[實(shí)用新型]具有高抗激光閾值的增透膜有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201820760612.4 | 申請(qǐng)日： | 2018-05-22 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN208255450U | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-12-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 高藝寧 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 蘇州市天凱光電配件廠 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G02B1/115 | 分類(lèi)號(hào)： | G02B1/115 |
| 代理公司： | 南京艾普利德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32297 | 代理人： | 陸明耀 |
| 地址： | 215000 江蘇省*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 三氧化二鋁層 氧化鉿層 膜層 沉積 本實(shí)用新型 二氧化硅層 外輪廓 增透膜 折射率 高抗 鏡頭 激光 抗激光損傷 融石英玻璃 圖標(biāo) 低折射率 無(wú)放射性 激光器 散射 三層 破裂 吸收 損害 | ||
1.具有高抗激光閾值的增透膜，包括紫外融石英玻璃制成的鏡頭（1），其特征在于：所述鏡頭（1）上沉積有中折射率的三氧化二鋁層（2），所述三氧化二鋁層（2）上沉積有鋯折射率的氧化鉿層（3），所述氧化鉿層（3）上沉積有低折射率的二氧化硅層（4），且所述三氧化二鋁層（2）、氧化鉿層（3）以及二氧化硅層（4）的外輪廓與所述鏡頭（1）的外輪廓一致。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有高抗激光閾值的增透膜，其特征在于：所述三氧化二鋁層（2）的物理厚度為480~490埃。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有高抗激光閾值的增透膜，其特征在于：所述氧化鉿層（3）的物理厚度為570~580埃。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有高抗激光閾值的增透膜，其特征在于：所述二氧化硅層（4）的物理厚度為555~560埃。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有高抗激光閾值的增透膜，其特征在于：以真空蒸發(fā)的方式沉積所述三氧化二鋁層（2）、氧化鉿層（3）以及二氧化硅層（4）。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有高抗激光閾值的增透膜，其特征在于：所述鏡頭（1）的表面粗糙度小于5埃。
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