[實(shí)用新型]一種超純氣體鋼瓶?jī)?nèi)壁研磨處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820796111.1
• 申請(qǐng)日: 2018-05-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208289659U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-12-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許少鵬;何經(jīng)余
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 福建久策氣體集團(tuán)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24B31/10
• 分類(lèi)號(hào): B24B31/10;B24B31/12;B24B31/14
• 代理公司: 福州元?jiǎng)?chuàng)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 35100
• 代理人: 蔡學(xué)俊;郭東亮

本實(shí)用新型涉及一種超純氣體鋼瓶?jī)?nèi)壁研磨處理裝置，包括底座，所述底座上依次設(shè)有鋼瓶滾動(dòng)機(jī)構(gòu)、鋼瓶倒料機(jī)構(gòu)、鋼瓶烘干機(jī)構(gòu)；所述鋼瓶滾動(dòng)機(jī)構(gòu)包括經(jīng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的主動(dòng)轉(zhuǎn)輪，所述主動(dòng)轉(zhuǎn)輪的旁側(cè)設(shè)有從動(dòng)轉(zhuǎn)輪，所述主動(dòng)轉(zhuǎn)輪與從動(dòng)轉(zhuǎn)輪均位于臥置鋼瓶的下周部；所述鋼瓶倒料機(jī)構(gòu)包括用于夾緊在鋼瓶周部的夾持組件，所述夾持組件經(jīng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)；所述鋼瓶烘干機(jī)構(gòu)包括用于伸入鋼瓶?jī)?nèi)部的進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管與熱風(fēng)發(fā)生器連接。該超純氣體鋼瓶?jī)?nèi)壁研磨處理裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種超純氣體鋼瓶?jī)?nèi)壁研磨處理裝置。

背景技術(shù)

電子級(jí)超純氣體（如氦、氮、氫）在半導(dǎo)體制造中用作清洗氣、加壓氣、載氣和保護(hù)氣，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路IC、液晶顯示器LCD、半導(dǎo)體發(fā)光器件LED以及太陽(yáng)能電池PV等行業(yè)。近年來(lái)，隨著全球石油等能源資源逐漸減少和環(huán)境污染，溫室效應(yīng)對(duì)氣候的影響，世界各國(guó)大力發(fā)展清潔能源以及節(jié)能技術(shù)，在此背景之下，我國(guó)的太陽(yáng)能電池和半導(dǎo)體發(fā)光器件及相關(guān)產(chǎn)業(yè)得到了迅猛發(fā)展。電子級(jí)超純氣體在充瓶之前必須將瓶?jī)?nèi)的雜質(zhì)氣體進(jìn)行置換處理，傳統(tǒng)的氣體鋼瓶?jī)?nèi)壁非常粗糙，各類(lèi)雜質(zhì)氣體（尤其是水分）被粗糙的鋼瓶?jī)?nèi)壁吸附，很難置換處理干凈，無(wú)法滿(mǎn)足超純氣體的充裝。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種超純氣體鋼瓶?jī)?nèi)壁研磨處理裝置，不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，而且便捷高效。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種超純氣體鋼瓶?jī)?nèi)壁研磨處理裝置，包括底座，所述底座上依次設(shè)有鋼瓶滾動(dòng)機(jī)構(gòu)、鋼瓶倒料機(jī)構(gòu)、鋼瓶烘干機(jī)構(gòu)；

所述鋼瓶滾動(dòng)機(jī)構(gòu)包括經(jīng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的主動(dòng)轉(zhuǎn)輪，所述主動(dòng)轉(zhuǎn)輪的旁側(cè)設(shè)有從動(dòng)轉(zhuǎn)輪，所述主動(dòng)轉(zhuǎn)輪與從動(dòng)轉(zhuǎn)輪均位于臥置鋼瓶的下周部；

所述鋼瓶倒料機(jī)構(gòu)包括用于夾緊在鋼瓶周部的夾持組件，所述夾持組件經(jīng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)；

所述鋼瓶烘干機(jī)構(gòu)包括用于伸入鋼瓶?jī)?nèi)部的進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管與熱風(fēng)發(fā)生器連接。

優(yōu)選的，所述鋼瓶滾動(dòng)機(jī)構(gòu)包括位于底座上的水平支架，所述主動(dòng)轉(zhuǎn)輪安裝在主動(dòng)轉(zhuǎn)軸上，所述主動(dòng)轉(zhuǎn)軸的一端經(jīng)聯(lián)軸器與電機(jī)連接，所述從動(dòng)轉(zhuǎn)輪安裝在從動(dòng)轉(zhuǎn)軸上，所述主動(dòng)轉(zhuǎn)軸與從動(dòng)轉(zhuǎn)軸的兩端、中部均設(shè)有安裝在水平支架上的軸承與軸承座。

優(yōu)選的，所述從動(dòng)轉(zhuǎn)輪的數(shù)量為兩組并對(duì)稱(chēng)設(shè)置在主動(dòng)轉(zhuǎn)輪的兩側(cè)。

優(yōu)選的，每根主動(dòng)轉(zhuǎn)軸上的主動(dòng)轉(zhuǎn)輪數(shù)量為兩個(gè)，每根從動(dòng)轉(zhuǎn)軸上的從動(dòng)轉(zhuǎn)輪數(shù)量為兩個(gè)。

優(yōu)選的，所述水平支架在主動(dòng)轉(zhuǎn)輪與從動(dòng)轉(zhuǎn)輪之間的前后兩端均設(shè)有止推盤(pán)。

優(yōu)選的，所述夾持組件包括左夾塊與右?jiàn)A塊，所述左夾塊與右?jiàn)A塊的形狀為與鋼瓶周部形狀相適應(yīng)的弧形結(jié)構(gòu)，所述左夾塊的一端與氣缸的活塞桿端連接，所述右?jiàn)A塊的一端經(jīng)轉(zhuǎn)軸與旋轉(zhuǎn)電機(jī)連接，所述氣缸安裝在氣缸支撐座上，所述電機(jī)安裝在控制箱的內(nèi)部。

優(yōu)選的，所述左夾塊與右?jiàn)A塊的形狀均為四分之一圓弧。

優(yōu)選的，所述熱風(fēng)發(fā)生器為電加熱器，所述進(jìn)氣管豎直延伸。

優(yōu)選的，所述電加熱器的進(jìn)風(fēng)口與風(fēng)機(jī)連接，所述電加熱器的出風(fēng)口與進(jìn)氣管連接，所述進(jìn)氣管伸入鋼瓶的內(nèi)底部，所述風(fēng)機(jī)安裝在風(fēng)機(jī)支架上。

優(yōu)選的，所述電加熱器的出風(fēng)口上連接有兩根進(jìn)氣管。