[實用新型]一種乙硼烷制備裝置

有效

• 申請號: 201820770156.1
• 申請日: 2018-05-23
• 公開（公告）號: CN208586230U
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發明（設計）人: 許少鵬;何經余
• 申請（專利權）人: 福建久策氣體集團有限公司
• 主分類號: C07F5/05
• 分類號: C07F5/05
• 代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 蔡學俊;郭東亮

本實用新型涉及一種乙硼烷制備裝置，包括經管道依次連接的配液槽、反應器、回收冷肼、產品冷凍瓶。該乙硼烷制備裝置的結構簡單，能夠實現乙硼烷的制備。

技術領域

本實用新型涉及一種乙硼烷制備裝置，屬于特種工業氣體生產與凈化領域。

背景技術

乙硼烷（B2H6）在電子工業中主要用于半導體制造擴散和氧化的摻雜劑，廣泛應用于半導體集成電路IC、液晶顯示器LCD、半導體發光器件LED以及太陽能電池PV等行業。近年來，隨著全球石油等能源資源逐漸減少和環境污染，溫室效應對氣候的影響，世界各國大力發展清潔能源以及節能技術，重點關注低碳經濟。在此背景之下，我國的太陽能電池和半導體發光器件及相關產業得到了迅猛發展，電子工業用乙硼烷市場非常廣闊。現有的乙硼烷制備裝置結構復雜，結構設計不合理，難以使用，具有很大的局限性。

實用新型內容

鑒于現有技術的不足，本實用新型所要解決的技術問題是提供一種乙硼烷制備裝置，不僅結構簡單，而且便捷高效。

為了解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是：一種乙硼烷制備裝置，包括經管道依次連接的配液槽、反應器、回收冷肼、產品冷凍瓶；

所述配液槽包括密閉的配液容器，所述配液容器上設有配液進氣口、配液排氣口、配液進液口、配液排液口、配液排污口；

所述反應器包括密閉的反應容器，所述反應容器上設有反應進氣口、反應出氣口、反應進液口、反應排液口，所述反應容器的外周部設有密閉的第一保溫外殼，所述第一保溫外殼與反應容器之間為第一調溫空腔，所述第一調溫空腔與第一溫控裝置連接；

所述回收冷肼包括密閉的回收容器，所述回收容器上設有回收進氣口、回收出氣口，所述回收容器的外周部設有密閉的第二保溫外殼，所述第二保溫外殼與回收容器之間為第二調溫空腔，所述第二調溫空腔與第二溫控裝置連接；

所述配液排液口與反應進液口連接，所述反應出氣口與回收進氣口連接，所述回收出氣口與產品冷凍瓶連接。

優選的，所述配液進氣口與配液排氣口均位于配液容器的上周部，所述配液排液口與配液排污口均位于配液容器的下周部，所述配液進液口位于配液容器的頂部且螺接有密封端蓋，所述配液進氣口上的配液進氣管延伸至配液容器的內底部，所述配液排液口上的配液排液管上設有過濾網。

優選的，所述反應進液口與反應出氣口位于反應容器的頂部，所述反應進氣口上的反應進氣管至上往下延伸至反應容器的內底部，所述反應排液口上的反應排液管位于反應容器的底部，所述反應容器上設有反應容器液位計。

優選的，所述第一保溫外殼包括內設保溫夾層的殼體，所述保溫夾層內裝入珠光砂保溫填料，所述保溫夾層的底部設有與真空泵連接的抽真空管，抽真空管上設有過濾網，所述保溫夾層的頂部設有填料口；所述第一溫控裝置包括連接第一調溫空腔下周部的第一進氣管、連接第一調溫空腔上部的第一排氣管，所述第一進氣管上連接有低溫氮氣進氣管、加熱氮氣進氣管。

優選的，所述回收出氣口位于回收容器的頂部，所述回收進氣口至上往下延伸至回收容器的內底部；所述第二保溫外殼包括內設保溫夾層的殼體，所述保溫夾層內裝入珠光砂保溫填料，所述保溫夾層的底部設有與真空泵連接的抽真空管，抽真空管上設有過濾網，所述保溫夾層的頂部設有填料口；所述第二溫控裝置包括連接第二調溫空腔下周部的第二進氣管、連接第二調溫空腔上部的第二排氣管，所述第二進氣管上連接有液氮進氣管、熱氮氣進氣管。

優選的，所述產品冷凍瓶包括產品冷凍瓶冷肼，所述產品冷凍瓶冷肼內設有液氮與不銹鋼冷凍瓶。

優選的，所述低溫氮氣進氣管上設有閥門A、加熱氮氣進氣管上設有閥門B、第一排氣管上設有閥門C。

優選的，所述液氮進氣管上設有閥門D、熱氮氣進氣管上設有閥門E、第二進氣管設有閥門F。