[實用新型]半導體單晶爐上爐筒自動脫開機構有效
| 申請號： | 201820813364.5 | 申請日： | 2018-05-29 |
| 公開（公告）號： | CN208562595U | 公開（公告）日： | 2019-03-01 |
| 發明（設計）人： | 賴章田;賀賢漢;夏孝平;黃保強 | 申請（專利權）人： | 上海漢虹精密機械有限公司 |
| 主分類號： | C30B35/00 | 分類號： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 上海順華專利代理有限責任公司 31203 | 代理人： | 顧雯 |
| 地址： | 200444 上海市寶*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 旋轉環 旋轉鎖緊機構 定位滾輪 定位環 固定環 上爐筒 半導體單晶 安裝機構 自動脫開 上端 內齒 松開 鎖緊 外齒 相抵 本實用新型 環狀排布 中心軸線 隔離閥 外邊緣 外圓周 下端 錯位 支撐 | ||
1.半導體單晶爐上爐筒自動脫開機構，其特征在于，包括一旋轉鎖緊機構，所述旋轉鎖緊機構包括一設有外齒的固定環以及一設有內齒的旋轉環，所述旋轉鎖緊機構通過外齒與內齒相抵或者錯位進行鎖緊或者松開；
所述固定環安裝在所述上爐筒的下端面上；
還包括一旋轉環安裝機構，所述旋轉環安裝機構包括一定位環以及定位外環，所述定位環安裝在隔離閥的上端，所述定位外環安裝在所述定位環的上端，所述旋轉環的外邊緣設置在所述定位環與所述定位外環之間；
當旋轉鎖緊機構處于鎖緊狀態下，所述外齒位于內齒正下方，當旋轉鎖緊機構處于松開狀態下，所述外齒位于相鄰內齒間隙的正下方；
所述定位環、定位外環以及旋轉環的中心軸線處于同一直線；
所述定位外環上安裝有至少四個用于支撐旋轉環的定位滾輪，至少四個定位滾輪以所述定位外環的中心軸線為中心線呈環狀排布，且所有的定位滾輪的外圓周均與所述旋轉環外表面相抵；
還包括一驅動旋轉環以旋轉環的中心軸線為旋轉中心線進行轉動的旋轉驅動機構，所述旋轉驅動機構與所述旋轉環傳動連接。
2.根據權利要求1所述的半導體單晶爐上爐筒自動脫開機構，其特征在于：所述旋轉驅動機構是兩個氣缸伸縮機構；兩個氣缸伸縮機構呈中心對稱分布；
所述固定環以及所述旋轉環上均安裝有一氣缸固定座，以安裝在固定環上的氣缸固定座為第一氣缸固定座，以安裝在旋轉環上的氣缸固定座為第二氣缸固定座；
一個氣缸伸縮機構的一端與第一氣缸固定座轉動連接，另一端與第二氣缸固定座相連。
3.根據權利要求1所述的半導體單晶爐上爐筒自動脫開機構，其特征在于：所述定位環以及所述定位外環通過螺釘固定在所述隔離閥上。
4.根據權利要求1所述的半導體單晶爐上爐筒自動脫開機構，其特征在于：所述旋轉環上的內齒與所述固定環上的外齒的個數相等；
所述內齒的個數不小于8個；
所述固定環包括一基環，所述外齒設置在基環下方的徑向外圍；
當所述旋轉環與固定環處于鎖緊狀態下，所述外齒位于所述內齒的下方；
當所述旋轉環與固定環處于松開狀態下，所述外齒位于相鄰兩個內齒的間隙的下方。
5.根據權利要求1所述的半導體單晶爐上爐筒自動脫開機構，其特征在于：所述定位滾輪包括一輪體，所述輪體的外壁包覆有一玄武巖纖維制成的網狀耐磨層。
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