[實用新型]一種半導(dǎo)體載具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820783241.1 | 申請日： | 2018-05-24 |
| 公開（公告）號： | CN208240633U | 公開（公告）日： | 2018-12-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 曹孫根 | 申請（專利權(quán)）人： | 安徽鉅芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 合肥中博知信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34142 | 代理人： | 錢衛(wèi)佳 |
| 地址： | 247000 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 側(cè)板 下基板 本實用新型 側(cè)支撐 放置槽 分隔臺 上基板 滾輪 載具 半導(dǎo)體 頂部安裝 滾動連接 滾輪連接 方便性 防撞性 拆裝 防撞 滑槽 腳塊 卡緊 卡塊 位柱 限位 | ||
1.一種半導(dǎo)體載具，包括放置槽(2)、下基板(3)、側(cè)板(6)和上基板(8)，其特征在于：所述側(cè)板(6)的底部固定安裝有下基板(3)，所述下基板(3)的頂部安裝有分隔臺(1)，所述分隔臺(1)的內(nèi)部開設(shè)有放置槽(2)，所述側(cè)板(6)的一側(cè)安裝有側(cè)支撐(5)，所述側(cè)板(6)通過滑槽(7)與滾輪(10)連接，所述滾輪(10)的兩側(cè)均安裝有卡塊(11)，所述滾輪(10)的頂部滾動連接有上基板(8)，所述側(cè)板(6)靠近側(cè)支撐(5)的一側(cè)安裝有限位柱(9)，所述側(cè)板(6)的四角安裝有防撞腳塊(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體載具，其特征在于：所述側(cè)板(6)與卡塊(11)配合連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體載具，其特征在于：所述上基板(8)開設(shè)有與放置槽(2)間距相同的安裝槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體載具，其特征在于：所述防撞腳塊(4)的內(nèi)部完全填充有橡膠球。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體載具，其特征在于：所述側(cè)支撐(5)為一種圓盤結(jié)構(gòu)構(gòu)成，且為一種硅膠材料構(gòu)件。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
