[實用新型]一種納米硅激光氣相合成系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820811085.5
• 申請日: 2018-05-29
• 公開（公告）號: CN208554140U
• 公開（公告）日: 2019-03-01
• 發(fā)明（設計）人: 李學耕;劉芳;戎俊梅
• 申請（專利權(quán)）人: 普尼太陽能（杭州）有限公司
• 主分類號: B01J19/12
• 分類號: B01J19/12;C01B33/027
• 代理公司: 杭州天勤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33224
• 代理人: 曹兆霞

1.一種納米硅激光氣相合成系統(tǒng)，其特征在于，包括：

反應腔；

激光器，設置于反應腔的一端，產(chǎn)生的激光通過反應腔入口射入到反應腔內(nèi)；

硅烷氣瓶，所述硅烷氣瓶內(nèi)盛有硅烷，硅烷通過管道通入反應腔內(nèi)；

束縛氮氣瓶，所述束縛氮氣瓶內(nèi)裝有用于為硅烷提供束縛保護作用的氮氣，該氮氣通過管道通入反應腔內(nèi)；

混合氣瓶，所述混合氣瓶內(nèi)盛有氮氣和氫氣，該氮氣和氫氣通過管道通入反應腔內(nèi)；

硅粉收集器，設置于反應腔的下端，用于收集反應腔內(nèi)產(chǎn)生的納米硅顆粒；

真空抽取子系統(tǒng)，與反應腔連接，用于抽取反應腔內(nèi)的氣體，使反應腔內(nèi)呈現(xiàn)真空狀態(tài)。

2.如權(quán)利要求1所述的納米硅激光氣相合成系統(tǒng)，其特征在于，所述的真空抽取子系統(tǒng)包括：

壓力傳感器，設置于反應腔的底部，用于檢測反應腔內(nèi)的壓力；

過濾器，過濾器的入口與反應腔連接，在抽取反應腔內(nèi)氣體時，用于過濾氮氣、氫氣以及硅烷；

泵，泵的入口通過管道與過濾器的出口連接，用于抽取反應腔內(nèi)的氣體。

3.如權(quán)利要求2所述的納米硅激光氣相合成系統(tǒng)，其特征在于，所述真空抽取子系統(tǒng)還包括：

燃燒氧化裝置，與泵的出口連接，用于燃燒泵內(nèi)殘余的氮氣、氫氣以及硅烷。

4.如權(quán)利要求3所述的納米硅激光氣相合成系統(tǒng)，其特征在于，所述納米硅激光氣相合成系統(tǒng)還包括：

破解氮氣瓶，所述破解氮氣瓶內(nèi)盛有起增加反應腔內(nèi)壓強的氮氣，該氮氣通過管道通入到反應腔內(nèi)。

5.如權(quán)利要求4所述的納米硅激光氣相合成系統(tǒng)，其特征在于，所述納米硅激光氣相合成系統(tǒng)還包括：

激光冷卻吸收裝置，該裝置設置于反應腔另一端，接收從反應腔出口出射的激光，并對該激光進行冷卻和吸收。

6.如權(quán)利要求1所述的納米硅激光氣相合成系統(tǒng)，其特征在于，所述激光器為二氧化碳激光器。

7.如權(quán)利要求1所述的納米硅激光氣相合成系統(tǒng)，其特征在于，所述硅烷氣瓶、束縛氮氣瓶以及混合氣瓶分別與反應腔之間的管道上均設有調(diào)節(jié)閥，用于調(diào)節(jié)進入腔體的流速。

8.如權(quán)利要求4所述的納米硅激光氣相合成系統(tǒng)，其特征在于，所述破解氮氣瓶與反應腔之間的管道上設有調(diào)節(jié)閥。

9.如權(quán)利要求2所述的納米硅激光氣相合成系統(tǒng)，其特征在于，所述過濾器與泵之間依次設有第一調(diào)節(jié)閥、第二調(diào)節(jié)閥，所述第一調(diào)節(jié)閥受所述壓力傳感器的壓力信號控制。