[實用新型]一種用于金屬靶材綁定的智能箱式爐的加熱裝置

有效

• 申請號: 201820782070.0
• 申請日: 2018-05-24
• 公開（公告）號: CN208175008U
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發明（設計）人: 高建杰;李金龍;孟紅波;劉正國
• 申請（專利權）人: 洛陽豐聯科綁定技術有限公司
• 主分類號: H05B3/00
• 分類號: H05B3/00;H05B3/02
• 代理公司: 鄭州知己知識產權代理有限公司 41132
• 代理人: 任海玲

本實用新型涉及一種用于金屬靶材綁定的智能箱式爐的加熱裝置，包括外箱體、底座，還包括防輻射層、加熱器、保溫材料、控制箱、溫度控制器和報警器，所述的外箱體為長方體，所述的外箱體中部設置容納焊劑箱的凹槽，所述外箱體和凹槽內形成加熱腔體，所述的加熱腔體的底面、四個側面、頂面的內表面上設置有防輻射層，所述的加熱腔體底面和側面上設置有加熱器，所述的加熱器包括U型加熱器和直線加熱器，所述的加熱腔體內填充保溫材料，所述控制箱設置在所述底座上，所述控制箱上設置溫度控制器、電源開關和報警器，所述的加熱器、溫度控制器、電源開關、報警器通過導線和控制箱連接在一起。本實用新型提供了一種能夠均勻加熱焊料，提高生產效率的用于金屬靶材綁定的智能箱式爐的加熱裝置。

技術領域

本實用新型屬于一種加熱裝置，具體涉及一種用于金屬靶材綁定的箱式爐的加熱裝置。

背景技術

20世紀90年代以來，隨著濺射技術的不斷發展，各種濺射膜極大地滿足了各種新型電子元器件發展的需求，特別在微電子、顯示器、存儲等領域，得到了廣泛的應用。目前的各種濺射薄膜主要采用真空磁控濺射法來生產，在生產的過程中，先對靶材進行綁定，然后在高真空室中充入所需要的惰性氣體，在被濺射的靶極與陽極之間加一個正交磁場和電場，在電場的作用下，惰性氣體電離成正離子和電子，離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面，以很高的速度轟擊靶面，使靶上被濺射出來的原子以較高的動能脫離靶面飛向基片淀積成膜。

在靶材和背板綁定時，需要將焊料加熱熔化，均勻地涂在靶材和背板上，冷卻后兩者得到牢固的結合。將焊劑放到箱式爐里，保持一定的溫度，讓焊劑充分地熔化，然后將焊劑填充到靶材和背板之間，進行綁定，效果比較理想，但是現有的箱式爐的加熱裝置，受熱不均勻，容易造成局部溫度過高或過低，在使用過程中會造成綁定不牢，容易產生應力造成靶材開裂，進而影響最終產品的質量。

實用新型內容

為克服上述缺陷，本實用新型的目的在于提供一種能夠均勻加熱焊料，提高生產效率的用于金屬靶材綁定的智能箱式爐的加熱裝置。

本實用新型是通過如下技術方案實現的：

一種用于金屬靶材綁定的智能箱式爐的加熱裝置，包括外箱體、底座，還包括防輻射層、加熱器、保溫材料、控制箱、溫度控制器和報警器，所述的外箱體為長方體，所述的外箱體中部設置容納焊劑箱的凹槽，所述外箱體和凹槽內形成加熱腔體，所述的加熱腔體的底面、四個側面、頂面的內表面上設置有防輻射層，所述的加熱腔體底面和側面上設置有加熱器，所述的加熱器包括U型加熱器和直線加熱器，所述的加熱腔體內填充保溫材料，所述控制箱設置在所述底座上，所述控制箱上設置溫度控制器、電源開關和報警器，所述的加熱器、溫度控制器、報警器、電源開關、通過導線和控制箱連接在一起。

優選地，所述的加熱腔體的底面設置2個直線加熱器和4個U型加熱器。

優選地，所述的2個直線加熱器分別設置在加熱腔體底面的內側和外側，所述的4個U型加熱器首尾相對，設置在加熱腔體底面的中間。

優選地，所述的2個直線加熱器分別設置在加熱腔體底面的內側和外側，所述的4個U型加熱器，中間的2個開口方向朝外，兩邊的2個U型加熱器開口方向朝內，設置在加熱腔體底面的中間。

優選地，所述的加熱腔體的每個側面上設置2個直線加熱器和3個U型加熱器。

優選地，所述的2個直線加熱器分別設置在加熱腔體側面的頂端和下端，所述的3個U型加熱器橫向放置，首尾相對，設置在加熱腔體側面的中部。

本實用新型的積極有益效果：