[實用新型]一種基于螺旋測微計的PSD位移精密測量裝置

有效

• 申請號: 201820734404.7
• 申請日: 2018-05-17
• 公開（公告）號: CN208567794U
• 公開（公告）日: 2019-03-01
• 發明（設計）人: 王翀;趙瑤;羅文峰;張進玉;王璐
• 申請（專利權）人: 西安郵電大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 北京和信華成知識產權代理事務所(普通合伙) 11390
• 代理人: 向志杰

1.一種基于螺旋測微計的PSD位移精密測量裝置，其特征在于：包括PSD位移傳感器、PSD電路結構、底座、固定塊、螺旋測微頭、電源、半導體激光器、升降調節架和滑塊；所述電源設置在半導體激光器上部與半導體激光器電連接；半導體激光器下表面連接升降調節架的上端頭；升降調節架底部固定在滑塊上，側面與螺旋測微頭的調節頭固定連接；所述固定塊中部設置滑軌，所述滑塊設置在滑軌上；螺旋測微頭中部通過固定扣固定在固定塊的邊緣；所述固定塊底部與底座固定連接；所述PSD位移傳感器固定在底座上，PSD位移傳感器的接收光敏面與半導體激光器的輸出端相對設置并且與PSD電路結構電連接。

2.根據權利要求1所述的基于螺旋測微計的PSD位移精密測量裝置，其特征在于：所述PSD電路結構包括PSD供電電路、PSD處理輸出電路和顯示器；所述PSD供電電路電連接PSD處理輸出電路，PSD處理輸出電路輸出顯示信號到顯示器；PSD供電電路為整個PSD電路結構提供所需電源；PSD處理輸出電路包括U4A電路、U4B電路、U5A電路和U5B電路；所述U4A電路和U4B電路用于完成PSD兩路電流輸出I/V轉換；U5A用于將兩路輸出進行加法運算，用來驗證PSD兩路輸出之和不隨光電位置變化而改變；U5B用于實現PSD位移測量；所述PSD處理輸出電路包括U3A電路和U3B電路，U3A電路為放大電路，W1用來調節放大增益，U3B為調零電路，通過調節W2阻值大小進行電路調零。