[實用新型]一種硅片退火用石英舟有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820769927.5 | 申請日： | 2018-05-23 |
| 公開（公告）號： | CN208532971U | 公開（公告）日： | 2019-02-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王永超;郭城;呂明;李忠泉 | 申請（專利權(quán)）人： | 濟(jì)南科盛電子有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/02 | 分類號： | C30B33/02;H01L21/673 |
| 代理公司： | 青島高曉專利事務(wù)所(普通合伙) 37104 | 代理人： | 黃曉敏 |
| 地址： | 250200 山東省濟(jì)南*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 底部托架 上部托架 石英舟 硅片 退火 底部橫梁 端部擋板 端部框架 上部橫梁 中空框架結(jié)構(gòu) 半圓弧槽 單晶硅片 高溫環(huán)境 框架結(jié)構(gòu) 四方形 多片 | ||
1.一種硅片退火用石英舟，其特征在于：包括底部托架，上部托架，上部橫梁，端部框架，端部擋板，底部橫梁；所述的底部托架為半圓弧槽型框架結(jié)構(gòu)；所述的上部托架為四方形中空框架結(jié)構(gòu)；所述的上部橫梁固定在上部托架縱向框架之間；所述的底部橫梁固定在底部托架框架之間；所述的端部擋板固定在上部托架與底部托架之間；所述的端部框架固定在底部托架和上部托架之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片退火用石英舟，其特征在于：所述的底部托架為石英圓棒彎曲而成，所述的底部托架兩側(cè)石英圓棒相向側(cè)各設(shè)置為一傾斜面，傾斜面上開設(shè)均布的槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片退火用石英舟，其特征在于：所述的上部托架為石英圓棒組成的四方形中空框架結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片退火用石英舟，其特征在于：所述的上部橫梁為石英圓棒，并均布排列。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片退火用石英舟，其特征在于：所述的底部橫梁為石英圓棒。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片退火用石英舟，其特征在于：所述的底部托架石英圓棒、底部橫梁石英圓棒、上部托架石英圓棒、上部橫梁石英圓棒的直徑大小依次減小。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片退火用石英舟，其特征在于：所述的端部擋板垂直于底部托架槽兩側(cè)石英棒，低端固定在底部托架槽內(nèi)側(cè)，上端固定在上部托架橫向側(cè)框架內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片退火用石英舟，其特征在于：所述的端部框架包括豎板一，橫板，豎板二；所述的豎板一分別固定在底部托架槽內(nèi)兩側(cè)，低端與底部托架兩側(cè)石英棒固定在一起，上端固定在上部托架另一側(cè)橫向框架內(nèi)，方向與底部托架石英棒平行；所述的豎板二方向與豎板一垂直，并固定在兩塊豎板一之間，所述的豎板二固定在橫板上；所述的橫板固定在兩豎板一之間并位于兩豎板一低端，所述的橫板中間開設(shè)一通孔。
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