[實(shí)用新型]一種由石墨烯修正的高靈敏度表面等離子諧振腔傳感器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201820810032.1 | 申請(qǐng)日： | 2018-05-29 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN208206334U | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-12-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 徐政杰;朱君;傅得立 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 廣西師范大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01K11/00 | 分類號(hào)： | G01K11/00 |
| 代理公司： | 桂林市華杰專利商標(biāo)事務(wù)所有限責(zé)任公司 45112 | 代理人： | 劉梅芳 |
| 地址： | 541004 廣西壯*** | 國(guó)省代碼： | 廣西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 表面等離子 金屬層 諧振腔傳感器 高靈敏度 基底層 石墨烯 諧振腔 直波導(dǎo) 凹陷 波導(dǎo) 疊接 修正 本實(shí)用新型 單層石墨烯 上下表面 醫(yī)學(xué)檢測(cè) 制備過(guò)程 靈敏度 納米級(jí) 體積小 傳感器 傳感 對(duì)稱 貫通 響應(yīng) | ||
1.一種由石墨烯修正的高靈敏度表面等離子諧振腔傳感器，其特征是，包括自下而上疊接的基底層和金屬層，所述金屬層中設(shè)有貫通金屬層上下表面的諧振腔，諧振腔的周邊對(duì)稱設(shè)有凹陷的第一直波導(dǎo)和凹陷的第二直波導(dǎo)，第一直波導(dǎo)和第二直波導(dǎo)的底部均設(shè)有單層石墨烯與基底層緊密疊接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的由石墨烯修正的高靈敏度表面等離子諧振腔傳感器，其特征是，所述諧振腔中的溫度傳感介質(zhì)為具有高熱光系數(shù)的液體材料，諧振腔的長(zhǎng)、寬尺寸可調(diào)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的由石墨烯修正的高靈敏度表面等離子諧振腔傳感器，其特征是，所述石墨烯的費(fèi)米能級(jí)和載流子濃度可調(diào)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的由石墨烯修正的高靈敏度表面等離子諧振腔傳感器，其特征是，所述基底層為Si層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的由石墨烯修正的高靈敏度表面等離子諧振腔傳感器，其特征是，所述金屬層為Ag層。
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