[實(shí)用新型]一種多晶硅片去油墨用夾具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820783534.X | 申請日: | 2018-05-24 |
| 公開(公告)號: | CN208256641U | 公開(公告)日: | 2018-12-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 汪偉華 | 申請(專利權(quán))人: | 浙江羿陽太陽能科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 杭州賽科專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33230 | 代理人: | 陳俊波 |
| 地址: | 313299 浙江省*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 固定板 硅片 導(dǎo)軌 夾具 多晶硅片 兩根導(dǎo)軌 活動(dòng)板 油墨 本實(shí)用新型 金屬波紋 平行 一次性固定 充分接觸 氫氧化鈉 相對設(shè)置 波浪形 可固定 滑動(dòng) 多片 碼放 氣缸 托起 分隔 垂直 保證 | ||
1.一種多晶硅片去油墨用夾具,包括第一固定板(1)、第二固定板(7)和活動(dòng)板(9),其特征在于:所述第一固定板(1)與第二固定板(7)之間通過兩根導(dǎo)軌(10)固定連接,所述第一固定板(1)與第二固定板(7)相對設(shè)置且相互平行,兩根所述導(dǎo)軌(10)均垂直于第一固定板(1)和第二固定板(7),且兩根導(dǎo)軌(10)相互平行,所述導(dǎo)軌(10)上插設(shè)有活動(dòng)板(9)和若干個(gè)金屬波紋網(wǎng)(6),所述第一固定板(1)面向活動(dòng)板(9)的一面固定安裝有伸縮氣缸(3),所述伸縮氣缸(3)上設(shè)有氣缸桿(4),所述氣缸桿(4)的尾端通過安裝板(5)固定在活動(dòng)板(9)的表面,所述金屬波紋網(wǎng)(6)設(shè)置在活動(dòng)板(9)與第二固定板(7)之間,相鄰所述金屬波紋網(wǎng)(6)之間放置有多晶硅片(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片去油墨用夾具,其特征在于,所述導(dǎo)軌(10)的兩端設(shè)有圓型的安裝片(12),所述導(dǎo)軌(10)通過將螺栓插入安裝片(12)固定在第一固定板(1)與第二固定板(7)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片去油墨用夾具,其特征在于,所述第一固定板(1)和第二固定板(7)的頂部均安裝有牽引環(huán)(2),所述牽引環(huán)(2)安裝在第一固定板(1)和第二固定板(7)頂面的中間位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片去油墨用夾具,其特征在于,所述第一固定板(1)和第二固定板(7)上分別設(shè)有兩個(gè)通孔,所述通孔沿第一固定板(1)和第二固定板(7)的長度方向上下貫通。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片去油墨用夾具,其特征在于,所述金屬波紋網(wǎng)(6)的兩側(cè)中間位置設(shè)有鎖片(11),所述鎖片(11)上設(shè)有穿孔(111),所述穿孔(111)的直徑大于等于導(dǎo)軌(10)的直徑。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片去油墨用夾具,其特征在于,所述金屬波紋網(wǎng)(6)呈波紋型彎折,且金屬波紋網(wǎng)(6)為網(wǎng)格狀編織結(jié)構(gòu)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





