[實用新型]一種硅棒切片機加工底座

有效

• 申請號: 201820747965.0
• 申請日: 2018-05-19
• 公開（公告）號: CN208497364U
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發明（設計）人: 王永超;郭城;呂明;李忠泉
• 申請（專利權）人: 濟南科盛電子有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04;B28D7/00
• 代理公司: 青島高曉專利事務所(普通合伙) 37104
• 代理人: 黃曉敏

本實用新型屬于硅片加工設備技術領域，涉及一種硅棒切片機加工底座；其結構包括底座和滑動板；底座由四周的邊框組成中空長方體結構，滑動板通過滑軌與底座滑動連接；滑動板中央位置開設有凹槽；凹槽內一端設置有連接塊，另一端設置有電機；電機輸出端與旋轉軸一端連接；旋轉軸另一端與連接塊相對旋轉式連接；旋轉軸兩側設置有方向相反的螺紋，旋轉軸兩側分別與兩個移動塊螺紋連接；移動塊上方與夾塊固定連接；連接塊上方可拆卸式連接有伸縮桿，伸縮桿頂面通過螺釘二連接有支撐桿，支撐桿的端部固定設置有伸縮油缸，伸縮油缸輸出端連接上定位塊；該加工底座實現了對硅棒的準確定位和位置固定，提高了整體工作效率，節能環保。

技術領域

本實用新型屬于硅片加工設備技術領域，涉及一種硅棒切片機加工底座。

背景技術

硅片是制作集成電路的重要材料，通過對硅片進行光刻、離子注入等手段，可以制成各種半導體器件，利用硅片制成的芯片有著驚人的運算能力，科學技術的發展不斷推動著半導體、自動化和計算機等技術的發展，硅片的應用非常廣泛，涉及航空航天、工業、農業和國防等多個領域。硅片在加工時，通常采用切割裝置將硅棒切割為一定厚度的硅片，傳統的切割裝置加工底座不能對硅棒較好的固定，且結構復雜，使用不便。

實用新型內容

本實用新型的發明目的在于克服現有技術存在的缺點，提出設計一種硅棒切片機加工底座，以解決現有技術中對硅棒固定效果不佳、操作不便的問題。

本實用新型涉及的硅棒切片機加工底座，其主體結構包括底座和滑動板；所述的底座由四周的邊框組成中空長方體結構，其中一對平行的邊框上設置有滑軌，滑動板通過滑軌與底座滑動連接；滑動板中央位置開設有凹槽；凹槽內一端設置有連接塊，另一端設置有電機；電機輸出端與旋轉軸一端連接；旋轉軸另一端與連接塊相對旋轉式連接；旋轉軸兩側設置有方向相反的螺紋，旋轉軸兩側分別與兩個移動塊螺紋連接；移動塊上方與夾塊固定連接；連接塊上方可拆卸式連接有伸縮桿，伸縮桿包括上伸縮桿和下伸縮桿，上伸縮桿和下伸縮桿均勻開設有定位孔，上伸縮桿和下伸縮桿通過螺釘一進行定位，螺釘一與定位孔螺紋連接，伸縮桿頂面通過螺釘二連接有支撐桿，支撐桿的端部固定設置有伸縮油缸，伸縮油缸輸出端連接上定位塊，上定位塊用于對硅棒的上下位置固定。

作為優化，所述的夾塊與上定位塊上設置有與硅棒表面相匹配的弧形結構，用于對硅棒的位置進行更好的固定。

作為優化，所述的左側夾塊底面右側可拆卸式連接有矩形蓋板；蓋板的兩個長邊上設置有滑槽；所述的滑動板上位于凹槽內設置有與滑槽匹配使用的凸沿；蓋板上表面低于滑動板上表面，用于蓋住位于硅棒下方的凹槽，有利于防凹槽內的灰塵接觸硅棒，且該設置方便蓋板的安裝和拆卸，應用靈活。

作為優化，所述的蓋板的長度大于硅棒的直徑，以保證硅棒下方的凹槽能夠完全被蓋住。

本實用新型與現有技術相比，具有以下優點：通過電機和旋轉軸同時控制兩個夾塊的移動，能夠保證夾塊同步移動，有助于硅棒的定位，且有利于節省電能；伸縮桿與連接塊可拆卸式連接，方便拆裝，伸縮桿的高度能夠上下調節，便于對不同直徑的硅棒進行夾持固定；蓋板能夠防止凹槽內灰塵與硅棒的接觸，保證了硅棒的清潔，并通過凸沿滑動設置，方便拆卸；其整體結構簡單，操作方便，實現了對硅棒的準確定位和位置固定，提高了整體工作效率，節能環保。

附圖說明

圖1為本實用新型的整體結構原理示意圖；

圖2為本實用新型部分結構放大圖；

圖3為本實用新型的左側夾塊結構放大圖；

圖4為本實用新型的旋轉軸結構放大圖；

圖5為本實用新型的滑動板結構放大圖；