[實用新型]一種區熔爐大盤防護裝置有效
| 申請號: | 201820784285.6 | 申請日: | 2018-05-24 |
| 公開(公告)號: | CN208395308U | 公開(公告)日: | 2019-01-18 |
| 發明(設計)人: | 張志富;李偉凡;孫健;吳峰;李東;王克旭;王遵義;孫晨光;王彥君 | 申請(專利權)人: | 天津中環領先材料技術有限公司 |
| 主分類號: | C30B13/00 | 分類號: | C30B13/00 |
| 代理公司: | 天津濱??凭曋R產權代理有限公司 12211 | 代理人: | 楊慧玲 |
| 地址: | 300384 天津市濱海新區*** | 國省代碼: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 半管 防護盤 大盤 本實用新型 防護裝置 上連接孔 下連接孔 右連接板 左連接板 上端 區熔爐 下端 穿過 可拆卸連接 板間連接 固定設置 螺栓 防塵圈 原有的 圓形管 單晶 硅渣 減小 爐體 外壁 節約 | ||
本實用新型提供了一種區熔爐大盤防護裝置,包括左半管和右半管,主軸穿過左半管和右半管形成的圓形管內部,左半管和右半管的上端均設置有上連接孔,下端設置有下連接孔,左半管和右半管的上端通過上連接孔與主軸防塵圈連接,左半管和右半管的下端通過下連接孔與原有的大盤連接,左半管和右半管的外壁的分別固定設置有左防護盤和右防護盤,左防護盤和右防護盤均為半圓形,左防護盤和右防護盤的端面上分別設置有左連接板和右連接板,螺栓穿過左連接板和右連接板上的板間連接孔實現左半管和右半管以及左防護盤和右防護盤之間的可拆卸連接。本實用新型能減小單晶裂后流熔對爐體的影響,能夠輕松的將硅渣清理干凈,節約了大量工時,提高效率。
技術領域
本實用新型屬于區熔技術技術領域,尤其是涉及一種區熔爐大盤防護裝置。
背景技術
現區熔爐八寸單晶工藝還未處在十分成熟階段,在拉至八寸單晶過程中會出現因各種問題導致單晶裂,從而硅液流出,燙壞下爐室大盤和螺絲。導致降溫后,拆下大盤清理硅渣的過程變得十分困難,從而影響工時的,耽誤生產;如多次流熔會將原防護大盤燙壞變形,嚴重可使下轉卡住,導致單晶流熔,造成損失;在配合現在FZ-30和FZ-35單晶爐的切小頭的應用,原有的裝置會出現單晶頭卡在大盤上;摔碎的硅渣掉進大盤下面,很容易出現大盤卡住的故障,故做出新型大盤對以上問題的防護。
發明內容
有鑒于此,本實用新型旨在提出一種區熔爐大盤防護裝置,能減小單晶裂后流熔對爐體的影響,能夠輕松的將硅渣清理干凈,節約了大量工時,提高效率。
為達到上述目的,本實用新型的技術方案是這樣實現的:
一種區熔爐大盤防護裝置,包括左半管和右半管,左半管和右半管形成圓形管,主軸穿過左半管和右半管形成的圓形管內部,左半管和右半管的上端均設置有上連接孔,左半管和右半管的下端均設置有下連接孔,左半管和右半管的上端通過上連接孔與上方的主軸防塵圈可拆卸連接,左半管和右半管的下端通過下連接孔與下方的原有的大盤可拆卸的連接,左半管和右半管的外壁的水平方向上分別固定設置有左防護盤和右防護盤,左防護盤和右防護盤均為半圓形,且左防護盤和右防護盤的兩端的端面與左半管和右半管的端面分別平齊,左防護盤和右防護盤的端面上分別設置有左連接板和右連接板,左連接板和右連接板上相對應的位置上設置有板間連接孔,螺栓穿過左連接板和右連接板上的板間連接孔實現左半管和右半管以及左防護盤和右防護盤之間的可拆卸連接。
進一步的,左防護盤和右防護盤上均設置有鋼絲通過孔,左防護盤和右防護盤的邊沿向上設置有擋板,左防護盤和右防護盤的擋板圍成封閉的圓形,左防護盤和右防護盤的底部均由外到內向下傾斜。
進一步的,左防護盤和右防護盤圍成的圓形防護盤的半徑等于下面原有的大盤的半徑。
進一步的,左防護盤和右防護盤的底部向下傾斜角度為15-20°。
進一步的,左半管和右半管的下端分別向外沿管壁上設置有左連接半法蘭和右連接半法蘭,左連接半法蘭和右連接半法蘭組成一個圓形,左連接半法蘭和右連接半法蘭上設置有下連接孔,螺栓穿過下連接孔將左連接半法蘭和右連接半法蘭固定在原有的大盤上。
相對于現有技術,本實用新型所述的區熔爐大盤防護裝置具有以下優勢:
本實用新型所述的區熔爐大盤防護裝置,可將單晶頭聚集在靠近主軸的位置,避免在開啟正反轉之后單晶頭發生碰撞發生震動的問題出現,解決了原有裝置在拉晶中開啟正反轉后下軸下軸異響和頻繁清理下爐室大盤下硅渣的問題。
附圖說明
構成本實用新型的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解,本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型,并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中:
圖1為本實用新型實施例所述的區熔爐大盤防護裝置的從上方看的立體示意圖;
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