[實用新型]一種探針臺用吹屑機構有效
| 申請號： | 201820771728.8 | 申請日： | 2018-05-22 |
| 公開（公告）號： | CN208239573U | 公開（公告）日： | 2018-12-14 |
| 發明（設計）人： | 季建松;何志強 | 申請（專利權）人： | 江陰佳泰電子科技有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/26 | 分類號： | G01R31/26;B08B5/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 214400 江蘇省無錫*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 測試工位 凸塊 本實用新型 吹屑機構 探針臺 蓋板 半導體晶圓 通孔 氣管 環繞 掃除 工人工作量 測試領域 測試效率 空腔相通 通孔邊緣 空腔 通氣 接通 | ||
1.一種探針臺用吹屑機構，包括設于測試工位上的蓋板（1），蓋板（1）上設有通孔（11），其特征是：所述蓋板（1）上環繞通孔（11）邊緣設有凹槽（12），凹槽（12）內環繞通孔（11）設有凸塊（2），凸塊（2）內設有空腔（21），凸塊（2）上設有接通氣源的氣管（3），氣管（3）與空腔（21）接通，凸塊（2）上還設有朝向測試工位的氣孔（22）若干，氣孔（22）與空腔（21）相通。
2.根據權利要求1所述的一種探針臺用吹屑機構，其特征是：所述通孔（11）為圓孔，凸塊（2）呈環形。
3.根據權利要求1所述的一種探針臺用吹屑機構，其特征是：所述氣管（3）為萬向竹節管。
4.根據權利要求1所述的一種探針臺用吹屑機構，其特征是：所述氣孔（22）設于凸塊（2）內側面上，氣孔（22）傾斜朝下設置。
5.根據權利要求1所述的一種探針臺用吹屑機構，其特征是：所述凸塊（2）一部分底面覆蓋凹槽（12）底面，氣孔（22）設于凸塊（2）底面剩余部分上。
6.根據權利要求1所述的一種探針臺用吹屑機構，其特征是：所述凸塊（2）內設有用于遮擋氣孔（22）的滑塊（4），空腔（21）為環形腔，滑塊（4）與空腔（21）內壁滑動配合。
7.根據權利要求6所述的一種探針臺用吹屑機構，其特征是：所述滑塊（4）的弧長為空腔（21）圓周長的1/4。
8.根據權利要求6所述的一種探針臺用吹屑機構，其特征是：所述滑塊（4）的弧長為空腔（21）圓周長的1/2。
9.根據權利要求6所述的一種探針臺用吹屑機構，其特征是：所述滑塊（4）上設有淺槽（41），淺槽（41）內設有與空腔（21）內壁接觸的滾輪（5）。
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