[實用新型]一種光學芯片組以及光學芯片組拋光質量檢查裝置

有效

• 申請號: 201820783551.3
• 申請日: 2018-05-24
• 公開（公告）號: CN208705518U
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發明（設計）人: 譚蘭蘭
• 申請（專利權）人: 深圳鑫振華光電科技有限公司
• 主分類號: G02B6/10
• 分類號: G02B6/10;G02B21/06;G02B21/26;G02B21/24;G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 深圳益諾唯創知識產權代理有限公司 44447
• 代理人: 肖婉萍

1.一種光學芯片組，其特征在于，所述光學芯片組呈扁平的長條狀；包括沿長度方向相對設置且平行的第一表面和第二表面，以及連接在所述第一表面和第二表面之間的相對設置的研磨面；所述研磨面包括第一研磨面和第二研磨面，所述第一研磨面和第二研磨面分別與所述第一表面呈預設的第一夾角α。

2.如權利要求1所述的光學芯片組，其特征在于，所述光學芯片組為自光學晶圓鏡片上按照預設的寬度垂直于所述光學晶圓鏡片切割獲得的扁平的長條狀鏡片經研磨形成。

3.一種光學芯片組拋光質量檢查裝置，用于檢查如權利要求1-2中任一項所述的光學芯片組，其特征在于，包括：

數碼光學顯微鏡，用于對所述光學芯片組的所述研磨面拋光質量進行觀察與成像；

反光鏡，用于反射光線，使光線入射至所述光學芯片組研磨面上；

芯片固定夾具，所述芯片固定夾具包括固定部，所述固定部上形成有至少一條用于固定所述光學芯片組的凹槽。

4.如權利要求3所述的光學芯片組拋光質量檢查裝置，其特征在于，所述凹槽的底面與所述凹槽的側面之間形成所述預設的第一夾角α；所述凹槽與豎直方向之間形成與所述預設的第一夾角α相配合的第二夾角β，以使光學芯片組插入所述凹槽中時，所述光學芯片組的第一研磨面或第二研磨面呈水平狀態；所述凹槽的長度大于光學芯片組的長度，所述凹槽的寬度大于所述光學芯片組的厚度0.1mm-0.5mm，所述凹槽的深度小于所述光學芯片組的寬度。

5.如權利要求3所述的光學芯片組拋光質量檢查裝置，其特征在于，所述芯片固定夾具為透明的，所述反光鏡設于所述芯片固定夾具的下方且承載所述芯片固定夾具。

6.如權利要求5所述的光學芯片組拋光質量檢查裝置，其特征在于，還包括移動平臺，所述移動平臺包括：驅動輪、齒條、齒輪、移動部；所述驅動輪與所述齒輪通過轉軸連接；所述齒條的一端與所述齒輪嚙合，所述齒條與所述移動部固定連接；所述移動部承載所述芯片固定夾具和所述反光鏡。

7.如權利要求6所述的光學芯片組拋光質量檢查裝置，其特征在于，所述芯片固定夾具固定連接所述反光鏡，所述反光鏡固定連接所述移動部。

8.如權利要求6所述的光學芯片組拋光質量檢查裝置，其特征在于，還包括底座，所述底座承載所述移動平臺、所述數碼光學顯微鏡，所述底座上形成有螺孔陣列，所述數碼光學顯微鏡、所述移動平臺通過螺釘與底座上的螺孔相配合，從而連接在所述底座的對應位置上。

9.如權利要求3所述的光學芯片組拋光質量檢查裝置，其特征在于，所述數碼光學顯微鏡的放大倍率至少為100X。

10.如權利要求3所述的光學芯片組拋光質量檢查裝置，其特征在于，還包括顯示裝置，所述顯示裝置與所述數碼光學顯微鏡相連。