[實用新型]一種具有復合致動水冷功能的壓電變形鏡

有效

• 申請號: 201820741339.0
• 申請日: 2018-05-18
• 公開（公告）號: CN208255526U
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發明（設計）人: 李文來;馬劍強;彭泰然;楊宗峰;李艷;喻奇志
• 申請（專利權）人: 寧波大學
• 主分類號: G02B26/06
• 分類號: G02B26/06
• 代理公司: 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 42102
• 代理人: 徐曉琴

1.一種具有復合致動水冷功能的壓電變形鏡，其特征在于，包括驅動層、鏡面層、水冷室和電磁致動單元，所述驅動層為環形結構的壓電片，壓電片的兩側覆蓋有電極層，所述驅動層粘接在鏡面層的外側構成壓電變形鏡本體，所述鏡面層外側中央無壓電片覆蓋的區域鍍有高反射膜作為壓電變形鏡的工作區域，所述鏡面層的內側與水冷室粘結固定形成密封的腔體，腔體內通入冷卻液，所述電磁致動單元包括金屬片、線圈和鐵芯，所述金屬片附著在所述鏡面層的內側面、與工作區域的中心位置相對應的區域上，所述線圈和鐵芯安放在腔體外水冷室的底部外側面上。

2.根據權利要求1所述的具有復合致動水冷功能的壓電變形鏡，其特征在于，所述電磁致動單元的個數為1個或數個。

3.根據權利要求1所述的具有復合致動水冷功能的壓電變形鏡，其特征在于，所述壓電片與鏡面層粘接的一側所覆蓋的電極層為與壓電片相同形狀的環形電極層，另一側所覆蓋的電極層為多環扇形陣列結構電極層。

4.根據權利要求3所述的具有復合致動水冷功能的壓電變形鏡，其特征在于，所述多環扇形陣列結構電極層為三環扇形陣列結構電極層。

5.根據權利要求1所述的具有復合致動水冷功能的壓電變形鏡，其特征在于，所述金屬片的形狀為扇形、圓形或點狀。

6.根據權利要求1所述的具有復合致動水冷功能的壓電變形鏡，其特征在于，所述水冷室的底部外側面設置有用于安放線圈和鐵芯的凹槽結構，線圈和鐵芯安放在凹槽結構內，并通過固定蓋固定在水冷室底部外側。

7.根據權利要求1所述的具有復合致動水冷功能的壓電變形鏡，其特征在于，所述水冷室的兩側設置有進水口和出水口。

8.根據權利要求1所述的具有復合致動水冷功能的壓電變形鏡，其特征在于，所述壓電變形鏡為柱體結構。

9.根據權利要求1所述的具有復合致動水冷功能的壓電變形鏡，其特征在于，所述工作區域為圓形區域，略小于壓電層內徑。

10.根據權利要求1所述的具有復合致動水冷功能的壓電變形鏡，其特征在于，所述高反射膜為具有高反射率的金屬膜或介質膜。