[實(shí)用新型]一種枚葉式晶圓清洗機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820734552.9
• 申請(qǐng)日: 2018-05-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208695734U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-04-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 翁振國(guó);黃榮龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽宏實(shí)自動(dòng)化裝備有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/02
• 分類號(hào): B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;B08B1/02;F26B21/00;H01L21/67
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• 代理人: 暫無(wú)信息

一種枚葉式晶圓清洗機(jī)，包括設(shè)備本體，所述本體包括槽體、進(jìn)料端、出料端、蝕刻室、沖淋室、磨刷室和吹干室，所述槽體為箱體式結(jié)構(gòu)，槽體兩端分別設(shè)有進(jìn)料端和出料端，進(jìn)料端和出料端下部均設(shè)有電機(jī)和傳動(dòng)裝置，所述傳動(dòng)裝置與槽體中部水平設(shè)置的傳送輥聯(lián)動(dòng)，所述沖淋室和蝕刻室的上部均設(shè)有噴嘴，沖淋室下部分別設(shè)有水箱和水泵，水箱分別與噴嘴、水泵連接，蝕刻室下部設(shè)有藥液箱，藥液箱與噴嘴連接，磨刷室設(shè)有磨刷機(jī)構(gòu)，所述磨刷機(jī)構(gòu)磨刷頭和升降底座，磨刷頭安裝在升降底座上，且與傳送輥齒輪聯(lián)動(dòng)，磨刷頭位于傳送輥上方，所述吹干室內(nèi)設(shè)有風(fēng)刀與氣管，風(fēng)刀對(duì)稱安裝在傳送輥兩側(cè)，且分別與氣管聯(lián)通。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種枚葉式晶圓清洗機(jī)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體是指一種導(dǎo)電性可受控制，范圍可從絕緣體至導(dǎo)體之間的材料，無(wú)論從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展角度來(lái)看，半導(dǎo)體的重要性都是非常巨大的，為了滿足量產(chǎn)上的需求，半導(dǎo)體的電性必須是可預(yù)測(cè)并且穩(wěn)定的，因此包括摻雜物的純度以及半導(dǎo)體晶格結(jié)構(gòu)的品質(zhì)都必須嚴(yán)格要求。常見(jiàn)的品質(zhì)問(wèn)題包括晶格的錯(cuò)位、雙晶面，或是堆棧錯(cuò)誤都會(huì)影響半導(dǎo)體材料的特性。對(duì)于一個(gè)半導(dǎo)體而言，材料晶格的缺陷通常是影響元件性能的主因。

濕式制程機(jī)臺(tái)在封裝、光伏、面板產(chǎn)業(yè)使用目前屬于成熟型機(jī)種設(shè)計(jì)，也是半導(dǎo)體加工經(jīng)常使用的機(jī)臺(tái)，目前用來(lái)成長(zhǎng)高純度單晶體半導(dǎo)體材料最常見(jiàn)的方法稱為裘可斯基制程，這種制程將一個(gè)單晶的晶種放入溶解的同材質(zhì)液體中，再以旋轉(zhuǎn)的方式換換向上拉起。在晶種被拉起時(shí)，溶質(zhì)將會(huì)沿著固體和液體的接口固化，而旋轉(zhuǎn)則可讓溶質(zhì)的溫度均勻。制程過(guò)程中，單片制程藥液無(wú)法回收，發(fā)生破片問(wèn)題時(shí)會(huì)造成槽體穿孔破損，維修成本高昂，產(chǎn)能低下。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型正是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供了一種枚葉式晶圓清洗機(jī)。

為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案如下：

一種枚葉式晶圓清洗機(jī)，包括設(shè)備本體，所述本體包括槽體、進(jìn)料端、出料端、蝕刻室、沖淋室、磨刷室和吹干室，所述槽體為箱體式結(jié)構(gòu)，槽體兩端分別設(shè)有進(jìn)料端和出料端，進(jìn)料端和出料端下部均設(shè)有電機(jī)和傳動(dòng)裝置，所述傳動(dòng)裝置與槽體中部水平設(shè)置的傳送輥聯(lián)動(dòng)，所述沖淋室包括沖淋前室、沖淋中室和沖淋后室，所述進(jìn)料端至出料端水平方向依次為沖淋前室、蝕刻室、沖淋中室、磨刷室、沖淋后室和吹干室，所述沖淋室和蝕刻室的上部均設(shè)有噴嘴，沖淋室下部分別設(shè)有水箱和水泵，水箱分別與噴嘴、水泵連接，蝕刻室下部設(shè)有藥液箱，藥液箱與噴嘴連接，磨刷室設(shè)有磨刷機(jī)構(gòu)，所述磨刷機(jī)構(gòu)磨刷頭和升降底座，磨刷頭安裝在升降底座上，且與傳送輥齒輪聯(lián)動(dòng)，磨刷頭位于傳送輥上方，所述吹干室內(nèi)設(shè)有風(fēng)刀與氣管，風(fēng)刀對(duì)稱安裝在傳送輥兩側(cè)，且分別與氣管聯(lián)通。

進(jìn)一步的，所述蝕刻室的噴嘴分為兩段式，水平前后布置，前后段之間設(shè)有與水管連接的噴淋管，藥液箱與噴嘴之間的管路螺旋式回轉(zhuǎn)連接。

進(jìn)一步的，所述蝕刻室與磨刷室之間的沖淋室依次分為一階段低壓沖淋、二階段低壓沖淋和中壓沖淋，一階段低壓沖淋和二階段低壓沖淋的噴嘴分別位于傳送輥兩側(cè)，且分別錯(cuò)開(kāi)上下兩側(cè)的雙噴嘴。

進(jìn)一步的，所述升降底座上設(shè)有馬達(dá)固定座，馬達(dá)固定座上安裝有馬達(dá)，馬達(dá)與磨刷頭聯(lián)動(dòng)，磨刷頭端設(shè)有傾斜對(duì)稱的噴淋嘴，噴淋嘴與水箱連接。

進(jìn)一步的，所述設(shè)備本體一側(cè)設(shè)有便于維修的通道。

進(jìn)一步的，所述設(shè)備本體外部連接有冷卻系統(tǒng)裝置。

進(jìn)一步的，所述水箱與噴嘴之間設(shè)有過(guò)濾裝置。

進(jìn)一步的，所述設(shè)備本體上設(shè)有進(jìn)氣管與抽氣管路，進(jìn)氣管路與抽氣管路循環(huán)聯(lián)通。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本實(shí)用新型的有益效果如下：