chǎn)品拾取 惰性氣體 爐室頂部 生產(chǎn)效率 下軸頂端 原料晶體 單晶棒 晶體棒 下軸 籽晶 能耗 消耗 生產(chǎn) | ||
1.一種連續(xù)生產(chǎn)的區(qū)熔爐，包括爐室(1)，爐室(1)頂部設(shè)置有上軸(2)，上軸(2)的末端設(shè)置有夾具，爐室(1)底部設(shè)置有保溫室(12)，保溫室(12)中設(shè)置有下軸(11)，其特征在于：爐室(1)側(cè)面設(shè)置有原料切換室(19)，原料切換室(19)中設(shè)置有用于更換上軸(2)上的原料晶體棒的原料切換裝置；保溫室(12)側(cè)面設(shè)置有產(chǎn)品存儲室(15)，產(chǎn)品存儲室(15)中設(shè)置有用于取走保溫室(12)中產(chǎn)品的產(chǎn)品拾取裝置；所述下軸(11)頂端設(shè)置有轉(zhuǎn)盤Ⅰ(13)，轉(zhuǎn)盤Ⅰ(13)上設(shè)置有多個籽晶安裝裝置。
2.按照權(quán)利要求1所述的一種連續(xù)生產(chǎn)的區(qū)熔爐，其特征在于：所述原料切換裝置包括平行設(shè)置的轉(zhuǎn)盤Ⅱ(21)，所述轉(zhuǎn)盤Ⅱ(21)的側(cè)面通過伸縮桿連接有多個夾持裝置Ⅰ(22)。
3.按照權(quán)利要求2所述的一種連續(xù)生產(chǎn)的區(qū)熔爐，其特征在于：原料切換室(19)頂部設(shè)置有電機(jī)Ⅰ(24)，電機(jī)Ⅰ(24)通過轉(zhuǎn)軸Ⅰ(23)與轉(zhuǎn)盤Ⅱ(21)連接。
4.按照權(quán)利要求1所述的一種連續(xù)生產(chǎn)的區(qū)熔爐，其特征在于：所述產(chǎn)品拾取裝置包括平行設(shè)置的轉(zhuǎn)盤Ⅲ(16)，所述轉(zhuǎn)盤Ⅲ(16)的側(cè)面通過伸縮桿連接有多個夾持裝置Ⅱ(14)。
5.按照權(quán)利要求4所述的一種連續(xù)生產(chǎn)的區(qū)熔爐，其特征在于：產(chǎn)品存儲室(15)頂部設(shè)置有電機(jī)Ⅱ(18)，電機(jī)Ⅱ(18)通過轉(zhuǎn)軸Ⅱ(17)與轉(zhuǎn)盤Ⅲ(16)連接。
6.按照權(quán)利要求1所述的一種連續(xù)生產(chǎn)的區(qū)熔爐，其特征在于：所述籽晶安裝裝置以轉(zhuǎn)盤Ⅰ(13)的軸心為中心對稱設(shè)置，所述下軸(11)的軸心與轉(zhuǎn)盤Ⅰ(13)的軸心之間的距離等于籽晶安裝裝置與轉(zhuǎn)盤Ⅰ(13)的軸心之間的距離。
7.按照權(quán)利要求1或6所述的一種連續(xù)生產(chǎn)的區(qū)熔爐，其特征在于：所述籽晶安裝裝置包括角度調(diào)節(jié)臺Ⅰ(10)和角度調(diào)節(jié)臺Ⅱ(9)，角度調(diào)節(jié)臺Ⅱ(9)上部設(shè)置有籽晶夾具(8)。
8.按照權(quán)利要求7所述的一種連續(xù)生產(chǎn)的區(qū)熔爐，其特征在于：角度調(diào)節(jié)臺Ⅰ(10)和角度調(diào)節(jié)臺Ⅱ(9)的角度調(diào)節(jié)軸的方向互相垂直。
9.按照權(quán)利要求1所述的一種連續(xù)生產(chǎn)的區(qū)熔爐，其特征在于：所述保溫室(12)中設(shè)置有限位夾(25)，所述限位夾(25)通過伸縮桿連接在保溫室(12)的側(cè)壁上。
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