[實用新型]一種鍺烷生產(chǎn)系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820736825.3
• 申請日: 2018-05-17
• 公開（公告）號: CN208200379U
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 裴友宏;唐忠福;何西
• 申請（專利權(quán)）人: 江西華特電子化學(xué)品有限公司;郴州湘能半導(dǎo)體氣體有限公司;廣東華特氣體股份有限公司
• 主分類號: C01B6/06
• 分類號: C01B6/06
• 代理公司: 佛山市禾才知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44379
• 代理人: 梁永健;資凱亮

一種鍺烷生產(chǎn)系統(tǒng)，包括攪拌桶、硫酸罐、堿液罐、反應(yīng)釜、除水器、堿洗柱、冷凝器、收集罐、分子篩、粗品瓶、精品瓶、精餾塔、膜壓機、真空泵；堿液罐包括吹掃管和進料管，吹掃管和進料管均設(shè)于堿液罐的頂部；攪拌桶的輸出端連接于堿液罐的進料管；堿液罐的輸出端連接于反應(yīng)釜的進料口，硫酸罐連接于反應(yīng)釜的進料口；反應(yīng)釜的的輸出端連接于除水器的輸入端，除水器的輸出端連接于堿洗柱的輸入端；堿洗柱的輸出端連接于冷凝器的輸入端，冷凝器的輸出端連接于收集罐的輸入端，收集罐的輸出端連接于分子篩的輸入端；分子篩的輸出端連接于粗品瓶的輸入端；本實用新型根據(jù)上述內(nèi)容提出一種鍺烷生產(chǎn)系統(tǒng)，能夠制備高純度的鍺烷。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及鍺烷制備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種鍺烷生產(chǎn)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

鍺烷為無色、劇毒、可自燃、非腐蝕性氣體。熱穩(wěn)定性差，160～180℃時鍺烷緩慢氧化，大約在280℃就能檢測到鍺烷分解為鍺和氫，在350℃鍺烷幾乎全部分解成單質(zhì)鍺和氫氣；鍺烷的自催化性很強，一旦分解形成了金屬覆蓋膜，就會急劇分解，故其分解爆炸危險性很高。鍺烷一般通過化學(xué)還原法、電化學(xué)反應(yīng)法、等離子合成法合成，在半導(dǎo)體工業(yè)上有重要的用途。現(xiàn)有的鍺烷生產(chǎn)系統(tǒng)所制備的鍺烷純度不高。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提出一種鍺烷生產(chǎn)系統(tǒng)，能夠制備高純度的鍺烷。

為達此目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

一種鍺烷生產(chǎn)系統(tǒng)，包括攪拌桶、硫酸罐、堿液罐、反應(yīng)釜、除水器、堿洗柱、冷凝器、收集罐、分子篩、粗品瓶、精品瓶、精餾塔、膜壓機、真空泵；

所述堿液罐包括吹掃管和進料管，所述吹掃管和進料管均設(shè)于所述堿液罐的頂部；

所述攪拌桶的輸出端連接于所述堿液罐的進料管；

所述堿液罐的輸出端連接于所述反應(yīng)釜的進料口，所述硫酸罐連接于所述反應(yīng)釜的進料口；

所述反應(yīng)釜的的輸出端連接于所述除水器的輸入端，所述除水器的輸出端連接于堿洗柱的輸入端；

所述堿洗柱的輸出端連接于所述冷凝器的輸入端，所述冷凝器的輸出端連接于所述收集罐的輸入端，所述收集罐的輸出端連接于所述分子篩的輸入端；

所述分子篩的輸出端連接于所述粗品瓶的輸入端，所述粗品瓶的輸出端連接于所述精餾塔的輸入端，所述精餾塔的輸出端連接于所述膜壓機的輸入端，所述膜壓機的輸出端連接于所述精品瓶的輸入端。

進一步，所述真空泵的數(shù)量至少為二，其中至少一個所述真空泵設(shè)置于所

述反應(yīng)釜的輸出端，至少一個所述真空泵設(shè)置于所述粗品瓶的輸入端。

進一步，還包括循環(huán)泵，其設(shè)置于所述堿洗柱。

進一步，還包括氮輸送管，其從所述收集罐連接至所述冷凝器。

進一步，所述冷凝器至少分為串聯(lián)連接的一級冷凝器和二級冷凝器。

進一步，所述收集罐的數(shù)量至少為二。

進一步，所述分子篩的數(shù)量至少為二，所述分子篩之間串聯(lián)連接。

進一步，所述粗品瓶的數(shù)量和精品瓶的數(shù)量為多個。

進一步，所述精餾塔至少分為串聯(lián)連接的脫輕塔和脫重塔。

進一步，還包括有毒氣體報警器、儀表和閥門；

所述有毒氣體報警器設(shè)置于操作車間；

所述儀表的數(shù)量和閥門的數(shù)量均為多個；

所述儀表設(shè)置于所述鍺烷生產(chǎn)系統(tǒng)的管路；

所述閥門設(shè)置于所述鍺烷生產(chǎn)系統(tǒng)的管路。