[實(shí)用新型]一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820729534.1
• 申請(qǐng)日: 2018-05-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208276711U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李偉;劉丁孔;胡威威;劉琪;石小方;譚蘊(yùn)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 貴州大學(xué)
• 主分類號(hào): B24B37/00
• 分類號(hào): B24B37/00;B24B37/34;B24B57/02
• 代理公司: 貴陽(yáng)中新專利商標(biāo)事務(wù)所 52100
• 代理人: 劉艷

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置，屬于研磨裝置領(lǐng)域，一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置，包括收納盒，所述收納盒的上端開(kāi)設(shè)有大圓槽、小圓槽和L型槽，且大圓槽、小圓槽和L型槽呈三角分布，所述大圓槽內(nèi)固定連接有電動(dòng)伸縮柱，所述電動(dòng)伸縮柱的上端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有旋轉(zhuǎn)柱，所述旋轉(zhuǎn)柱的上端固定連接有研磨臺(tái)，所述研磨臺(tái)上放置有研磨桿，所述收納盒外端開(kāi)設(shè)有通孔，所述通孔內(nèi)插設(shè)有定位銷，所述定位銷上鉸接有L型管的一端，所述L型管的內(nèi)端連接有儲(chǔ)液罐，所述儲(chǔ)液罐的上端固定連接有液泵，所述液泵的上端螺紋連接有彈性軟管，所述液泵的右端連接有出液閥門。它可以實(shí)現(xiàn)將研磨后的各部分裝置進(jìn)行收納。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及研磨裝置領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置。

背景技術(shù)

晶圓制造中，隨著制程技術(shù)的升級(jí)、導(dǎo)線與柵極尺寸的縮小，光刻技術(shù)對(duì)晶圓表面的平坦程度的要求越來(lái)越高，IBM公司于1985年發(fā)展CMOS產(chǎn)品引入，并在1990年成功應(yīng)用于64MB的DRAM生產(chǎn)中。1995年以后，CMP技術(shù)得到了快速發(fā)展，大量應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。化學(xué)機(jī)械研磨亦稱為化學(xué)機(jī)械拋光，其原理是化學(xué)腐蝕作用和機(jī)械去除作用相結(jié)合的加工技術(shù)，是目前機(jī)械加工中唯一可以實(shí)現(xiàn)表面全局平坦化的技術(shù)。

但是，由于目前使用的機(jī)械研磨裝置不是一個(gè)獨(dú)立的個(gè)體，是由幾個(gè)裝置配合使用，使用完之后就隨手放置在盒子里或桌面上，容易將其中的一個(gè)或幾個(gè)丟失，現(xiàn)提供一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置，它可以實(shí)現(xiàn)將研磨后的各部分裝置進(jìn)行收納，有效的解決研磨后各部分裝置的收納問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

1．要解決的技術(shù)問(wèn)題

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置，它可以實(shí)現(xiàn)將研磨后的各部分裝置進(jìn)行收納。

2．技術(shù)方案

為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型采用如下的技術(shù)方案。

一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置，包括收納盒，所述收納盒的上端開(kāi)設(shè)有大圓槽、小圓槽和L型槽，且大圓槽、小圓槽和 L型槽呈三角分布，所述大圓槽內(nèi)固定連接有電動(dòng)伸縮柱，所述電動(dòng)伸縮柱的上端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有旋轉(zhuǎn)柱，所述旋轉(zhuǎn)柱的上端固定連接有研磨臺(tái)，所述研磨臺(tái)上放置有研磨桿，所述收納盒外端開(kāi)設(shè)有通孔，所述通孔內(nèi)插設(shè)有定位銷，所述定位銷上鉸接有 L型管的一端，所述 L型管的內(nèi)端連接有儲(chǔ)液罐，所述儲(chǔ)液罐的上端固定連接有液泵，所述液泵的上端螺紋連接有彈性軟管，所述液泵的右端連接有出液閥門，所述液泵的上端固定連接有固定板，且固定板位于彈性軟管左側(cè)，所述固定板與 L型管的內(nèi)壁之間水平連接有兩對(duì)橫桿，所述橫桿均滑動(dòng)連接有同一個(gè)滑板，且滑板位于彈性軟管右側(cè)，所述滑板中部開(kāi)設(shè)有凹槽，所述 L型管的外端開(kāi)設(shè)有螺紋孔，所述螺紋孔內(nèi)螺紋連接有螺紋桿，所述螺紋桿的右端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)盤，所述螺紋桿的左端插在凹槽中。

優(yōu)選地，所述收納盒上合頁(yè)連接有盒蓋，盒蓋防止盒內(nèi)東西遺落，所述盒蓋下端面固定連接有防護(hù)板，保護(hù)盒內(nèi)裝置不損壞。

優(yōu)選地，所述彈性軟管遠(yuǎn)離定位銷的一端螺紋連接有出液口，所述出液口位于 L型管的外側(cè)，且出液口直徑大于彈性軟管，方便研磨液滴落。

優(yōu)選地，所述儲(chǔ)液罐上固定連接有進(jìn)液口的一端，且進(jìn)液口的另一端貫穿 L型管管壁與液罐蓋螺紋連接，方便研磨液用完后進(jìn)行灌充。

3．有益效果

相比于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：

（1）本方案可以實(shí)現(xiàn)將研磨后的各部分裝置進(jìn)行收納。

（2）收納盒上合頁(yè)連接有盒蓋，盒蓋防止盒內(nèi)東西遺落，盒蓋下端面固定連接有防護(hù)板，保護(hù)盒內(nèi)裝置不損壞。

（3）彈性軟管遠(yuǎn)離定位銷的一端螺紋連接有出液口，出液口位于 L型管的外側(cè)，且出液口直徑大于彈性軟管，方便研磨液滴落。