[實用新型]422機床專用晶托

有效

• 申請號: 201820805672.3
• 申請日: 2018-05-28
• 公開（公告）號: CN208305437U
• 公開（公告）日: 2019-01-01
• 發明（設計）人: 王會敏;張浩強;李立偉;呂思迦;張建龍;尤志劍
• 申請（專利權）人: 邢臺晶龍電子材料有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04;B28D5/04
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 王麗巧

本實用新型提供了一種422機床專用晶托，屬于硅片加工設備技術領域，包括用于盛放晶銷或籽晶的托盤及用于與機床工作臺相連的底座，所述底座上設有用于固定所述托盤的臺架，所述臺架與所述底座之間設有旋轉機構。本實用新型提供的422機床專用晶托通過旋轉機構實現臺架的旋轉，進而帶動盛放晶銷或籽晶的托盤旋轉，無需將籽晶或晶銷拔出切割室即可實現“#”字型切割。利用本實用新型能夠通過對現有422機床的改造，在不采購新設備的情況下，能滿足籽晶和晶銷的切割要求，進而滿足拉晶的大產能生產需求，降低了生產成本。

技術領域

本實用新型屬于硅片加工設備技術領域，更具體地說，是涉及一種422機床專用晶托。

背景技術

隨著拉晶車間產能的增加，晶銷與籽晶用量增加，同時隨著切片工藝的改進，現有生產設備無法滿足生產需求。442多線切割機床為行業內切割硅片的一種設備，原有442機床晶托為長方形，無法粘接圓棒進行籽晶及晶銷切割作業，改為方形晶托又不能實現“#”字型切割，每次切割一面后，需把籽晶或晶銷拔出切割室，旋轉方向后，再放進切割室進行切割。由于現有442機床配置已無法滿足需求，需要淘汰處理，再采購新設備，這就會增加生產成本。因此，需要研發一種針對422機床的新型晶托，來適應晶銷與籽晶的大批量生產。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種422機床專用晶托，以解決現有技術中存在的因原有422機床晶托不適應大批量晶銷與籽晶切割的技術問題。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是：提供一種422機床專用晶托，包括用于盛放晶銷或籽晶的托盤，還包括用于與機床工作臺相連的底座，所述底座上設有用于固定所述托盤的臺架，所述臺架與所述底座之間設有旋轉機構。

進一步地，所述旋轉機構包括能夠相對所述臺架轉動的底盤和用于對所述臺架定位的限位銷，所述底盤固定于所述底座上，所述底盤的四周設有與所述限位銷配合的限位槽，所述臺架的四周設有用于與所述限位銷配合的銷孔。

進一步地，所述底盤的中部固定設有轉軸，所述臺架套裝于所述轉軸上，所述臺架的中部設有與所述轉軸配合的軸孔。

進一步地，所述底盤為圓盤狀，所述限位槽為四個，四個所述限位槽徑向設置于所述底盤的外圓面上，兩兩相鄰的所述限位槽夾角呈90°。

進一步地，所述臺架為圓盤狀，所述臺架的四周設有用于與所述底盤的外圓配合的環狀凸臺；所述銷孔為四個、且徑向設置于所述凸臺的側壁上，兩兩相鄰的所述銷孔夾角呈90°。

進一步地，所述限位槽為沿所述底盤的外圓圓周方向設置的長弧形槽，所述限位銷的末端設置于所述限位槽內。

進一步地，所述底座與所述底盤通過加長螺栓連接固定。

進一步地，所述底座的中部設有減輕孔。

進一步地，所述臺架的表面設有用于調節所述托盤水平度的調節螺栓，所述調節螺栓的一端與所述臺架螺紋連接、另一端與所述托盤的底面相接觸；所述調節螺栓與所述銷孔交錯布置。

進一步地，所述托盤與所述臺架上表面粘結固定。

本實用新型提供的422機床專用晶托的有益效果在于：與現有技術相比，本實用新型422機床專用晶托通過旋轉機構實現臺架的旋轉，進而帶動盛放晶銷或籽晶的托盤旋轉，無需將籽晶或晶銷拔出切割室即可實現“#”字型切割。利用本實用新型能夠通過對現有422機床的改造，在不采購新設備的情況下，能滿足籽晶和晶銷的切割要求，進而滿足拉晶的大產能生產需求，降低了生產成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。