[實用新型]新型微波水熱電沉積系統有效
| 申請號： | 201820815864.2 | 申請日： | 2018-05-29 |
| 公開（公告）號： | CN208414586U | 公開（公告）日： | 2019-01-22 |
| 發明（設計）人： | 熊信柏;雷靈均;于朔;劉玲;馬俊;曾燮榕 | 申請（專利權）人： | 深圳大學 |
| 主分類號： | C25D5/00 | 分類號： | C25D5/00;C25D17/00 |
| 代理公司： | 深圳中一專利商標事務所 44237 | 代理人： | 官建紅 |
| 地址： | 518000 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電連接 開關控制裝置 反應釜裝置 微波電源 循環冷卻裝置 本實用新型 微波發生器 沉積系統 承載裝置 溫控元件 新型微波 正負電極 直流電源 冷卻管 釜蓋 釜體 熱電 插接安裝 反應效率 釜體內壁 微波穿透 一端開口 運行性能 周向環繞 電沉積 反應釜 隔離層 制備 連通 嵌入 體內 延伸 | ||
1.一種新型微波水熱電沉積系統，其特征在于，包括反應釜裝置，所述反應釜裝置包括一端開口的釜體、蓋設于所述開口處的釜蓋、安裝于所述釜體內的微波穿透隔離層、安裝于所述釜體底部的微波發生器及周向環繞且嵌入所述釜體內壁的冷卻管；
還包括用于安裝并固定所述反應釜裝置的承載裝置、微波電源、開關控制裝置、直流電源和循環冷卻裝置；
以及，還包括均插接安裝于所述釜蓋上并分別延伸至所述反應釜的溫控元件、用于進行電沉積的正電極和負電極；
其中，所述反應釜裝置可拆卸固定在所述承載裝置上；所述微波電源與所述微波發生器電連接；所述開關控制裝置與所述微波電源電連接，并與市電電連接，同時還與所述溫控元件有信號傳輸；所述直流電源分別與所述正電極、負電極電連接；所述循環冷卻裝置與所述開關控制裝置電連接并通過管道與所述冷卻管連通。
2.如權利要求1所述的新型微波水熱電沉積系統，其特征在于，所述正電極、負電極均為以耐熱絕緣高分子為包覆層的碳/碳復合電極。
3.如權利要求2所述的新型微波水熱電沉積系統，其特征在于，所述碳/碳復合電極的密度為1.7～2.0g/cm3。
4.如權利要求1所述的新型微波水熱電沉積系統，其特征在于，所述微波發生器上還具有向所述微波穿透隔離層發射微波的微波發射端。
5.如權利要求1所述的新型微波水熱電沉積系統，其特征在于，所述開口所在的釜體端面上開設有密封槽，所述密封槽上放置有密封圈。
6.如權利要求1所述的新型微波水熱電沉積系統，其特征在于，所述承載裝置上安裝有可調節所述釜蓋升降的螺旋滑桿，所述螺旋滑桿通過壓塊與所述釜蓋連接。
7.如權利要求1所述的新型微波水熱電沉積系統，其特征在于，所述承載裝置為一箱體結構，靠近所述箱體結構的底部安裝有用于散熱的風扇。
8.如權利要求1所述的新型微波水熱電沉積系統，其特征在于，所述微波穿透隔離層為石英層或藍寶石玻璃層。
9.如權利要求1所述的新型微波水熱電沉積系統，其特征在于，所述開關控制裝置具有循環冷卻控制模塊以及微波發生頻率調節模塊。
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