[實用新型]一種大面積投影光刻系統

有效

• 申請號: 201820756698.3
• 申請日: 2018-05-21
• 公開（公告）號: CN208283721U
• 公開（公告）日: 2018-12-25
• 發明（設計）人: 韓太林;王英志;劉紅;胡俊;陳玉群;宮玉琳;郎百和;劉迪
• 申請（專利權）人: 長春理工大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03B21/16
• 代理公司: 濟南旌勵知識產權代理事務所(普通合伙) 31310
• 代理人: 王如意

一種大面積投影光刻系統，包括光源、光纖、DMD系統、光束吸收板，DMD芯片卡在導熱外殼的一面上，導熱外殼的另一面則卡有隔熱板，散熱罩的表面涂有一層反光漆，緊貼隔熱板的散熱罩表面開有多個均勻排布的進氣口，散熱罩內通過固定塊固定有微型暖氣片體，隔熱板表面固定有向微型暖氣片體吹風的散熱扇，散熱扇的其中一側隔熱板表面還固定有微型水泵，微型水泵的進液端通過管道與導熱外殼連通，微型水泵的出液端則通過多條管道與微型暖氣片體的片體連通，在散熱扇的另一側還設置有多條連通微型暖氣片體和導熱外殼的回流管。本實用新型具有靈活性，曝光面積大，精度高，分辨率高，成像質量高，成本低等優勢。

技術領域

本實用新型涉及投影光刻技術領域，具體地說是一種大面積投影光刻系統。

背景技術

光刻圖形的結構從簡單到復雜，特征尺寸越來越小，傳統掩模光刻遇到了制作困難和成本大的問題，嚴重影響了產品研發發及生產進度。其中 DMD 芯片是最主要的制約因素之一，但目前的 DMD 芯片散熱能力較差，針對現有技術存在問題，發明一種高精度、曝光面積大的光刻系統。

實用新型內容

為解決上述問題，本實用新型的目的是提供一種大面積投影光刻系統，對現有技術進行改進，解決上述存在的問題。

本實用新型為實現上述目的，一種大面積投影光刻系統，包括光源、光纖、DMD系統、光束吸收板，光源射出的光線經光纖輸入到勻光透鏡組，再由勻光透鏡組分散照射到DMD 系統的 DMD 芯片，其中一部分光線經 DMD 芯片反射到投影物鏡組，另一部分光線則被光束吸收板吸收，經過投影物鏡組的光線再經過處理后投射到平臺系統的PCB 基板上，DMD 芯片卡在導熱外殼的一面上，且與導熱外殼之間涂有導熱硅膠，導熱外殼的另一面則卡有隔熱板，隔熱板表面則固定有向外開口的四棱錐形散熱罩，散熱罩的表面涂有一層反光漆，緊貼隔熱板的散熱罩表面開有多個均勻排布的進氣口，散熱罩內通過固定塊固定有微型暖氣片體，隔熱板表面固定有向微型暖氣片體吹風的散熱扇，散熱扇的其中一側隔熱板表面還固定有微型水泵，微型水泵的進液端通過管道與導熱外殼連通，微型水泵的出液端則通過多條管道與微型暖氣片體的片體連通，在散熱扇的另一側還設置有多條連通微型暖氣片體和導熱外殼的回流管。

光源為半導體激光器，從半導體激光器發出光束經過耦合光纖后，經準直系統準直后，光束被反射鏡輻照到 DMD 芯片上，光束由 DMD 芯片進行調制后，經投影物鏡將需要曝光圖像投影到 PCB 基板上，控制精密工作臺可形成所需要圖形，本實用新型的 DMD 芯片設計的散熱系統，形成主動循環的散熱模式，而且采用熱輻射反射原理進一步提高向外界散熱的能力，大大增強了 DMD 芯片的散熱效率，滿足DMD 芯片高效率大面積的工作需要，與現有技術相比，本實用新型具有靈活性，曝光面積大，精度高，分辨率高，成像質量高，成本低等優勢。

附圖說明

圖 1 為本實用新型的原理圖；

圖 2 為本實用 DMD 芯片部位的結構示意圖；

圖 3 為本實用微型暖氣片體的結構示意圖。

具體實施方式